DESKRIPSI PENELITIAN
3.1. Waktu dan Tempat
3.4.2. Pendeposisian Benda Uji
substrat. Pahat karbida tersebut berbentuk kotak dengan ukuran panjang x lebar x tinggi adalah 12 cm x 8 cm x 4 cm. Benda uji tersebut dihaluskan pada salah satu permukaan. Untuk penghalusan permukaan digunakan pengasah dari bahan diamond, karena pahat karbida ini cukup keras. Kemudian permukaan tersebut dihaluskan dengan kertas abrasive dengan nomor 800 mesh. Kemudian benda uji tersebut dimasukkan kedalam gelas yang berisi alkohol. Setelah itu gelas yang berisi alkohol dan benda uji dimasukkan alat getar ultrasonik kurang lebih selama 30 menit. Setelah 30 menit gelas tersebut diangkat dan diperiksa apakah alkohol dalam gelas tersebut masih jernih atau sudah keruh. Jika alkohol tersebut sudah keruh diulang sampai alkohol tetap jernih. Kemudian benda uji diangkat dan dikeringkan dengan hairdryer. Setelah kering benda uji masukkan kedalam open.
3.4.2. Pendeposisian Benda Uji
Pendeposisian target titanium dan aluminium terhadap substrat pahat karbida dilakukan dua kali. Yang pertama pendeposisian target titanium terhadap substrat pahat karbida dan yang kedua pendeposisian target aluminium terhadap substrat pahat karbida dengan benda uji yang sama dan variasi waktu dan suhu yang sama. Jika benda uji sudah terlapisi titanium dan aluminium baru dicari kekerasan yang optimum.
3.4.2.1. Pendeposisian Target Titanium Terhadap Substrat Pahat karbida. Pendeposisian target titanium terhadap substrat pahat karbida dengan variasi suhu dan waktu dengan tekanan gas 5,0 x 10-2 torr.
3.4.2.1.1. Variasi suhu
34
34
b. Memasang benda uji pada bagian anoda. Setiap kali pengujian dimasukkan 2 buah pahat karbida untuk memperoleh hasil yang optimum dan akurat.
c. Menggabungkan tabung plasma tersebut (bagian anoda dan katoda) dan menguncinya dengan tiga klem sampai kuat. Jarak antara anoda dan katoda sekitar 4cm.
d. Menghidupkan pompa rotari sampai tekanan 5,0 x 10-2 torr. Pompa rotari mempunyai dua katup, yang pertama katup penghubung dengan motor, sedangkan yang kedua katup berhubungan dengan mesin pompa difusi. Pada saat awal kedua katup ini dibuka semua.
e. Setelah tekanan sampai 5,0 x 10-2 torr, pompa difusi dihidupkan dan bersamaan dengan ini dihidupkan juga pendiginnya. Ditunggu sampai pompa difusi ini panas, lalu katup penghubung antara pompa rotari dengan mesin pompa difusi ditutup agar minyak pada mesin pompa difusi tidak masuk kepompa rotari. Setelah ditutup, lalu katup pada pompa difusi dibuka.
f. Sementara menunggu waktu sekitar 30 menit agar tekanan pada pompa rotari sekitar 2,0 x 10-2 torr, dihidupkan pemanas dan diset pada 300°C.
g. Setelah tekanan pada pompa rotari sekitar 2,0 x 10-2 torr, maka katup pada pompa difusi ditutup dan katup penghubung antara pompa rotari dan mesin pompa difusi dibuka kembali. Sementara itu pompa difusi dimatikan tapi pendinginnya tetap dihidupkan, setelah pompa difusi agak dingin baru pendingin dimatikan.
h. Setelah suhu substrat mencapai suhu yang telah diset, maka dibika katup pada gas argon dan gas nitrogen. Gas argon dibuka pada tekanan 4,0 x 10-2 torr dan gas nitrogen dibuka pada tekanan 1,0 x 10-2 torr.
35 pada tekanan gas 2,0 x 10-2 torr.
j. Dinyalakan sumber arus DC dan diset pada tegangan 2,5 kV. k. Waktu pendeposisian adalah satu jam.
l. Setelah selesai pendeposisian, sumber arus DC dimatikan, lalu katup gas ditutup, katup pengatur tekanan gas ditutup dan kedua katup pada pompa rotari juga ditutup dan teagangan dimatikan.
m. Tabung plasma digemboskan sampai tekanan sama dengan tekanan luar, lalu klem dibuka dan benda uji dibiarkan dingin dulu. Setelah dingin baru benda uji diambil dan disimpan dalam klip plastik. Tidak lupa untuk setiap klip plastik ditandai agar percobaan yang satu tidak saling tercampur dengan hasil percobaan yang lain.
n. Dilakukan percobaan yang sama untuk variasi suhu 150°C, 200°C dan 250°C dengan cara yang sama.
3.4.2.1.2. Variasi Waktu
a. Dilakukan dengan cara yang sama seperti diatas dari langkah awal sampai akhir, tekanan gas pada 2,0 x 10-2 torr, suhu diset 200°C.
b. Dilakukan percobaan yang sama dengan variasi waktu ½ jam, 1 jam, 1½ jam, 2 jam.
3.4.2.2. Pendeposisian Target Aluminium Terhadap Substrat Pahat karbida.
Pendeposisian target aluminium terhadap substrat pahat karbida dengan variasi suhu dan waktu sedangkan tekanan gas 3,0 x 10-2 torr.
3.4.2.1.1. Variasi suhu
36
36
b. Memasang benda uji pada bagian anoda. Setiap kali pengujian dimasukkan 2 buah pahat karbida untuk memperoleh hasil yang optimum dan akurat.
c. Menggabungkan tabung plasma tersebut (bagian anoda dan katoda) dan menguncinya dengan tiga klem sampai kuat. Jarak antara anoda dan katoda sekitar 4 cm.
d. Menghidupkan pompa rotari sampai tekanan 5,0 x 10-2 torr. Pompa rotari mempunyai dua katup, yang pertama katup penghubung dengan motor, sedangkan yang kedua katup berhubungan dengan mesin pompa difusi. Pada saat awal kedua katup ini dibuka semua.
e. Setelah tekanan sampai 5,0 x 10-2 torr, pompa difusi dihidupkan dan bersamaan dengan ini dihidupkan juga pendiginnya. Ditunggu sampai pompa difusi ini panas, lalu katup penghubung antara pompa rotari dengan mesin pompa difusi ditutup agar minyak pada mesin pompa difusi tidak masuk kepompa rotari. Setelah ditutup, lalu katup pada pompa difusi dibuka.
f. Sementara menunggu waktu sekitar 30 menit agar tekanan pada pompa rotari sekitar 2,0 x 10-2 torr, dihidupkan pemanas dan diset pada 300°C.
g. Setelah tekanan pada pompa rotari sekitar 2,0 x 10-2 torr, maka katup pada pompa difusi ditutup dan katup penghubung antara pompa rotari dan mesin pompa difusi dibuka kembali. Sementara itu pompa difusi dimatikan tapi pendinginnya tetap dihidupkan, setelah pompa difusi agak dingin baru pendingin dimatikan.
h. Setelah suhu substrat mencapai suhu yang telah diset, maka dibika katup pada gas argon dan gas nitrogen. Gas argon dibuka pada tekanan 2,0 x 10-2 torr dan gas nitrogen dibuka pada tekanan 1,0 x 10-2 torr.