[PDF] Top 20 SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS

... bahwa sensitivitas lapisan tipis TiN sebagai sensor gas mengalami kenaikkan sebagai respon terhadap kehadiran gas uji ...nilai sensitivitas lapisan tipis TiN ini disebabkan munculnya ... Lihat dokumen lengkap

... Sistem DC sputtering terdiri dari dua elektroda yaitu anoda dan katoda. Pada anoda ditempatkan substrat (bahan yang akan dilapisi) yang dilengkapi dengan pemanas untuk membuka pori-pori substrat, sehingga bahan ... Lihat dokumen lengkap

... Salah satu sintesa ZnO yang pernah dilakukan di laboratorium Kimia Material yaitu dengan Chemical Vapour Transport (CVT). Namun pada metode tersebut membutuhkan substrat alumina dan sputtering Pd/Au yang harganya ... Lihat dokumen lengkap

... Serbuk d iko mpa ksi dengan tekanan 200 bar dan ditahan selama 10 menit. Hasil yang didapatkan dari proses kompaksi berupa pellet. Pellet-pellet yang dihasilkan masih tetap mudah retak/pecah. Sehngga harus dilaku kan ... Lihat dokumen lengkap

... Gas argon yang terionisasi akan dipercepat oleh medan listrik, akibatnya akan menumbuk atom- atom gas yang belum terionisasi sehingga menghasilkan eklektron-elektron dan ion-ion positif. Elektron-elektron ... Lihat dokumen lengkap

... 96 Rani Nopriyanti, 2012 Sintesis Lapisan Tipis SnO2 Dalam Aplikasinya Sebagai Sensor Gas CO dan Pengujian Sensitivitas Universitas Pendidikan Indonesia | repository.upi.edu Daftar P[r] ... Lihat dokumen lengkap

... Karakteristik Sensor suhu IC LM35 adalah : Memiliki sensitivitas suhu, dengan faktor skala linier antara tegangan dan suhu 10 mVolt/ºC, sehingga dapat dikalibrasi langsung dalam ... Lihat dokumen lengkap

... penginderaan gas, selektivitas gas, sensitivitas, dan daya tahan adalah sifat yang sangat ...jumlah gas molekul yang berinteraksi dengan semikonduktor dapat dinaikkan dengan cara ini ... Lihat dokumen lengkap

... kadar gas PPM (sumbu Y) sedangkan data tegangan keluaran sensor (sumbu X) merupakan nilai yang ...pada sensor MQ-7 seperti pada tabel ...pada sensor gas MQ-7 dan nilai ... Lihat dokumen lengkap

... hasil sputtering sebelum dilakukan implantasi ion ...hasil sputtering adalah unsur Zn sebesar 80,34% /berat dan unsur O sebesar 19,66%/berat, hal ini membuktikan bahwa target yang digunakan mempunyai ... Lihat dokumen lengkap

... dari sensor gas thin film yaitu merupakan temperatur. Komponen sensor gas yang berfungsi untuk mendistribusikan suhu disebut heater, yang diletakkan tepat disisi belakang ... Lihat dokumen lengkap

... temperatur. sensitivitas dipengaruhi oleh luasan permukaan aktif dari material sensor, semakin besar luasan permukaan, semakin besar kemampuan adsorbsi terhadap gas, dan akan terjadi sebaliknya pada ... Lihat dokumen lengkap

... kenaikan sensitivitas dengan meningkatnya suhu substrat oleh penyerapan gas reduktor disebabkan oleh peningkatan perubahan jumlah rapat pembawa muatan permukaan dan peningkatan mobilitas pada bulk dan batas ... Lihat dokumen lengkap

... Gambar 2 merupakan perbandingan hasil uji XRD pada sampel sebelum dan setelah terpapar gas CO. Dari pola XRD menggambarkan puncak-puncak yang tajam yang menunjukkan bahwa kristalisasi sebelum dan setelah dilakukan ... Lihat dokumen lengkap

... HASIL DAN PEMBAHASAN Untuk mengetahui keberhasilan proses pembuatan lapisan tipis SnO2 dengan variasi waktu deposisi sputtering DC pada permukaan substrat kaca untuk bahan dasar sensor[r] ... Lihat dokumen lengkap

... manusia. Gas dapat bermanfaat dan dapat membahayakan pada tingkat konsentrasi ...konsentrasi gas, salah satunya menggunakan metode interferometri ...konsentrasi gas dengan interferometer merupakan ... Lihat dokumen lengkap

... sehingga sensor merespon dalam waktu 0,5 detik. Sensor segera mengirimkan sinyal menuju panel detektor yang terpasang di ruang ...Respon sensor akan berhenti apabila gas hidrogen dalam sungkup ... Lihat dokumen lengkap

... pengkalibrasian sensor dilakukan di lingkungan terbuka maupun tertutup dengan membandingkan hasil pengukuran dengan instrumen pengukuran ...kelembaban, gas karbon monoksida dan gas karbon dioksida ... Lihat dokumen lengkap

... 2. Sensor GP2D12 mempunyai sensitivitas yang berbeda di setiap titik karena karakter sensor GP2D12 yaitu tegangan keluarannya tidak linier terhadap perubahan jarak sehingga menyebabkan respon sistem ... Lihat dokumen lengkap

... Pin sensor suhu BST dihubungkan dengan ...terbaca sensor suhu ...ketika sensor suhu BST diberikan rangsangan suhu, tentunya dengan tahapan memasukan persamaan linear (hasil karakterisasi monoton naik ... Lihat dokumen lengkap