• Tidak ada hasil yang ditemukan

STUDI PENGARUH ANIL PADA SIFAT SILIKON AMORF TERHIDROGENASI (A-Si:H) YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE PECVD - ITS Repository

N/A
N/A
Info
Unduh - Bebas
Protected

Academic year: 2019

Membagikan "STUDI PENGARUH ANIL PADA SIFAT SILIKON AMORF TERHIDROGENASI (A-Si:H) YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE PECVD - ITS Repository"

Copied!
118
0
0

Memuat.... (Lihat teks lengkap sekarang)

Unduh sekarang ( 118 Halaman )

Teks penuh

Loading

Gambar

Gambar 2.1. Struktur pita energi pada material semikonduktor
Gambar 2.2. Proses konversi cahaya menjadi listrik
Gambar 2.6. Bagan PECVD [Dessyntya- Yahya, 2010]
Gambar 2.7. Proses deposisi menggunakan PECVD
+7

Referensi

Unduh sekarang ( PDF - 118 Halaman - 4.65 MB )

Garis besar

Prinsip Dasar Proses PECVD STUDI PENGARUH ANIL PADA SIFAT SILIKON AMORF TERHIDROGENASI (A-Si:H) YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE PECVD - ITS Repository

Dokumen terkait