• Tidak ada hasil yang ditemukan

APLIKASI TEKNOLOGI MIKRO MESIN PADA SENS

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2018

Membagikan "APLIKASI TEKNOLOGI MIKRO MESIN PADA SENS"

Copied!
10
0
0

Teks penuh

Loading

Gambar

Gambar 2.2  Skema Sensor Piezoresistor
Gambar 3.2 (a) Kiri : Sisi belakang diberitekanan, (b) Kanan : Sisi depan diberi
Gambar 3.3 Diagram Skematik SensorTekanan Kapasitif
Gambar 3.6 peletakan MEMS aneurysm
+2

Referensi

Dokumen terkait