ﻦﯿﻤﻫدزﻮﻧ
،ناﺮﯾا ﮏﯿﻧﺎﮑﻣ ﯽﺳﺪﻨﻬﻣ ﻪﻧﻻﺎﺳ ﺶﯾﺎﻤﻫ ISME2011
،ناﺮﯾا ﺪﻨﺟﺮﯿﺑ
، هﺎﮕﺸﻧاد ﺪﻨﺟﺮﯿﺑ ، 20 ﺖﯾﺎﻐﻟ 22 ﺖﺸﻬﺒﯾدرا 1390
Magnetorheological Finishing Process1 MR Fluid2 Mechanical Chemical Planarization3
ISME2011-2038
حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ هﺎﮕﺘﺳد ﺖﺧﺎﺳو ﯽﺣاﺮﻃ ﯽﻨﺤﻨﻣ
هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ يوﺎﺣ لﺎﯿﺳ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ي
ﻢﺋﺎﻘﻟاﺮﻈﺘﻨﻣ ﺪﯿﻤﺣ ،1
يﺮﺼﯿﻗ ﺎﺿر ،2
ﯽﻤﺳﺎﻗ ﺮﻐﺻا ﯽﻠﻋ ﯽﻧﺎﻄﻠﺳ ﻞﯿﻋﺎﻤﺳا ،2
4
،دﺎﺑآ ﻒﺠﻧ ﺪﺣاو ﯽﻣﻼﺳا دازآ هﺎﮕﺸﻧاد ،ﮏﯿﻧﺎﮑﻣ ﯽﺳﺪﻨﻬﻣ هوﺮﮔ1
ﺸﻧاد2
،دﺎﺑآ ﻒﺠﻧ ﺪﺣاو ﯽﻣﻼﺳا دازآ هﺎﮕﺸﻧاد ،ﮏﯿﻧﺎﮑﻣ ﯽﺳﺪﻨﻬﻣ ﯽﺳﺎﻨﺷرﺎﮐ يﻮﺠ [email protected]
،دﺎﺑآ ﻒﺠﻧ ﺪﺣاو ﯽﻣﻼﺳا دازآ هﺎﮕﺸﻧاد ، ﮏﯿﻧﺎﮑﻣ ﯽﺳﺪﻨﻬﻣ ﯽﺳﺎﻨﺷرﺎﮐ يﻮﺠﺸﻧاد3
ﮏﯿﻧﺎﮑﻣ ﯽﺳﺪﻨﻬﻣ هوﺮﮔ4
،دﺎﺑآ ﻒﺠﻧ ﺪﺣاو ﯽﻣﻼﺳا دازآ هﺎﮕﺸﻧاد ، [email protected]
هﺪﯿﮑﭼ هﺪﻨﯾﺎـﺳ تارذ يوﺎﺣ لﺎﯿﺳ ﻂﺳﻮﺗ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ شور زا هدﺎﻔﺘﺳا ي
ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ حﻮﻄـﺳ ﻪﺑ ﯽﺑﺎﯿﺘﺳد ﺖﻬﺟ ﺶﺨﺑﺪﯾﻮﻧ يﺎﻫﺪﻨﯾاﺮﻓ زا ﯽﮑﯾ 1
ﺖﺧادﺮﭘ ﻻﺎﺑ رﺎﯿﺴﺑ ﺖﻗد ﺎﺑ ﺪـﺷﺎﺑ ﯽﻣ
. شور ﻦـﯾا يﺎـﻬﮑﯿﻨﮑﺗ زا ﯽـﮑﯾ
ﻻﺎﺑ ﺖﻗد ﺎﺑ ﯽﻨﺤﻨﻣ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ياﺮﺑ ﺐﺳﺎﻨﻣ و ﺪﯾﺪﺟ
ﺪـﺷﺎﺑ ﯽـﻣ .
ﯾا ﺎﺑ ﻪﮐ ﯽﺗﺎﻌﻄﻗ ﺖﺧادﺮﭘ شور ﻦ
ﯽـﻣ ﺪﻧﻮـﺷ ﺖﯿـﺻﺎﺧ ﺪـﻗﺎﻓ ﺖـﺴﯾﺎﺑ
ﺪﻨﺷﺎﺑ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ .
ياﺮـﺑ ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ﺖﯿـﺻﺎﺧ دﻮـﺟو ترﻮﺻ رد اﺮﯾز
هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ بﺬﺟ نﺎﮑﻣا رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ ﻪﺑ لﺎﯿﺳ نورد ي
دراد دﻮﺟو .
ﺢﻄـﺳ ﻪـﮐ ﺖـﺳا زﺎﯿﻧ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ﺖﻬﺟ شور ﻦﯾا زا هدﺎﻔﺘﺳا رد ناﻮﺘﺑ ﺎﺗ ﺪﺷﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ ﻪﻤﯿﻧ رﻮﻃ ﻪﺑ تﺎﻌﻄﻗ ﺖﺧادﺮﭘ و يﺪﻌﺑ تﺎﯿﻠﻤﻋ
دروآ ﺖﺳﺪﺑ لﻮﻤﻌﻣ يﺎﻫ شور ﻪﺑ ﺖﺒﺴﻧ شور ﻦﯾا ﻪﺑ ار يﺮﺗﻻﺎﺑ يﺎﻫ .
ﺎـﺑ يدﺮﺑرﺎـﮐ و ﺐـﺳﺎﻨﻣ هﺎﮕﺘﺳد ﺖﺧﺎﺳ و ﯽﺣاﺮﻃ هﻮﺤﻧ ﻪﻟﺎﻘﻣ ﻦﯾا رد ﺮـﺑ ﺮﺛﻮـﻣ يﺎـﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ ﺮـﯿﯿﻐﺗ ﺖـﯿﻠﺑﺎﻗ و نﺎﺳآ ژﺎﺘﻧﻮﻣ و ﺖﺧﺎﺳ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ﺖﺳا هﺪﺷ ﻪﺋارا ﺪﻨﯾاﺮﻓ .
دﺮـﮑﯾور ود هﺎﮕﺘـﺳد ﻦـﯾا ﯽﺣاﺮﻃ رد ﯽـﺳﺎﺳا
،ﺖﺳا هﺪﺷ هداد راﺮﻗ ﺮﻈﻧﺪﻣ يرو ﻪﻃﻮﻏ شور ﻪﺑ ﺖﺧادﺮﭘ لوا دﺮﮑﯾور
لﺎﯿﺳ رد رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
و
رﺎـﺷ شور مود دﺮـﮑﯾور ژ
ﻪﺘـﺳﻮﯿﭘ ي
ﺖﺳا لﺎﯿﺳ .
،هﺪﺷ ﻪﺘﺧﺎﺳ هﺎﮕﺘﺳد ﺖﺧﺎﺳ ياﺮﺑ هﺪﺷ مﺎﺠﻧا ﯽﺣاﺮﻃ رد
شﻼﺗ ﺖـﻬﺟ نﺎـﻣﺰﻤﻫ رﻮﻃ ﻪﺑ ار دﺮﮑﯾور ودﺮﻫ هﺎﮕﺘﺳد ﻪﮐ ﺖﺳا هﺪﺷ
ﺪﺷﺎﺑ ﻪﺘﺷاد رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺖﺧادﺮﭘ .
ﺮﺛﻮﻣ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ ﺮﯿﯿﻐﺗ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ هﺎﮕﺘﺳد
صﺎـﺧ مﺮـﻓ ﺎـﺑ يﺎـﻫراﺰﺑا زا هدﺎﻔﺘﺳا و ﯽﻧارود ﺖﻋﺮﺳ ﺪﻨﻧﺎﻣ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﺮﺑ شﺎﺸﺘﻏا دﺎﺠﯾا ﺖﻬﺟ ﺮﺘﺸﯿﺑ
رد ﺖﺳا اراد ار لﺎﯿﺳ نﺎﯾﺮﺟ .
ﮏـﻤﮐ ﻪـﺑ
نﺎﯾﺮﺟ ﮏﻤﮐ ﻪﺑ يرادﺮﺑ هداﺮﺑ مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ ﺎﺑ ﯽﯾﺎﻨﺷآ ﺮﺑ هوﻼﻋ هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﭘ ﯽﺳرﺮﺑ ﻪﺑ ناﻮﺗ ﯽﻣ ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ ﺪـﻨﯾاﺮﻓ ﺮﺑ ﺮﺛﻮﻣ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎ
دﻮﺷ ﻪﺘﺧادﺮﭘ ﺰﯿﻧ .
هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﺖﺧﺎﺳ رد ﻪﮐ ﻢﻬﻣ دراﻮﻣ زا ﺮﮕﯾد ﯽﮑﯾ
حﻮﻄﺳ ﯽﻧز ﮓﻨﺳ ياﺮﺑ يﺮﯿﮔرﺎﮑﺑ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ،ﺖﺳا ﻪﺘﻓﺮﮔ راﺮﻗ ﻪﺟﻮﺗ درﻮﻣ ﺢﻄـﺳ دﺎـﺠﯾا و ﮏﯿﺘـﺳﻼﭘ ﻖـﯾرﺰﺗ يﺎـﻫ ﺐـﻟﺎﻗ ﺢﻄـﺳ ﺪﻨﻧﺎﻣ هﺪﯿﭽﯿﭘ ﺖﺳا ﺖﺧاﻮﻨﮑﯾ و ﺖﺧادﺮﭘ .
يﺪﯿﻠﮐ يﺎﻫ هژاو
هﺎﮕﺘــﺳد ﯽــﺣاﺮﻃ ﭘ
ﺖــﺧادﺮ ﺢﻄــﺳ
،ﻪﻄــﺳاو لﺎﯿــﺳ ﺎــﺑ لﺎﯿــﺳ
ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ
،٢
هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ
،ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ي
،ﻖﯿﻗد رﺎﯿﺴﺑ حﻮﻄﺳ حﻮﻄﺳ
ﯽﻨﺤﻨﻣ . ﻪﻣﺪﻘﻣ
زا هدﺎﻔﺘﺳا شور ﺮـﯿﻏ سﺎـﻤﺗ ﺪـﻨﯾاﺮﻓ ﮏﯾ ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ
زا هدﺎﻔﺘـﺳا ﺖﯾﺰﻣ ﻪﮐ ﺖﺳا ﻢﯿﻘﺘﺴﻣ آ
ﺖـﺳﺪﺑ ن آ رد ﻻﺎـﺑ ﺖـﻗد ندرو
و ﺢﻄﺳ ﺖﯿﻔﯿﮐ آ
ا هﺪﺷ ﺖﺧادﺮﭘ ﺢﻄﺳ ﻪﺑ ﺮﺘﻤﮐ ﺐﯿﺳ ﺖﺳ
. هوﻼـﻋ ﻪـﺑ
ﺖـﺧادﺮﭘ شور ﻦﯾا
، يﺮـﮕﯾد رﺎﯿـﺴﺑ ﺪـﯾاﻮﻓ رد ار
صﻮـﺼﺧ ﺖـﺧادﺮﭘ
يﺎﻬﻟﺪﻣ ﻪﺳ يﺪﻌﺑ دراد ﺰﯿﻧ . [1]
زا يرﺎﯿﺴﺑ ﻗ رد هدﺎﻔﺘـﺳا درﻮـﻣ تﺎﻌﻄ
ﻪﺑ ﺦﺳﺎﭘ ﺖﻬﺟ ﻪﮐ ﺪﻧراد زﺎﯿﻧ بﻮﺧ رﺎﯿﺴﺑ ﺢﻄﺳ ﺖﯿﻔﯿﮐ ﮏﯾ ﻪﺑ ﺖﻌﻨﺻ ﺪـﻨﻧﺎﻣ ﺪـﻧا هﺪﺷ هداد ﻪﻌﺳﻮﺗ ﯽﻋﻮﻨﺘﻣ يﺎﻫﺪﻨﯾاﺮﻓ ﺎﻫﺎﺿﺎﻘﺗ ﻦﯾا ﮓـﻨﯿﭙﻟ
ﻖﯿﻗد قﻮﻓ
،[2]
ﯽﻧز ﮓﻨﺳ
،[3]
ﯽﯾﺎﯿﻤﯿـﺷ ﯽﮑﯿﻧﺎـﮑﻣ يزﺎـﺳ ﺢﻄﺴﻣ
٣
...و [4]
. ﻖﯿﻗد قﻮﻓ ﮓﻨﯿﭙﻟ
،
،ﯽﻧز ﮓﻨﺳ ﯽﻧز ﮓﻨﺳ
و ﯽﯾﺎﯿﻤﯿـﺷ ﯽﮑﯿﻧﺎـﮑﻣ
ﺑ ﺮﺘﺸﯿﺑ ﺎﻬﺷور ﺮﯾﺎﺳ ﻪ
و ﺖـﺧادﺮﭘ رﻮﻈﻨﻣ ﺖـﺨﺗ حﻮﻄـﺳ نداد ﻞﻘﯿـﺻ
هدﺎﻔﺘـﺳا ﯽــﻣ ﺐــﺳﺎﻨﻣ ﺢﻄــﺴﻣ ﺮـﯿﻏ و هﺪــﯿﭽﯿﭘ حﻮﻄــﺳ ياﺮـﺑ دﻮــﺷ
ﺪﻨﺘﺴﯿﻧ . [5]
تﺎﯿﻠﻤﻋ
اﺮﻓ زا ﯽـﮑﯾ ﻪﻄـﺳاو لﺎﯿـﺳ ﺎـﺑ ﺖﺧادﺮﭘ يﺎﻫﺪـﻨﯾ
ﺖﻬﺟ هﺪﻨﻨﮐراوﺪﯿﻣا ﺖﯿﻔﯿﮐ ﺶﯾاﺰﻓا
ﯽﺣﻮﻄـﺳ ﻦﯿـﻨﭼ
،ﺖـﺳا رد اﺮـﯾز
ﺐﺳﺎﻨﻣ لﺎﯿﺳ بﺎﺨﺘﻧا ترﻮﺻ )
هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ هاﺮﻤﻫ ﻪﺑ (
نﺎـﮑﻣا ﮓﻨـﺳ
ﯽﻧز ﻄﺳ ﻮ ح ﺖﺨﺗ ﺮﯿﻏ ﯽﻣ دﻮﺟﻮﺑ آ
ﺪﯾ . ﻢﯿﻘﺘـﺴﻣ سﺎـﻤﺗ مﺪﻋ ﻞﯿﻟد ﻪﺑ
يﺎﻫ لﺪﻣ رد ًﺎﺻﻮﺼﺨﻣ راﺰﺑا ﺎﺑ ﺢﻄﺳ 3
ﺢﻄﺳ ﻪﺑ يﺮﺘﻤﮐ ﺐﯿﺳآ ،يﺪﻌﺑ
ﯽﻣ دراو هﺪﺷ ﺖﺧادﺮﭘ ﺮﺑ و دﻮﺷ
ﻦﯾا ﻻﺎﺑ ﺢﻄﺳ ﺖﯿﻔﯿﮐ ندروآ ﺖﺳﺪﺑ يا
دراد ﺖﯿﺤﺟرا ﺎﻬﺷور ﺮﯾﺎﺳ ﻪﺑ ﺖﺒﺴﻧ شور .[6]
ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ رد لﺎﯿﺳ عﻮﻧ ود ﺮﺿﺎﺣ لﺎﺣ رد هدﺎﻔﺘﺳا ﯽﻣ دﻮﺷ . لوا عﻮﻧ ﻢﯾﺮﺳ ﺪﯿﺴﮐا ﻮﻧﺎﻧ ردﻮﭘ زا هزاﺪﻧا ﺎﺑ
وﺮﮑﯿﻣ ﯽﻧ
ﻖﻠﻌﻣ ترﻮﺻ ﻪﺑ ردﻮﭘ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ لﻮﻠﺤﻣ رد
آ ﻦﻫ ﻪﮐ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ياﺮﺑ
ﺖﺧادﺮﭘ ﺲﻨﺟ ﺮﻫ رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ زا ﻢﻋا ﯽﮑﯿﺘﭘا يﺎﻫ ﻪﺸﯿﺷ مﺮﻧ و ﺖﺨﺳ
و
ﺐﺳﺎﻨﻣ يا ﻪﺸﯿﺷ يﺎﻬﮑﯿﻣاﺮﺳ
هدﺎﻔﺘﺳا ﯽﻣ دﻮﺷ . ﻮﻧﺎﻧ ردﻮﭘ مود عﻮﻧ
ﺖﺳا سﺎﻤﻟا ﻪﮐ
ﭘ ياﺮﺑ ﺪﯾرﻮﻠﻓ ﻢﯿﺴﻠﮐ ﺲﻨﺟ زا ﯽﺣﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮ
،
نﻮﮑﯿﻠﯿﺳ ﺪﻨﻧﺎﻣ ﺖﺨﺳ رﺎﯿﺴﺑ يﺎﻬﻟﺎﺘﺴﯾﺮﮐ ﯽﻠﭘ و ﺖﺨﺳ نﻮﮑﯿﻠﯿﺳ ﺐﺳﺎﻨﻣ ﺪﯾﺎﺑرﺎﮐ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
[7,8]
.
و ﺲﯿﮔ ﺶﻧارﺎﮑﻤﻫ نﻮﮑﯿﻠﯿـﺳ و ﺪـﯾﺎﺑرﺎﮐ نﻮﮑﯿﻠﯿﺳ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ
ءﺰﺟ ﻪﮐ ﺪﯾﺮﺘﯿﻧ آ
بﻮﺴﺤﻣ ﯽﯾﺎﻬﮑﯿﻣاﺮﺳ زا ﻪﺘﺳد ن ﯽﻣ
ياراد ﻪﮐ ﺪﻧﻮﺷ
تﺎﻌﻄﻗ ﺪﻨﺘﺴﻫ ﯽﮔﺪﻨﻨﮑﺷ و ﯽﺘﺨﺳ ﻦﯾﺮﺘﺸﯿﺑ ﻖـﯿﻗد قﻮـﻓ يا ﻪﺸﯿﺷ
ندﺮـﺑ ﻦﯿـﺑ زا ياﺮـﺑ ﻪﻄـﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ شور زا و ﺪﻧدﺮﮐ ﺪﯿﻟﻮﺗ ﺢﻄــﺳ رد ﺰــﯾر رﺎﯿــﺴﺑ يﺎــﻬﯾراﻮﻤﻫﺎﻧ آ
هﺮــﻬﺑ ن ﺪــﻧدﺮﺑ [9,10]
. تارذ
هﺪﻨﯾﺎﺳ ي ﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣﺮﯿﻏ ﯽ
، ياﺮﺑ ﺪﻨﯾاﺮﻓ رﺎـﮑﺑ ﯽﺘﺧادﺮﭘ ﯽـﻣ
ﻪـﮐ ﺪـﻧور
ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ (MR fluid)
ﺢﻄـﺳ يور ﺮﺑ ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ ترﻮﺼﺑ
ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ ﻪﮐ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ يروﺎﻨﺷ يوﺮﯿﻧ ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ ﺮﻣا ﻦﯾا و ﺖﺳا ﺪﯿﻟﻮﺗ ﯽﺟرﺎﺧ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪﯿﻣ ﯽﻣ
ﺮﯾﺬﭘ نﺎﮑﻣا ددﺮﮔ ﯽﻣ
دﻮﺷ .
ﺑ ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﻪﮐ ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎ
ﻪﺘﺷﺬﮔ رد مﺎﺠﻧا
ﯽﻣ ﻞـﯿﻟد ﻪﺑ ﺪﺷ
ﻦﺘﺷاد
،ﺎﻫ ﺖﯾدوﺪﺤﻣ ﯽﺸﺨﺑ ﺖﯾﺎﺿر ﺞﯾﺎﺘﻧ
ار ﺖـﺧادﺮﭘ ي ﻪـﻨﯿﻣز رد
ياراد ﻪﮐ ﺖﺨﺳ داﻮﻣ يﺎﻫ ﻞﮑﺷ
ﺖﺷاﺪﻧ ﺪﻧدﻮﺑ هﺪﯿﭽﯿﭘ .
هﺪﺷ ﺮﮐذ ﺪﻨﯾاﺮﻓ تﻼﮑﺸﻣ ندﺮﮐ فﺮﻃ ﺮﺑ ﺖﻬﺟ ﯽـﺣاﺮﻃ هﺎﮕﺘـﺳد رد
ﻪﺑﺎـﺸﻣ يﺎـﻫ هﺎﮕﺘـﺳد دﺮـﮑﻠﻤﻋ ﻪﺑ طﻮﺑﺮﻣ يﺎﻫ ﺖﯾدوﺪﺤﻣ ﻪﯿﻠﮐ هﺪﺷ ﺪﻣ ﺮﻈﻧ ﺖﺳا ﻪﺘﻓﺮﮔ راﺮﻗ .
ﺖﻬﺟ هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا رد ﺪـﻨﯾاﺮﻓ ﻂﯾاﺮـﺷ دﻮﺒﻬﺑ
ﻖﯿﻗد ﻢﯿﻈﻨﺗ و ﺮﯿﯿﻐﺗ نﺎﮑﻣا
،راﺰﺑا نارود ﺖﻋﺮﺳ ﺢﻄـﺳ ﺎـﺗ راﺰﺑا ﻪﻠﺻﺎﻓ
و رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ نﺎﮑﻣا
ﺖﯿـﺻﺎﺧ ياراد ﻪﮐ ﺖﺨﺳ يﺎﻫ هﺪﻨﯾﺎﺳ زا هدﺎﻔﺘﺳا
ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ﯽﻣ
ﺪﻨﺷﺎﺑ دراد دﻮﺟو .
ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ لﻮﺻا ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ
ﺖﺧادﺮﭘ شور رد
لﺎـﻤﻋا ﮏـﻤﮐ ﻪﺑ ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ حﻮﻄﺳ
،ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪﯿﻣ ﮏﯾ تارذ
آ ﯿﻧﻮﺑﺮﮐ ﻦﻫ ﻞ لﺎﯿﺳ رد ﻖﻠﻌﻣ ﻞﮑـﺷ ﻪﺑ
ﺪﻨﻫاﻮﺧ رد راوﺮﯿﺠﻧز ﯽﻧﻮﺘﺳ رﺎﺘﺧﺎﺳ ﮏﯾ آ
،ﺪـﻣ ) ﻞﮑـﺷ 1 ) ب و ﻒـﻟا ((
ﺮﯾوﺎﺼﺗ ﻮﻟﺎﺘﻣ پﻮﮑﺳوﺮﮑﯿﻣ ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ هﺪﺷ ﻪﺘﻓﺮﮔ ر
ﻪـﮐ ﺪﻨﺘـﺴﻫ ﯽﮑﯾژ
رﺎﺘﺧﺎﺳ هﺪﻨﻫد نﺎﺸﻧ آ
ﻞﯿﻧﻮﺑﺮﮐ ﻦﻫ هاﺮﻤﻫ
و ﺎﯾ وﺪﺑ ناﺪﯿﻣ زا هدﺎﻔﺘﺳا ن
ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
. تارذ ﻦﯿﺑ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ يوﺮﯿﻧ آ
دﺎـﺠﯾا ﺚﻋﺎﺑ ﻦﻫ
رد يا هﺮﯿﺠﻧز ﺖﻣوﺎﻘﻣ آ
ﺎﻬﻧ ﯽﻣ زا ﯽﻠﻣاﻮﻋ ﻪﺑ ﺖﻣوﺎﻘﻣ ﻦﯾا ناﺰﯿﻣ و دﻮﺷ
تارذ ﺖﻈﻠﻏ ﻞﯿﺒﻗ آ
،ﻦـﻫ
،ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪـﯿﻣ تﺪـﺷ يﺮﯾﺬـﭘ ذﻮـﻔﻧ
دراد ﯽﮕﺘﺴﺑ ﺎﻬﻧآ ﺰﯾﺎﺳ و تارذ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ .[11]
ﯽﺑﻮـﺨﺑ ﻪﻠﺌـﺴﻣ ﻦﯾا
ﺷ تﺎﺒﺛا رد ﻪـﺸﯿﻤﻫ لﺎﯿـﺳ رد ﻖـﻠﻌﻣ تارذ يﺎﻫ هﺮﯿﺠﻧز ﻪﮐ ﺖﺳا هﺪ
راﺮﻗ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ نﺎﯾﺮﺟ طﻮﻄﺧ يﺎﺘﺳار ﯽﻣ
ﺪﻧﺮﯿﮔ .[12]
ب ﻒﻟا
ﻞﮑﺷ 1:
) ﻒﻟا ( ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪﯿﻣ زا هدﺎﻔﺘﺳا نوﺪﺑ ﻞﯿﻧﻮﺑﺮﮐ ﻦﻫآ تارذ ﺶﯾارآ
) ب :(
ا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﻞﯿﻧﻮﺑﺮﮐ ﻦﻫآ تارذ ﺶﯾارآ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪﯿﻣ ز
ﺪﻨﺘﺴﻫ ﺮﮕﯾﺪﮑﯾ ﺎﺑ ﻂﺒﺗﺮﻣ تﺎﮐﺮﺣ ياراد ﺎﻫ هﺮﯿﺠﻧز ﻦﯾا ﻪﮐ ﯽﻧﺎﻣز
) رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ ﻪﺑ ﻪﺟﻮﺗ ﺎﺑ (
، ﯽﻣ قﺎﻔﺗا ﺢﻄﺳ زا يرادﺮﺑ هداﺮﺑ تﺎﯿﻠﻤﻋ
ﺪﺘﻓا . تارذ ﻂﺳﻮﺗ رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ ﻪﮐ ﯽﻣﺎﮕﻨﻫ ﻪﮐ دراد دﻮﺟو روﺎﺑ ﻦﯾا
هﺪﻨﯾﺎﺳ هﺪﯿﯾﺎﺳ لﺎﯿﺳ نورد ي ﯽﻣ
،دﻮﺷ ﻪﯿﻠﮐ ﺎﻬﯾراﻮﻤﻫﺎﻧ ي زا ﺢﻄﺳ ي
ــﯿﯿﻐﺗ ﺮــﻣا ﻦــﯾا ﻞــﯿﻟد و دور ﯽــﻣ ﻦﯿــﺑ ﺮــﺳ رد ﯽﮑﯿﺘــﺳﻼﭘ ﻞﮑــﺷ ﺮ
دﺎﺠﯾا ﻻﺎﺑ ﺶﻨﺗ ﺰﮐﺮﻤﺗ ﻞﯿﻟد ﻪﺑ ﻪﮐ ﺖﺳﺎﻬﯾراﻮﻤﻫﺎﻧ ﯽﻣ
دﻮﺷ ) ﻞﮑﺷ 2 (
.[13]
ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ رد ﺶﯾﺎﺳ مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ :2 ﻞﮑﺷ
رد ﺮﺛﺆﻣ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ و هﺎﮕﺘﺳد مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ درﻮﻣ رد يﺪﻌﺑ ﺖﻤﺴﻗ رد
ﯾا ﺪﺷ ﺪﻫاﻮﺧ ﺚﺤﺑ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﻦ .
هﺪﺷ ﻪﺘﺧﺎﺳ هﺎﮕﺘﺳد مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ حﺮﺷ
،هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﯽﺣاﺮﻃ رد عﻮـﻧ زا ﺖﺧادﺮﭘ راﺰﺑا
هﺪـﺷ بﺎـﺨﺘﻧا ﯽـﻧارود
ﺖﺳا . ﺮﮕﯾد يﺎﻫ هﺎﮕﺘﺳد رد حﻮﻄـﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ﺖﻬﺟ ﯽﺗوﺎﻔﺘﻣ يﺎﻬﺷور
ﺪﻨﯾاﺮﻓ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ
هدﺎﻔﺘﺳا ﺖﺳا هﺪﺷ ﺪـﻨﻧﺎﻣ
زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺪﻨﻫد ﻞﻘﯿﺻ ﯽﭘﻮﺗ
ﯽﺷﺎﻌﺗرا ه
، ﯽﻧارود راﺰﺑا شور ﺖﯾﺰﻣ ﯽﻟو
ور ﺮﯾﺎﺳ زا
،ﺖـﺧادﺮﭘ زا ﺲـﭘ اﺮﯾز ﺖﺳا ﺮﺘﺸﯿﺑ ﺎﻬﺷ رد يﺮـﺘﻤﮐ ﺶﻨـﺗ
ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ دﺎﺠﯾا رﺎﮐ
ﯽﻣ ﺮﻣا ﻦﯾا ﻞﯿﻟد و دﻮﺷ ﻢﯿﻘﺘـﺴﻣ سﺎﻤﺗ مﺪﻋ
،ﺖـﺳا رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ ﺎﺑ راﺰﺑا رد
ﻞﮑـﺷ 3 و 4 هﺎﮕﺘـﺳد و ﮏﯿﺗﺎﻤـﺷ
ﺖﺳا هﺪﺷ ﻪﺋارا هﺪﺷ ﻪﺘﺧﺎﺳ .
ﮏﯾﺮﺘﻣوﺰﯾا يﺎﻤﻧ رد هﺪﺷ ﯽﺣاﺮﻃ هﺎﮕﺘﺳد :3 ﻞﮑﺷ
(ﺖﺳا هﺪﺷ ﻪﺘﺷادﺮﺑ ﺰﯿﻣ رود ﻪﻈﻔﺤﻣ) هﺪﺷ ﻪﺘﺧﺎﺳ هﺎﮕﺘﺳد :4 ﻞﮑﺷ
ﻪﻌﻄﻗ راود ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ي )
ﯽﺟرﺎﺧ ﺮﻄﻗ ياراد 40
ﺮﺘﻣ ﯽﻠﯿﻣ ( ﻪﮐ
ﻪﻔﯿﻇو ﺧادﺮﭘ ﯽﻠﺻا ي ﺖ
ﺢﻄﺳ نآ ي هﺪﻬﻋ ﻪﺑ هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ هاﺮﻤﻫ ﻪﺑ
ﺖﺳا و ناﺪـﻨﭼ ﻪﻧ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ناﺪﯿﻣ ﮏﯾ دﺎﺠﯾا ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ﺖـﻬﺟ يﻮـﻗ
ﺟ دراد ار هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ بﺬ .
ﻪﻌﻄﻗ ﻦﯾا هﺪﺷ راﻮﺳ لﺪﻨﯿﭙﺳا ﮏﯾ يورﺮﺑ
ﺖﺳا رﻮﺗﻮﻣ ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ و
ﻢﯿﻘﺘـﺴﻣ نﺎـﯾﺮﺟ DC
ـﭼ ﯽﯾﺎـﻧاﻮﺗ رد ﺶﺧﺮ
يﺎﻬﺘﻋﺮــﺳ 1000،750،500،250
، 1500 و 1800 ﻪــﻘﯿﻗد ﺮــﺑ رود ار
،ﺖـﺳاراد ) ﻖﺑﺎــﻄﻣ ﻞﮑــﺷ 5 .(
ﺖــﯿﻠﺑﺎﻗ ﺪــﻗﺎﻓ ﺪــﯾﺎﺑ لﺪﻨﯿﭙـﺳا ﺲﻨــﺟ
ترﻮﺼﻨﯾا ﺮﯿﻏ رد ،ﺪﺷﺎﺑ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ راود ي ﻪـﻌﻄﻗ ﺎـﺑ سﺎـﻤﺗ ﺮـﺛا رد
هﺪﺷ راﻮﺳ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ،نآ يور ﺮﺑ
هدﺮﮐ بﺬﺟ دﻮﺧ ﻪﺑ ار هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ
دﺎﺠﯾا لﻼﺘﺧا ﺖﺧادﺮﭘ تﺎﯿﻠﻤﻋ رد و ﯽـﻣ
رد لﺪﻨﯿﭙـﺳا ﺲﻨـﺟ ،ﺪـﻨﮐ
ﺞﻧﺮﺑ زا هﺪﺷ ﯽﺣاﺮﻃ هﺎﮕﺘﺳد ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
. راﺰـﺑا ﻦﯾا ﻒـﻇﻮﻣ ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ
ﺎـﻬﻧآ ﺖﯾاﺪـﻫ و دﻮﺧ ﺖﻤﺳ ﻪﺑ ﻖﻠﻌﻣ ي هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ بﺬﺟ ﺎﺑ ﺎﺗ ﺖﺳا
ﭘ تﺎـﯿﻠﻤﻋ رﺎـﮐ ﻪـﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ يورﺮﺑ
ﺪـﻫد مﺎـﺠﻧا ار ﺖـﺧادﺮ .
ﻞﮑـﺷ 6
شور زا ﯽﮑﯿﺗﺎﻤﺷ ژرﺎﺷ
ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ نﺎﺸﻧ ار لﺎﯿﺳ ي ﯽـﻣ
،ﺪـﻫد ﻦـﯾا رد
يورﺮﺑ نآ ﺖﯾاﺪﻫ و هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ يوﺎﺣ لﺎﯿﺳ ﺶﺷﺎﭘ ي هﻮﺤﻧ ﺮﯾﻮﺼﺗ ﺢﻄﺳ رﺎـﮐ ﻪـﻌﻄﻗ ﻂـﺳﻮﺗ
تﺎـﯿﻠﻤﻋ مﺎـﺠﻧا و ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ راود ﻪـﻌﻄﻗ
ﺖﺳا هﺪﺷ ﺺﺨﺸﻣ يدوﺪﺣ ﺎﺗ ﺖﺧادﺮﭘ .
ياراد ﺮﻈﻧ درﻮﻣ هﺎﮕﺘﺳد 3
رﻮﺤﻣ ﯽﺘﮐﺮﺣ X,Y,Z ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ . ﺖـﮐﺮﺣ
رﻮﺤﻣ يﺎﺘﺳار رد Z
ﺖـﺳا ﻢﯿـﻈﻨﺗ ﻞـﺑﺎﻗ هﺮﻬﻣ و ﭻﯿﭘ مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ ﻂﺳﻮﺗ ،
ﯽـﻣ ﻞـﺼﺘﻣ كﺮـﺤﺘﻣ ي ﻪﺤﻔﺻ ﻪﺑ هﺪﻧراﺪﻬﮕﻧ ود ﻂﺳﻮﺗ ﺰﯿﻧ لﺪﻨﯿﭙﺳا ﺪﺷﺎﺑ .
لﺪﻨﯿﭙﺳا يورﺮﺑ هﺪﺷ راﻮﺳ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ راود يﻪﻌﻄﻗ :5 ﻞﮑﺷ
هﻮﺤﻧ :6 ﻞﮑﺷ
ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ راود ﻪـﻌﻄﻗ ﻂﺳﻮﺗ نآ ﺖﯾاﺪﻫ و لﺎﯿﺳ ﺶﺷﺎﭘ ي
شور رد رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ يورﺮﺑ ژرﺎﺷ
ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ
هﺪﻧراﺪﻬﮕﻧ ﺰﯿﻣ ﺖﻬﺟ ود رد ﺖﮐﺮﺣ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ي
وX ارY
ﺖﺳاراد . ﺮﺣ رﻮﺤﻣ يﺎﺘﺳار رد ﺰﯿﻣ ﺖﮐ و ﯽﺘﺸﮔﺮﺑ و ﺖﻓر ترﻮﺻ ﻪﺑX
ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
، رﻮﺗﻮﻣ ﮏﯾ ي ﻪﻄﺳاﻮﺑ رﺎﮐ ﻦﯾا ﮏـﯾ ﻂﺳﻮﺗ ﻪﮐDC
مﺎﺠﻧا ﺖﺳا هﺪﺷ ﻞﺼﺘﻣ ﺰﯿﻣ ﻪﺑ وزﺎﺑ ﯽﻣ
،دﻮﺷ زا ﺖﻤﺴﻗ ﻦﯾا ﯽﺣاﺮﻃ رد
مﺰﯿﻧﺎﮑﻣ خﺮﭼ ﺖﺳا هﺪﺷ هدﺎﻔﺘﺳا ﮓﻨﻟ )
ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ ﺰﯿﻣ ﺖﮐﺮﺣ ﺖﻋﺮﺳ
ﯽﮑﯾﺮﺘﮑﻟا ﺮﻤﯾد ﺖﺳا ﻢﯿﻈﻨﺗ ﻞﺑﺎﻗ
(
، ) ﻞﮑﺷ 7 ( . دﻮﺧ ي ﻪﺑﻮﻧ ﻪﺑ رﺎﮐ ﻦﯾا
هﺪﻨﯾﺎـﺳ تارذ ﺮـﺗ نﺎﺳآ ﺖﮐﺮﺣ و نﺎﯾﺮﺟ رد شﺎﺸﺘﻏا دﺎﺠﯾا ﻞﯿﻟد ﻪﺑ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﻂﯾاﺮﺷ هﺪﻨﻫد دﻮﺒﻬﺑ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ زا ﺮﮕﯾد ﯽﮑﯾ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
. ﺖﮐﺮﺣ
رﻮﺤﻣ يﺎﺘﺳار رد ﺰﯿﻣ ترﻮـﺼﺑ دﺎـﯾز ناﺪـﻨﭼ ﻪـﻧ ﺖـﯿﻤﻫا ﻞﯿﻟد ﻪﺑY
مﺎﺠﻧا ﯽﺘﺳد ﯽﻣ
دﻮﺷ .
د رد يا ﻪـﻈﻔﺤﻣ هﺎﮕﺘـﺳد ﻦـﯾا ﯽﺣاﺮﻃ رد
هﺪـﻧراﺪﻬﮕﻧ ﺰـﯿﻣ رو ي
ﻪﻌﻄﻗ ﺖﺳا هﺪﺷ ﻪﯿﺒﻌﺗ رﺎﮐ ﺪﻧاﻮﺘﺑ ﻪﮐ
ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ﺑ تﺎﻌﻄﻗ ﺖﺧادﺮﭘ ﻪ
ترﻮﺻ
يرو ﻪﻃﻮﻏ و
ﺑ ﻪ ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ ژرﺎﺷ ترﻮﺻ لﺎﯿﺳ ي
ﺪﺷﺎﺑ ﻪﺘﺷاد
، ﯽﻨﻌﻣ ﻦﯾﺪﺑ
لﺎﯿﺳ ﻪﮐ رد تﺎـﯿﻠﻤﻋ ﻞـﻣﺎﮐ مﺎـﻤﺗا ﺎﺗ ﻪﮐ يرو ﻪﻃﻮﻏ شور فﻼﺧ ﺮﺑ
ﺪﻧﺎﻣ ﯽﻣ ﯽﻗﺎﺑ ﻪﻈﻔﺤﻣ نورد دراو ﻪـﻈﻔﺤﻣ نورد ﻪـﺑ لزﺎﻧ ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ
هﺪﺷ و ﺳ جرﺎﺧ ﻪﻈﻔﺤﻣ ﺮﮕﯾد فﺮﻃ زا ﺲﭙ ﯽﻣ
دﻮﺷ .
ﺖﺸﭘ زا هﺎﮕﺘﺳد يﺎﻤﻧ :7 ﻞﮑﺷ رﻮﺻ رد شور زا هدﺎﻔﺘﺳا ت ژرﺎﺷ
،لﺎﯿﺳ دﺪﺠﻣ زا هﺎﮕﺘﺳد رﺎﻨﮐ رد ﺪﯾﺎﺑ
يوﺎﺣ نﺰﺨﻣ ﮏﯾ ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ
ﯽﯾﺎﻧاﻮﺗ ﻪﮐ ﻦﯿﻣﺎﺗ
ﺎـﺗ لﺎﯿـﺳ
دﺎﻔﺘﺳا ﺪﺷﺎﺑ ﻪﺘﺷاد ار ﺪﻨﯾاﺮﻓ مﺎﻤﺗا نﺎﻣز دﻮﻤﻧ ه
. ﭗﻤﭘ ﮏﯾ ﻂﺳﻮﺗ لﺎﯿﺳ
هداد لﺎﻘﺘﻧا هﺎﮕﺘﺳد ي ﻪﻈﻔﺤﻣ نورد ﻪﺑ ﯽﻣ
دﻮﺷ .
ا ﺮﮕﯾد زا ﺪﻫ ا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﯽﻨﺤﻨﻣ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﺖﺧﺎﺳ ف
لﺎﯿﺳ زا ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
. ﻦـﯾا ﻪـﺑ ﻪـﮐ ﯽﺗﺎﻌﻄﻗ ﺲﻨﺟ
ﺖﺧادﺮﭘ شور ﯽﻣ
ﺪـﺷﺎﺑ ﯽـﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ﺪﻗﺎﻓ ﺪﯾﺎﺑ ﺪﻧﻮﺷ رد اﺮـﯾز
ﺗ ترﻮﺼﻨﯾا ﺮﯿﻏ ﺖﯿﻠﺑﺎﻗ ياراد ﻪﮐ لﺎﯿﺳ رد دﻮﺟﻮﻣ هﺪﻨﯾﺎﺳ تارذ ﯽﻣﺎﻤ
ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ ﯽﻣ
تﺎـﯿﻠﻤﻋ رد و هﺪـﺷ رﺎـﮐ ﻪـﻌﻄﻗ ﺢﻄـﺳ بﺬﺟ ﺪﻨﺷﺎﺑ
دﺎﺠﯾا لﻼﺘﺧا ﺖﺧادﺮﭘ ﯽﻣ
ﺪﻨﻨﮐ . ﻪـﮐ ﯽﺗﺎـﻌﻄﻗ ﻦﯿﻨﭽﻤﻫ ﻦـﯾا ﻂـﺳﻮﺗ
شور ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻧﻮﺷ ﯽﻣ ﮏـﯾ ياراد ﺪـﯾﺎﺑ ﺖـﺧادﺮﭘ
ﻪـﯿﻟوا ﺢﻄـﺳ ي
ﺪﻨﺷﺎﺑ ﺐﺳﺎﻨﻣ .
ـﺳا هﺪـﺷ ﯽـﺣاﺮﻃ يا ﻪﻧﻮﮔ ﻪﺑ ﯽﻧارود راﺰﺑا و ﺾﯾﻮـﻌﺗ ﺖـﯿﻠﺑﺎﻗ ﻪـﮐ ﺖ
ﺪﺷﺎﺑ اراد ار ﯽﻧارود راﺰﺑا ناﻮﻨﻋ ﻪﺑ ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫﺮﻄﻗ زا هدﺎﻔﺘﺳا .
ﻪﺠﯿﺘﻧ ﻊﻤﺟ و يﺮﯿﮔ يﺪﻨﺑ
ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ
ﮏـﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿـﺳ ﻪﻠﯿـﺳو ﻪﺑ يﺎﻬـﺷور زا ﯽـﮑﯾ
ﻪﻨﯾﺰﻫ اﺮﯾز ﺖﺳا هﺪﺸﻧ ﻪﺘﺧﺎﻨﺷ ﯽﺑﻮﺨﺑ زﻮﻨﻫ ﻪﮐ ﺖﺳا حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ دﺎﯾز ﺎﺒﯾﺮﻘﺗ شور ﻦﯾا يﺎﻫ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ
ﻄﺑ ﯽﻟو يﺎﻬﺷور زا ﯽﮑﯾ ﯽﻠﮐ رﻮ
ﻣ ﻻﺎـﺑ رﺎﯿـﺴﺑ ﺖﻗد ﺎﺑ حﻮﻄﺳ ﻪﺑ ﻦﺘﻓﺎﯾ ﺖﺳد ﺖﻬﺟ ﺮﺛﺆ
ﺪـﺷﺎﺑ ﯽـﻣ . رد
ﺢﻄﺳ ﺖﯿﻔﯿﮐ ﺮﺑ يدﺪﻌﺘﻣ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ ﻪﻄﺳاو لﺎﯿﺳ ﺎﺑ ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﯽﻣ ﺮﯿﺛﺎﺗ ﯽﯾﺎﻬﻧ
،هﺪﻨﯾﺎـﺳ تارذ عﻮـﻧ ﻪﻠﻤﺟ زا ﺪﻧراﺬﮔ
،ﯽـﻧارود ﺖﻋﺮـﺳ
ﻪﻠﺻﺎﻓ
،رﺎـﮐ ﻪـﻌﻄﻗ ﺢﻄﺳ ﺎﺑ ﯽﺴﯿﻃﺎﻨﻐﻣ راود ي ﻪﻌﻄﻗ ي ﺰـﯿﻣ ﺖـﮐﺮﺣ
ﺪﻬﮕﻧ هﺪﻧرا ﺎـﯾ يرو ﻪـﻃﻮﻏ يﺎﻬـﺷور زا هدﺎﻔﺘـﺳا و رﺎﮐ ﻪﻌﻄﻗ ي ژرﺎـﺷ
ﻪﺘﺳﻮﯿﭘ . هﺎﮕﺘﺳد ﯽﻫﺎﮕﺸﯾﺎﻣزآ ﻪﻧﻮﻤﻧ ﺖﺧﺎﺳ و ﯽﺣاﺮﻃ ﻪﺑ ﻪﻟﺎﻘﻣ ﻦﯾا رد
هﺪﯿﭽﯿﭘ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ لﺎﯿﺳ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ
ﻪـﺘﺧادﺮﭘ
ﺖــﺳا هﺪــﺷ .
ياﺮــﺑ فﺎــﻄﻌﻧا ﺖــﯿﻠﺑﺎﻗ هﺎﮕﺘــﺳد تﺎﯿــﺻﻮﺼﺧ ﻪــﻠﻤﺟ زا
ﺎﭘ ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫ ﻢﺘﺴﯿﺳ رد يﺮﯿﮔرﺎﮑﺑ ﺸﺷ
يرو ﻪﻃﻮﻏ و ﯽ هدﺎﺳ ﺐﺼﻧ و
ﻊﯾﺮﺳ و ﺖﺳا هﺎﮕﺘﺳد .
يﺮﯿﮔرﺎـﮑﺑ نﺎـﮑﻣا هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﺮﮕﯾد يﺎﯾاﺰﻣ زا
و يرﻮﺗﺎﯿﻨﯿﻣ تﺎﻌﻄﻗ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ياﺮﺑ نﺎﮑﻣا
و يزﺎـﺳ لﺪﻣ مﺎﺠﻧا
ياﺮـﺑ ﻻﺎـﺑ ﺖـﻗد ﺎـﺑ يرﺎﮐ ﺖﺧادﺮﭘ ﺪﻨﯾاﺮﻓ ﺮﺑ ﺮﺛﻮﻣ يﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ ﯽﺳرﺮﺑ ﯽـﻣ ﯽﻨﺤﻨﻣ حﻮﻄﺳ ﺪـﺷﺎﺑ
. و ﯽـﺳرﺮﺑ هﺎﮕﺘـﺳد ﻦـﯾا ﺖﺧﺎـﺳ زا فﺪـﻫ
ﺮﺘﺸﯿﺑ ﺖﺧﺎﻨﺷ ﻻﺎـﺑ ﺖﻗد ﺎﺑ ﯽﻧز ﮓﻨﺳ ﺪﻨﯾاﺮﻓ
ﻪﻄـﺳاو لﺎﯿـﺳ ﻂـﺳﻮﺗ
ﮏﯾژﻮﻟﻮﺋرﻮﺘﻨﮕﻣ ﺪﺷﺎﺑ ﯽﻣ ﺖﺨﺗ ﺮﯿﻏ حﻮﻄﺳ ﺖﺧادﺮﭘ ﺖﻬﺟ
.
ﯽﻧادرﺪﻗ و ﺮﮑﺸﺗ
ﯽﻣ مزﻻ دﻮﺧ ﺮﺑ ﻪﻟﺎﻘﻣ نﺎﮔﺪﻧرﺎﮕﻧ دازآ هﺎﮕـﺸﻧاد يﺎـﻫ ﺖﯾﺎﻤﺣ زا ﺪﻨﻧاد
ﻦﯿﻨﭽﻤﻫ ﺪﻧروآ ﺎﺠﺑ ار ﺮﮑﺸﺗ لﺎﻤﮐ دﺎﺑآ ﻒﺠﻧ ﺪﺣاو ﯽﻣﻼﺳا ﺖﺳا مزﻻ
ﮐ و تﺎﻤﺣز زا ﺎﺗ يﺮـﺼﯿﻗ ﯽـﻠﻋ ﺪـﻤﺤﻣ يﺎﻗآ بﺎﻨﺟ يﺎﻫ ﮏﻤ
ﺖـﻬﺟ
ﮏﻤﮐ ﻪﻨﯿﻣز رد دﻮﺷ ﺮﮑﺸﺗ هﺎﮕﺘﺳد ﻦﯾا ﺖﺧﺎﺳ ي .
ﻊﺟاﺮﻣ [1] J.Seok, Y.J.Kim, K.I.Jang, B.K.Min, S.J.Lee, A
study on the fabrication of curved surfaces using magnetorheological fluid finishing, International Journal of Machine Tools & Manufacture 47 (2007) 2077–2090.
[2] C. Zhang, R. Rentsch, E. Brinksmeier, Advances in micro ultrasonic assisted lapping of microstructures in hard-brittle materials: a brief review and outlook, International Journal of Machine Tools and Manufacture 45 (2005) 881–890.
[3] J.H. Liu, Z.J. Pei, G.R. Fisher, Grinding wheels for manufacturing of silicon wafers: a literature review, International Journal of Machine Tools and Manufacture 47 (2007) 1–13.
[4] P.B. Zantye, A. Kumar, A.K. Sikder, Chemical mechanical planarization for microelectronics applications, Materials Science and Engineering R 45 (2004) 89–220.
[5] B. Jung, K. Injang, B. KwonnMin, S. Lee, J.Seok, Magnetorheological finishing process for hard, materials, using sintered iron-CNT compound abrasives, International Journal of Machine Tools
& Manufacture 49 (2009) 407–418
[6] W.-B. Kim, S.-H. Lee, B.-K. Min, Surface finishing and evaluation of three- dimensional silicon microchannel using magnetorheological fluid, Journal of Manufacturing Science and Engineering 126 (2004) 772–778.
[7] M. Tricard, A. Shorey, B. Hallock, P. Murphy, Cost-effective subaperture approaches to finishing and testing astronomical optics, in: Proceedings of the SPIE, Optical Testing and Metrology for Large Telescopes, 2006, p. 62730L.
[8] M. Schinhaerl, G. Smith, A. Geiss, L. Smith, R.
Rascher, P. Sperber, E. Pitschke, R. Stamp, Calculation of MRF influence functions, in:
Proceedings of SPIE, Optical Manufacturing and Testing VII, 2007, pp. 1–12.
[9] A. Geiss, M. Schinhaerl, E. Pitschke, F. Kader, R.
Rascher, P. Sperber, J. Slabeycius, Correcting silicon carbide and silicon nitride moulds by Magnetorheological Finishing, in: Proceedings of the Seventh Euspen International Conference, 2007, pp. 360–363.
[10] A. Geiss, M. Schinhaerl, R. Rascher, P. Sperber, J.
Slabeycius, F. Kader, C. Vogt, Magnetorheological Finishing of silicon nitride moulds, in: Proceedings of the 10th Euspen International Conference, 2008, pp. 66–67.
[11] T. Simon, F. Reitich, Modeling and computation of the overall magnetic properties of magnetorheological fluids, in Proceedings of the 36th Conference on Decision & Control, San Diego, CA, 1997, pp. 3721–3726.
[12] S. Jha, V.K. Jain, Design and development of the magnetorheological abrasive flow finishing (MRAFF) process, International Journal of Machine Tools & Manufacture 44 (2004) 1019–
1029.
[13] J.F. Archad, Contact and rubbing of flat surfaces, Journal of Applied Physics 24 (1953) 981–988.
