• Tidak ada hasil yang ditemukan

DEPOSISI LAPISAN TIPIS TCO (ZNO:IN) PADA SUBSTRAT KACA MENGGUNAKAN TEKNIK DC SPUTTERING

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2022

Membagikan "DEPOSISI LAPISAN TIPIS TCO (ZNO:IN) PADA SUBSTRAT KACA MENGGUNAKAN TEKNIK DC SPUTTERING"

Copied!
7
0
0

Teks penuh

Gambar

Gambar 1. Diagram sistem deposisi dc sputtering.
Gambar  4. Grafik nilai resistansi lapisan tipis  (ZnO:In) vs kandungan In, pada tekanan  gas 5x10 -2  Torr, suhu 225  o C dan waktu  deposisi 75 menit
Gambar  7. Grafik nilai transmitansi lapisan tipis  (ZnO:In) vs panjang gelombang untuk  variasi tekanan gas
Gambar 10. Struktur kristal lapisan tipis ZnO:In pada  substrat kaca dengan XRD, untuk tekanan  gas 5x10 -2  Torr, suhu substrat 225  o C dan  waktu deposisi 75 menit

Referensi

Dokumen terkait

Dapat melapisi lapisan tipis dari bahan dengan titik leleh tinggi;. Dapat melapisi bahan logam, paduan, semikonduktor

Pengaruh pemanasan lapisan tipis TiO 2 di atas substrat kaca yang ditumbuhkan dengan metode spin coating telah dilakukan.. Lapisan tipis TiO 2 dibuat

Hasil analisis struktur kristal dengan XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposisi pada substrat alumina adalah polikristal dengan puncak dominan ke arah bidang

Dari gambar tersebut terlihat bahwa pada waktu deposisi 15 menit diperoleh nilai resistansi sebesar 550 Ω , hal ini kemungkinan partikel CuInS 2 hasil sputtering belum

Pada penelitian ini penambahan doping Ag pada lapisan tipis ZnO yang dideposisikan di atas substrat kaca menggunakan metode thermal spray coating memiliki pengaruh

Dari hasil pengukuran tahanan maju dan mundur diperoleh tahanan maju dan mundur yang berbeda yaitu 951 ohm dan 15,1 k ohm, pengamatan tebal lapisan tipis ZnO 1,5 µm dan lapisan

Telah dilakukan karakterisasi sifat optik, struktur kristal dan struktur mikro lapisan tipis ZnO:AI hasil deposisi pada substrat kaca sebagai bahan TCO untuk sel surya dengan metode

Kesimpulan Lapisan tipis ZnO berhasil dibentuk di atas substrat silicon 111, lapisan tipis tersebut merupakan polikristal dengan orientasi bidang Kristal yang bervariasi pada suhu