DEPOSISI LAPISAN TIPIS TCO (ZNO:IN) PADA SUBSTRAT KACA MENGGUNAKAN TEKNIK DC SPUTTERING
Teks penuh
Gambar
Dokumen terkait
Dapat melapisi lapisan tipis dari bahan dengan titik leleh tinggi;. Dapat melapisi bahan logam, paduan, semikonduktor
Pengaruh pemanasan lapisan tipis TiO 2 di atas substrat kaca yang ditumbuhkan dengan metode spin coating telah dilakukan.. Lapisan tipis TiO 2 dibuat
Hasil analisis struktur kristal dengan XRD menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al yang terdeposisi pada substrat alumina adalah polikristal dengan puncak dominan ke arah bidang
Dari gambar tersebut terlihat bahwa pada waktu deposisi 15 menit diperoleh nilai resistansi sebesar 550 Ω , hal ini kemungkinan partikel CuInS 2 hasil sputtering belum
Pada penelitian ini penambahan doping Ag pada lapisan tipis ZnO yang dideposisikan di atas substrat kaca menggunakan metode thermal spray coating memiliki pengaruh
Dari hasil pengukuran tahanan maju dan mundur diperoleh tahanan maju dan mundur yang berbeda yaitu 951 ohm dan 15,1 k ohm, pengamatan tebal lapisan tipis ZnO 1,5 µm dan lapisan
Telah dilakukan karakterisasi sifat optik, struktur kristal dan struktur mikro lapisan tipis ZnO:AI hasil deposisi pada substrat kaca sebagai bahan TCO untuk sel surya dengan metode
Kesimpulan Lapisan tipis ZnO berhasil dibentuk di atas substrat silicon 111, lapisan tipis tersebut merupakan polikristal dengan orientasi bidang Kristal yang bervariasi pada suhu