Analisis Sitat Listrik Persambungan M-S-M Pada Film Tipis Alxga1-Xn Yang Ditumbuhkan Di Atas Substrat Silikon (111) Dengan Metode Dc Magnetron Sputtering â.
Bebas
67
0
0
Teks penuh
Gambar
+7
Dokumen terkait
Pengukuran dengan EDAX dari ketiga sampel film tipis GaN hasil penumbuhan di atas substrat safir (0001) dengan perbedaan rasio laju alir gas argon dan nitrogen terlihat adanya
Jumlah konsentrasi silikon pada lapisan tipis masih berada dalam kondisi silikon dominan (x<0.5) dan peningkatan konsentrasi karbon yang mengurangi dangling bond pada atom