マイクロビームアナリシス第１４１委員会の活動概要
本委員会は、昭和４９年、当時新たに登場した電子・イオンおよびＸ線を用いた各種局所分 析法を実際に企業現場で活用するため、諸主要因子を解明して定量分析精度を向上させること が強く望まれていた事を背景に、これらのマイクロビームアナリシスに関する研究を総合的か つ系統的に、産学協力して進めることを目的として設立された。以来、新しい原理に基づく新 装置を開発することを目指した装置化研究、これらの新しい装置を種々の材料・デバイスの解 析評価に適用するための技術的・方法論的研究、さらにはこれらの新技術を企業の現場で活用 するための技術開発ならびに人材育成を強力に推進してきた。また、国際マイクロビームアナ リシス連合（IUMAS）の主要メンバーとして国際的活動を活発に推進し、我が国を代表する研 究・技術者集団としての地位を確立している。
本委員会は、産学協力の場としての特徴を最大限に活用して、マイクロビームアナリシスに 関する基礎ならびに先端的研究、応用ならびに実践的技術開発、さらには産業界と学会におけ る人材育成を鋭意推進し、もって社会に貢献することを目的としている。
委 員 長
日比野 倫夫 （愛知工業大学 教授）副委員長
越川 孝範 （大阪電気通信大学 教授）副委員長
大島 忠平 （早稲田大学 教授）装置化技術開発部会（主査：大島副委員長）
装置化検討ＷＧ（座長：一村委員）
未来開拓・学術創成研究ＷＧ（座長：大島副委員長）
人材育成部会（主査：二瓶委員）
材料分析ＷＧ（座長：橋本（操）委員）
SIMS新技術ＷＧ（座長：工藤委員）
国際交流・標準化推進部会（主査：越川副委員長）
アジア・パシフィック国際協力ＷＧ（座長：高井委員）
国際規格共同開発ＷＧ（座長：本間委員）
目 的
組 織
委 員（平成14
年
5月現在） （五十音順）
● 運営委員
飯吉 僚 (愛知工業大)、石井 秀司（東大生産技術研究所）、市ノ川 竹男（早大名誉）、
一村 信吾（産業技術総合研究所）、大島 忠平（早大）、工藤 正博（成蹊大）、越川 孝範
（大阪電気通信大）、榊 米一郎（名大、豊橋技科大名誉）、坂本 哲夫 (東大環境安全研 究セ)、志水 隆一（大阪工業大）、高井 義造（阪大）、田沼 繁夫 ((独)物質・材料研究機 構)、二瓶 好正（東京理科大）、日比野 倫夫（愛知工業大）、丸勢 進（名城大）、安江 常 夫 (大阪電気通信大)、および＊印（下記）協力会員企業
● 委 員
青野 正和（阪大院）、生田 孝（大阪電機通信大）、石川 晃（日大）、一宮 彪彦（名大院）、 市橋 幹雄 (名大)、植田 千秋（阪大院）、牛木 辰男（新潟大）、尾浦憲治郎（阪大院）、
大石 昭司（(独)産業技術総合研究所）、大下 昭憲（三重大）、大森 康男（東北大名誉）、
尾嶋 正治（東大院）、尾張 真則（東大）、鎌田 仁（(財)山形県企業振興公社）、河合 潤
（京大院）、城戸 義明（立命館大）、小島 勇夫（(独)産業技術研究所）、後藤 敬典（名 工大）、坂 貴（大同工業大）、坂 公恭（名大院）、下山 宏（名城大）、鈴木 茂 (東北大)、
関 節子（拓殖大）、高井 幹夫（阪大）、高屋 憲一（富山医科薬科大）、玉置 省三（大阪 府立産業技術総合研究所）、田村 一二三（日本工業大学）、徳本 洋志（(独)産業技術総 合研究所）、花井 孝明 (鈴鹿高専)、早川 和延 (大学評価・学位授与機構)、春田 正毅（(独) 産業技術総合研究所）、板東 義雄（(独)物質・材料研究機構）、福島 整（(独)物質・材料 研究機構）、古屋 一夫（(独)物質・材料研究機構）、村岡 克紀 (九大院)、森川 久（(独) 産業技術総合研究所）、森下 祐一（(独)産業技術総合研究所）、森田 健治（名大）、森田 清三（阪大院）、八木 克道（大学評価・学位授与機構）、山本 直紀（東工大院）、圦本 尚 義（東工大院）、
● 協力会員企業
(株)アイテス、旭化成工業(株)、旭硝子(株)、(株)アプコ、アルバック・ファイ(株)＊、(株)
イオン工学研究所、(株)エー・アンド・デイ、NTTアドバンステクノロジー(株)、エンジ ェルラボ(株)＊、カメカインスツルメンツ(株)、川崎製鉄(株)＊、川鉄テクノリサーチ(株)、
キャノン(株)、キャノン販売(株)、鋼管計測(株)＊、コーニング研究所、コニカ(株)、(財) 材料科学技術振興財団、三洋電機(株)、シーエーシーズ(株)＊、(株)島津製作所＊、(株) 島津総合科学研究所、シャープ(株)、昭和電工(株)、新日本製鐵(株)＊、(株)住化分析セ ンター筑波事業所、住友大阪セメント(株)、住友金属テクノロジー(株)＊、住友電気工業 (株)、セイコーインスツルメンツ(株)、ソニー(株)、帝人(株)、(株)テクノス、電気化学工 業(株)、デンソー(株)、(株)東芝研究開発センター、東芝マイクロエレクトロニクス(株)、
(有)東ソー分析センター、(株)東レリサーチセンター、(株)トプコン、(株)豊田中央研究 所、ナノサイエンス(株)、日新製鋼(株)、日本軽金属(株)、日本鋼管(株)＊、(株)日鐡テク ノリサーチ、日本電子(株)＊、日本電信電話(株)＊、(株)日立製作所＊、(財)ファインセ ラミックスセンター試験研究所＊、富士写真フィルム(株)＊、みずほフィナンシャルグ ループ(株)富士総合研究所、(株)富士通研究所、(株)富士電機総合研究所、古河電気工業
(株)、 (株)堀場製作所、(株)松下テクノリサーチ＊、松下電工(株)、三菱マテリアル(株)、
(株)三井化学分析センター、三菱ガス化学(株)、三菱重工業(株)、三菱電機(株)＊、理学 電機工業(株)＊、理学電機(株)、ローム(株)
定期的研究会および運営委員会の開催
年４回開催（概ね５月、９月、１２月、３月）
この研究会は本委員会の最大の活動の場。毎回２日間、研究成果 10〜15 件の発表と討論を 行い、さらにWG会議を適宜開催する。毎回特別講演および依頼講演を企画。初日に運営委 員会を開催。
国際シンポジウム・国際共同セミナーの開催
本委員会主催で、過去5年以内に以下のようなシンポジウム・セミナーを開催した。
(1) “Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’97”
(Maui, Hawaii, 11月23日~28日, 1997年) 参加者100余名（外国人30名）
(2) 国際マイクロビームアナリシス連合合同シンポジウム IUMAS 2000
(Kona, Hawaii, 7月9日~14日, 2000年）参加者350名（外国人280名）
(3) “3rd International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’01 (ALC’01)”
(Nara, Japan, 11月11日~14日, 2001年) 参加者 163名 (外国人20名) (4) “13th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry and Related Topics (SIMS XIII)”
(Nara, Japan, 11月11日~16日, 2001年) 参加者 306名 (外国人 140名)
産学協力ワーキンググループ（ＷＧ）活動実績
(1) 装置化検討WG超微細加工装置の開発ならびに環境順応型キャラクタリゼーションの開発を目指した 調査研究を開始した。
(2) アジア・パシフィック国際協力WG
アジア・パシフィック地域の学術研究協力を目的として活動し、日中合同セミナーの開 催等を行っている。
(3) SIMS新技術WG
平成12年度以降、第1回ならびに第2回研究会(国際シンポジウム)を開催した。
(4) 材料分析WG
委員会所属の主として企業会員の若手研究者・技術者を対象に、その技術向上を目的に 主要な分析技術に関する講演と自由な討議の場の提供を行っている。年4回開催を基本 として平成13年度までに6回開催されている。
活 動
事 務 局
日 本 学 術 振 興 会 研究事業課 第141委員会 〒102-8471 東京都千代田区一番町６（住友一番町ビル）
電話 03-3263-1728（代表）／ファクシミリ 03-3263-1716
学振未来開拓学術研究推進事業・学術創成研究費
下記の４件のプロジェクトを産学協力して実施、または推進中である。
● 未来開拓学術研究推進事業
(1)「次世代超電子顕微鏡の開発」（平成８年度〜平成１２年度）
(2)「光電子スペクトロホログラフィーによる原子レベルでの表面・界面３次元構造評価 装置の開発」（平成１０年度〜）
(3)「超コヒーレント電子銃の開発」（平成１１年度〜）
● 学術創成研究費
(4)「放射光−極微解析ナノスコープ」（平成１３年度〜）
国際標準化推進
(1) ISO-TC201（Surface Chemical Analysis, 幹事国・日本）
1999年1月１日より志水隆一委員が国際議長に就任。
(2) ISO-TC202（Microbeam Analysis,幹事国・中国）
いずれも本委員会委員が主要メンバーとして活躍している。
榊賞受賞者への海外国際会議への派遣（招待講演者）
平成７年度に設立されて以来、受賞者を国際会議や国際シンポジウムの招待講演者とし て派遣してきた。
ホームページ http://momiji.esc.u-tokyo.ac.jp/jsps141/
● 研究会日程・プログラムの閲覧
● 入会書式のダウンロード
