• Tidak ada hasil yang ditemukan

Formation of Palladium Silicide on Heavily Doped Si(001) Substrates Using Ti Intermediate Layer

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2017

Membagikan "Formation of Palladium Silicide on Heavily Doped Si(001) Substrates Using Ti Intermediate Layer"

Copied!
5
0
0

Teks penuh

Loading

Gambar

Fig. 1.XRD (2�=!) profiles of the Pd (10 nm)/Si system without Tiinterlayer, the Pd (10 nm)/Ti (2 nm)/Si system without B-doping, and thePd (10 nm)/Ti (2 nm)/Si systems with B-doping at 3 � 1014 cm�2 and B-doping at 1 � 1015 cm�2 after (a) annealing at 300 �C for 10 min and (b)RTA at 600 �C for 30 s.
Fig. 4.SEM images of Pd/Ti/Si samples (a) without doping and (b) with B-doping at 3 � 1014 and (c) 1 � 1015 cm�2 after RTA at 600 �C for 30 s
Fig. 7.Sheet resistances of Pd/Ti/Si samples with and without B-doping as a function of annealing temperature.

Referensi

Dokumen terkait

Nilai p yang diperoleh melalui uji Wilcoxon Signed Ranks Test adalah (p = 0,000) dimana p < α (0,05), maka Ho ditolak dan dapat disimpulkan bahwa terdapat

Kual a Jambi Kabupat en Tanj ung Jabung Timur Tahun Anggaran 2013, unt uk Paket Pekerj aan t ersebut diat as t el ah dil aksanakan Pembukaan Penawaran pada Tanggal 25 Jul i 2013,

Memberikan penjelasan tentang pola asuh yang paling sesuai untuk anak usia dini dan kaitannya dengan pengalaman sebagai pendidik anak

Sebagian besar dari infeksi saluran pernapasan hanya bersifat ringan seperti batuk pilek dan tidak memerlukan pengobatan dengan antibiotik, namun demikian anak akan menderita

di SMK Negeri 2 Purbalingga perilaku merokok sudah bukan lagi menjadi hal yang aneh, walaupun sebagian besar dilakukan tidak di sekolah. Namun, sebagian siswa berani

dengan judul “ efektivitas penambahan serbuk kunyit ( Curcuma domestica Val.) dan asam jawa (Tamarindus indica L .) dalam pakan komersial terhaap hemoglobin dan hematokrit

Terdapat perbedaan yang bermakna dari faktor risiko suhu tubuh pada. kejang demam sederhana

Puji syukur kehadiran Allah SWT atas segala rahmat dan hidayah-Nya yang dilimpahkan kepada penulis sehingga dapat mengadakan penelitian dan sekaligus menyelesaikan penyusun