LAMPIRAN A DATA PERCOBAAN
1. Data Hasil Lapisan Film Tipis Teknik PLD
Panjang
Gelombang Substrat Energi Plat Tekanan Waktu
Diameter Plasma
Ada / Tidak Adanya Lapisan
Kiri Kanan
532 nm Alumina 15 mJ
Silicon
Wafer 5 Pa
15 Menit
> 2,5 cm Sangat Jelas
Sangat Jelas
15 mJ AL 6 Pa < 2,5 cm jelas jelas
1064 nm Alumina
12 mJ AL 4,26 Pa > 3cm sangat
jelas
sangat jelas
Sangat Jelas 45 mJ Silicon
Wafer 4,53 Pa > 3cm
Sangat Jelas
LAMPIRAN B
GAMBARAN PERCOBAAN
Gambar 2. Rangkaian Percobaan Pengamatan Berkas Laser Sinar Laser Pulsa Nd:YAG Q-Smart 850