Suprapto, dkk. ISSN 0216 -3128 93
REKONSTRUKSI
SUMBER
ELEKTRON
TERMIONIK
DENGAN ELEKTRODE PIERCE UNTUK MBE 500 keY/tO mA
Suprapto, Djoko SP., Djasiman
Pusat Pene/itian don Pengembangan Tekn%gi Maju. Batan
3r
;2
ABSTRAK
REKONSTRUKSI SUMBER ELEKTRON TERMIONIK DENGAN ELEKTRODE PIERCE UNTUK MBE 500 keV/IO mA. Telah dilakukan rekanstruksi sumber elektron termionik dengan elektrode pierce untuk MBE 500 keV/10 mA. Di dalam mesin berkas elektron (MBE), berkas elektron dihasilkan oleh sumber elektron yang selanjutnya setelah diekstraksi dari sumber elektron dipercepat di dalam sistem pemercepat. Untuk memenuhi kebutuhan sumber elektron beberapa waktu yang lalu telah dilakukan rancang bangun sumber elektron ripe termionik. Tetapi karena profit berkas elektron dari sumber elektron tersebut tidak sesuai dengan kebutuhan dari MBE maka dilakukan rekonstruksi sumber elektron dengan modifikasi yang meliputi modifikasi rumah (body), elektrode pemfokus dan bentuk jilamen. Karakterisasi sumber elektron hasil modifikasi menunjukkan bahwa arus berkas elektron untuk tegangan katode-anode 2 kVadalah 15 mA pada arus jilamen 12,5 A. Bila tegangan katode-anode dinaikkan yaitu dari 2 kV sampai 6 kV pada arus jilamen tetap didapatkan arus berkas elektron sampai pada target mendekati konstan yaitu 15 mA. Pengujian sumber elektron menggunakan sistem pemercepat pada arus jilamen 12 A dan 12,5 A, variasi tegangan
katode-anode 3 sampai 5 kV dan tegangan pemercepat 0 sampai 8 kV untuk 2 elektrode pemercepat diperoleh hasil bahwa pada arus jilamen 12 A, arus berkas elektron mendekatikonstan yaitu 7,5 mA untuk variasi tegangan pemercepat. Sedangkan untuk arus jilamen 12,5 A, arus berkas elektron terjadi peningkatan dari 15 mA menjadi 16,5 mA untuk kenaikkan tegangan pemercepat dari 0 sampai 8 kV. Peningkatan arus berkas elektron disebabkan adanya pemfokusan akibat pengaruh tegangan pemercepat antara elektrode pertama tabung akselerator dan anode.
ABSTRACT
RECON5TRUCTION OF THE THERMIONIC ELECTRON GUN WITH PIERCE ELECTRODE FOR EBM 500 keV/IO mA. Reconstruction of the thermionic electron gun with pierce electrode has been done. In electron beam machine (EBM), electron beam produced in the electron gun is extracted by anode and then accelerated by accelerating tube. For fulfilling the need of electron gun. it has been designed and constructed a thermionic type electron gun. Because the electron beam profile produced by the electron gun was not satisfy the need of EBM, the reconstruction of the electron gun has been done by modification to the body, focusing electrode and filament shape of the electron gun. Characterization of the reconstructed electron gun shows that electron beam current for 2 kV anode-cathode voltage is 15 mA at the filament current 12.5 A. If the anode-cathode voltage raised from 2 kV to 6 kV at the filament current constant, the electron beam current is approximately constant at 15 mA. The test of electron gun using accelerating system at the filament current 12 A and 12.5 A. variation of anode-cathode voltage from 3 kV to 5 kVand the variation of accelerating voltage from 0 kV to 8 kV for 2 electrode accelerating show that at the filament current 12 A. the electron beam current approximately constant at 7.5 mA for variation of accelerating voltage. For the filament current of 12.5 A. the electron beam current increase from 15 mA to 16.5 mA for variation of accelerating voltage from 0 kV to 8 tv. The increase of electron beam current caused by the focusing effect of accelerating voltage between the first electrode of acclelerating tube and the anode.
PENDAHULUAN
D
alam rekayasa mesin berkas elektron di P3TM -Batan yang telah dimulai sejak Pelita VI telah dirancang bangun sumber elektron tipe termionik dengan elektrode Pierce sebagai salah satu bagian penting dari mesin berkas elektron. Sumber elektron tipe termionik dengan elektrode Pierce mempunyai elektrode pembentuk berkas yang terdiri dari : filamen, katode dan anode. Elektron dihasilkan oleh emisi termionik dari filamen yangdialiri arus listrik. Selanjutnya emisi elelEtron dari filamen dibentuk menjadi berkas elektron dengan menggunakan katode dan anode. Pada sumber elektron termionik dengan elektrode Pierce, katode berfungsi untuk menolak/mendorong dan mem-fokuskan elektron hasil emisi termionik sehingga membentuk berkas elektron. Selanjutnya berkas elektron ini diekstraksi keluar dari sumber elektron melalui celah/slit anode.ll)
Permasalahan yang dihadapi dalam pem-buatan sumber elektron adalah untuk mendapatkan Prosiding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelltlan Daaar IImu Pengetahuan dan Teknologi Nukllr
arab x dan dengan mengabaikan efek magnetik, Makar!]
d2 V i
~
= cfi-;, V1/2
(1)dengan i adalah rapat arus berkr..;; elektron, E konstanta dielektrik, 1] perbandingan muatan dengan massa elektron (elm) clan Vtegangan yang diberikan pada terminal katode-anode. Penyelesaian per-samaan (1) secara umum mengingatkan gambaran aliran elektron dalam daerah diantara permukaan bidang ekuipotensial yang tak terbatas. Untuk aliran
elektron yang lurus sejajar dengan sumbu x di-lakukan dengan mengandaikan bahwa daerah di luar aliran elektron merupakan daerah bebas muatan yang berbatasan dengan bidang sejajar terhadap daerah aliran elektron. Hal ini dengan kondisi batas y < 0 untuk daerah aliran elektron clan y > 0 untuk daerah bebas muatan (di sisi luar daerah aliran elek-trOD) yang dapat diilustrasikan pada Gambar 1.£1} basil profil berkas elektron yang sesuai meliputi :
lintasan clan diameter berkas elektron, energi clan sudut masuk berkas ke tabung pemercepat. Profil berkas elektron ini sangat dipengaruhi oleh bentuk
geometri katode, anode clan filamen serta medan listrik yang diberikan pada elektrode pembentuk berkas. Berdasarkan sumber elektron yang telah dicoba mempunyai arus berkas elektron > 40 mA, namun profil berkas yang dihasilkan belum memenuhi persyaratan untuk kebutuhan mesin berkas elektron yang dikonstruksi di P3TM. Hal ini disebabkan karena lintasan berkas elektron tidak sejajar dengan sumbu, diameter berkas clan sudut masuk ke tabung pemercepat tidak tepat. Dengan demikian jika berkas elektron ini dipercepat di dalam tabung pemercepat, maka berkas elektron akan menumbuk elektrode pemercepat clan meng-akibatkan elektrode pemercepat menjadi panas serta merusakkan tabung pemercepat.
Untuk menyelesaikan permasalahan ini maka dilakukan rekonstruksi sumber elektron dengan memodifikasi sumber elektron yang telah ada karena profil berkas elektron daTi sumber elektron tersebut tidak sesuai dengan kebutuhan dari mesin berkas elektron. Modifikasi sumber elektron ini
meliptiti moditikliSi rumah (body), elektrode pem-fokus clan bentuk filamen. Agar dalam modifikasi didapatkan basil yang optimal maka dilakukan disain ulang baik secara mekanik maupun simulasi lintasan berkas elektron. Disain mekanik meliputi disain susunan elektrode Pierce clan rumah (bodi) sumber elektron. Dari basil disain mekanik dilaku-kan simulasi lintasan berkas elektron yang dihasil-kan oleb sumber elektron untuk berbagai variasi medan listrik (tegangan listrik) antara katode-anode, kemudiana dilanjutkan rekonstruksi.
,-y .v = f (x) £.Y..=O , by,
I ~zv b2v 1.1 T2+T2=o , I I ..Y )(. )(. I ~ EDGE OF BEAM v=f(x) £..Y-=o tJy P!::!- = 0 o-y2Gambar 1. Kondisi pada bidang tapal batas di antara aliran elektron don daerah bebas muatan.
TATA KERJA
Pada kondisi ini berlaku hubungan Dalam sumber elektron tennionik tipe
elektrode Pierce, katode berfungsi untuk menolak/ mendorong dan memfokuskan elektron yang di-emisikan oleh filamen. Sedangkan berkas elektron adalah merupakan aliran muatan (elektron), yang apabila berbentuk berkas elektron lurus sejajar sumbu berkas maka elektron-elektron dalam berkas bergerak lurus sejajar satu dengan yang lain dan tegak lurus terhadap bidang ekuipotensial yang dibentuk oleh medan listrik antara katode anode. Untuk mendapatkan berkas elektron yang lurus sejajar sumbu, berdasarkan tipe elektrode Pierce maka diperlukan geometri katode dengan sudut 67,50 terhadap sumbu.(I) Dengan elektrode Pierce, jika diharapkan sepanjang aliran elektron mempunyai lintasan sejajar dengan sumbu berkas yaitu sumbu x dan kerapatan arus (I) seragam dalam
~=~=o
oy oz (2)
v = f(x)
di mana f(x) adalah penyelesaian yang cocok untuk persamaan (1) yang merupakan besarnya tegangan elektrode fungsi jarak. Dalam daerah bebas muatan y > 0, potensial yang cocok untuk persamaan Laplace's pada syarat batas adalah persamaan (2) daD untuk y = 0 adalah persamaan (3). Potensial V dapat diandaikan dari suatu bagian nyata (real) dari fungsi imajiner untuk analisis fungsi x + jy yang merupakan penyelesaian dari persamaan Laplace's.
Prosldlng Pertemuan dan Presentasl IImlah Penelltlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 Agustus 2001
Suprapto, dkk. ISSN 0216 -3128 95
Penyelesaian persarnaan Laplace's yang mana V =
.f{x) untuky = 0 adalah normal didapatkanSecara analogi untuk r diukur dari sumbu v = j(z) = A Z413 (9) v = Real f(x+jy)
V = t[f(x + jy) + f(x -jy)] (4)
Persamaan (9) dapat digunakan untuk menghitung besarnya potensial YI'Vg harus dipasang pada elektrode Pierce dengan sudut katode 67,50 agar didapatkan lintasan berkas elektron yang mendekati lurus sejajar sumbu berkas. Sebagai ilustrasi untuk koordinat silinder ditunjukan pada Gambar 3.(1) Selanjutnya, karena V dibatasi secara simetri
sekitar y = 0, ~ = 0 pada y = 0 maka interprestasi praktis adalah aliran elektron sejajar yang berkaitan dengan batas pada daerah bebas muatan, yang diandaikan dalam bentuk bidang. Untuk kasus ini gradien tegangan adalah not pada potensial not, daD dengan mengintegralkan persamaan (I) didapat-kanrl) 12
-
-=R~~~=
-~o 6 i? 0" .. ~. ~ 0'1 -10 -v = f(x) = A x4/3 (5);
8 ~ .,- _0 ~<7 ~~...~.
~ dengan 2/3 9; 4 C(21Jy/2 u (6) A=.
c..j':-o3Untuk mengilustrasikan bidang ekuipotensial yang berkaitan de{lgan persamaan (5) dan (6) ditunjukkan pada Gambar 2.11] Persamaan (5) daD (6) diturunkan berdasarkan koordinat 2 dimensi yaitu arab x daD y, untuk koordinat silinder (tampang lintang berkas elektron silinder) adalah
a
0 I 8 v 10
Z DISTANce FROII CATHOOE
;:;. CATHODE RADIUS
Gambar 3. Garis ekuipotensial di sisi luar tapal batas alira."?-elektron untuk koordinat silinder.
~=o
dr (7) v = j(z) (8)..
i ,..
..
'0 e -0 I,O.
~...
..
0.0'"
'-+f-Disain Mekanik dan Rekonstruksi Sumber Elektron dengan Elektrode Pierce ..
Disain mekanik sumber elektron meliputi disain susunan elektrode Pierce dan rumah (body) dari sumber elektron. Disain susunan elektrode Pierce sangat penting untuk mendapatkan susunan elektrode yang kaku (rigid) daD pemasangan calli daya baik calli daya filamen maupun calli daya anode. Yang dimaksud susunan elektrode yang kaku adalah apabila sumber elektron tersebut dioperasikan atau diinstal dalam mesin berkas elektron tidak terjadi perubahan bentuk baik pada elektrode maupun filamen akibat pengaruh panas dari filamen. Disain mekanis sumber elektron ini ditunjukkan pada Gambar 4 yang selanjutnya dilakukan pembuatan daD rekonstruksi sesuai basil disain. Apabila susunan elektrode tidak kaku daD terjadi perubahan bentuk atau posisi akan me-nyebabkan lintasan berkas elektron yang dihasilkan Prosldlng Pertemuan dan Presentasl IImlah Penelltlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nukllr
P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 Agustus 2001
I I I
-.., ~v§~
""" ~I ......
I ,.. o. 0.0 ~Gambar 2. Garis ekuipotensial di sisi luar tapal batas aliran elektron untuk arah x dan
tidak sejajar dengan sumbu daD pemfokusannya tidak tepat sebagai masukan tabung akselerator. Untuk mencegah terjadinya loncatan listrik
(discharge) maka bentuk katode daD anode dihindarkan daTi bentuk dengan ujung/tepi yang runcing daD harus dibuat dalam bentuk bulat. Hal ini disebabkan karena ujung-ujung yang runc!ng
mengakibatkan timbulnya medan listrik yang besar dan apabila isolasi di antara katode-anode tidak tahan terhadap medan listrik tersebut akan terjadi loncatan listrik (discharge). Spesifikasi teknis sumber elektron setelah didisain secara mekanik ditunjukkan pada Tabell.
Tabell. Spesifikasi teknis sumber elektron hasil modifikasi rumah, elektrode danfilamen.
4. Anode 5. Katode 6. Filamen 7. Pemegang filamen Keterangan I. Rumah
2. Teminal catu daya 3. Cincin anode
Gambar 4. Disain mekanik konstruksi sumber elektron.
Prosldlng Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitlan Dasar IImu P,engetahuan dan Teknologl Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 AgustU!i 2001
Suprapto, dkk. ISSN 0216 -3128 97
pacta target secara keseIuruhan. Setelah tegangan anode-katode dinaikkan menjadi 2 kV, arus berkas elektron menjadi 15 mA. Pacta tegangan anode-katode ini, ekstraksi berkas elektron oleh anode mencapai optimum sehingga elektron yang diemisikan oleh filamen dapat diekstraksi secara
optimum oleh anode. Jika tegangan anode-katode dinaikkan terns sampai 6 kV didapatkan arus berkas elektron yang hampir konstan yaitu 15 niA.
Pengujian Sumber Elektron Hasil Rekon-struksi
Pengujian sumber elektron dilakukan dengan menginstal sumber elektron dan tabung akselerator dimana berkas elektron dari sumber elektron langsung dipercepat di dalam tabung akselerator . lnstalasi pengujian sumber elektron ditunjukkan pada Gambar 5. Dalam pengujian ini arus berkas elektron diukur dengan menggunakan DC miliamper untuk beberapa variasi tegangan
anode-katode dan tegangan pemercepat. 16
14 12 10 8 6 4. 2 0 <: ,§. ~ ~ 2-2 < ~' V r
-r
I
ii
-I Arus lllamen ll? A.,
I-Arus berkas elektron
-1 2 3 4
Tegangan Anode (kY)
Sumber Elektron
---'-'11 -,. 'VaJa--.
,
--.d"
--.
--ll
-Akselerator
-Gambar 6. Kurva arus berkas e/ektron vs te-gangan anode.
-.~. -Sistem ~ Hampa -~-.
---~
I...
Gambar 5. lnstalasi pengujian sumber elektron.
HASIL DAN PEMBAHASAN
Pengujian sumber elektron dimulai dengan mengamati arus berkas elektron untuk variasi tegangan anode-katode, kemudian dilanjutkan dengan mengamati arus berkas elektron lmtuk
variasi tegangan pemercepat pada tegangan anode-katode tertentu. Hasil pengamatan arus berkas elektron untuk variasi tegangan anode-katode ditunjukkan pada Gambar 6. Oari kurva tersebut menunjukkan bahwa pada arus filamen 12,5 A dan tegangan anode-katode 0 kV belum menunjukkan adanya arus berkas elektron karena belum adanya ekstraksi berkas elektron oleh anode. Kemudian tegangan anode-katode dinaikkan menjadi 1 kV sehingga didapatkan arus berkas elektron sebesar 13 mA. Pada tegangan anode-katode ini, ekstraksi berkas elektron oleh anode dan pemfokusannya
belum optimum sehingga elektron yang diemisikan oleh filamen belum diekstraksi dan difokuskan secara optimum oleh anode sehingga tidak sampai
Untuk pengamatan ares berkas elektron pada tegangan anode-katode tetap dan tegang~ pemer-cepat divariasi ditunjukkan pada Gambar 7 dan 8. Pada Gambar 7 ditunjukkan basil pengamatan untuk ares filamen 12 Ampere, tegangan anode-katode 3 kV, 4 kV dan 5 kV dengan variasi tegangan pe-mercepat. Hasil pengamatan tersebut m"enunjukkan bahwa pada ares filamen 12 A didapatkan ares berkas elektron sebesar 7,5 mA. Jika tegangan pemercepat dinaikkan, ares berkas elektron yang sampai pacta target mendekati konstan. Hal ini disebabkan karena pemfokusan oleh katode-anode sudah mencapai kondisi optimum untuk ares berkas elektron sebesar 7,5 mA. Walaupun tegangan pemercepat ditambah sehingga menambah tegangan yang diberikan antara anode dan elektrode pertama dari tabung akselerator, efek pemfokusannya tidak berdampak pacta penambahan ares berkas elektron.
Untuk pengamatan ares berkas elektron pacta ares filamen 12,5 A, tegangan anode-katode 3 kV, 4 kV dan 5 kV dengan vwsi tegangan pemercepat didapatkan ares berkas elektron sebesar IS mA (Gambar 8). Hal ini menunjukkan bahwa dengan
sedikit perubahan ares filamen berdampak besar pacta ares berkas elektron yang dihasilkan, karena kenaikan ares filamen akan menaikkan suhu filamen sehingga meningkatkan emisi elektron dari filamen. Pengujian ini hanya dilakukan untuk ares berkas elektron maksimum sekitar 15 mA, karena kebutuhan ares berkas elektron untuk MBE hanya sekitar 10 mA.
Proslding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelltlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 AgUiitus 2001
12 10
8
~g
2
<
6 4 2 0 0 1 2 3 4 5Tegangan
Pemercepat
(kV)
6 78
a. Arus filamen 12 A, tegangan anode-katode 3 kV
14 12 10
8
6 4 2 0-g
~
1-- Arus Elektron -Arus Anode I
, , , , , , ,
0 1 2 3 4 5 6 7 8
Tegangan
Pemercepat
(kV)
b. Arus filamen 12 A, tegangan anode-katode 4 kV
14 12 10
8
6
4
2 0""""-g
f/)~
Tegangan Pemercepat (kV)-0c. Arus filamen 12 A, tegangan anode-katode 5 kV
Gambar 7. Kurva arus berkas e/ektron \IS. tegangan pemercepat.
Prosldlng Pertemuan dan Presentasl IImlah Penelltlan Dasar IImu F'engetahuan dan Teknologl Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta. 7 -8 Agustus 2001
--~ Arus Elektron --Arus Anode I
, , , , , , ,
Suprapto, dkk. ISSN 0216 -3128 99
~
'-'
2
<
a. Arus filamen 12,5 A, tegangan anode-katode 3 kV
35
30
25
20 15 10 5 0~
'-'
~
78
0 1 2 3 4 5 6 Tegangan Pemercepat (kV)b. Arus filamen 12,5 A, tegangan anode-katode 4 kV
35
30
25
20 15 105
0 ~1
~~
01-23456 Tegangan Pemercepat (kV)-c. Arus filarnen 12,5 A, tegangan anode-katode 5 kV
7
8
Gambar 10. Kurva arus berkas e/ektron vs. tegangan pemercepat.
Proslding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelltlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nuklir P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 Agustus 2001
100
Jika tegangan pemercepat dinaikkan, arus berkas elektron yang sampai pada target mengalami sedikit kenaikkan. Hal ini disebabkan karena efek pemfokusan oleh anode-elektrode pertama tabung akselerator menambah pemfokusan yang disebab-kan oleh katode-anode. Sehingga mengurangi penyebaran berkas elektron daD meningkatkan arus berkas elektron yang sampai pada target. Disamping itu, kenaikan tegangan pemercepat juga dapat mengurangi arus anode. Hal ini disebabkan aliran berkas elektron dari filamen ke anode berkurang dan dialihkan ke target yang disebabkan oleh penambahan pemfokusan antara anode-katode daD antara anode-elektrode pertama tabung akselerator. Dengan demikian, kenaikan tegangan pemercepat dapat meningkatkan pemfokusan pada sisi masuk tabung akselerator daD antara anode-katode sehingga berkas elektron yang menumbuk anode berkurang serre meningkatkan energi berkas elektron yang sampai pada target.
DAFTAR PUSTAKA
I. PIERCE, J.R., Theory and Design ofElektron Beams, D. Van Nostrand Company. Inc, New York (1954).
2. DJOKO S.P. dkk., Modifikasi Elektrode Pembentuk Berkas Sumber Elektron Tipe Termionik untuk Peningkatan Arus Elektron, Prosiding Pertemuan daD Presentasi IImiah, Penelitian Dasar IImu Pengetahuan daD
Teknologi Nuklir, P3TM -Batao (1998). 3. FORRESTER, et AI., Large Ion Beams,
Fundamentals of Generation and Propagation, John Wiley & Son, New York (1986).
4. SCHILLER, S., et al., Electron Beam Techno-logy, John Wiley & Sons, New York.(1992). 5. SUPRAPTO dkk., Simulasi Lintasan Berkas
Elektron pada Sumber Elektron Tipe Termionik dengan Elektrode Pierce, Prosiding Teknologi Akselerator daD Aplikasinya, P3TM-Batao, Yogyakarta, (2000).
KESIMPULAN
Dari basil rekonstruksi yang kemudian dilanjutkan karakterisasi menunjukkan bahwa arus berkas elektron untuk tegangan katode-anode 2 kV adalah 15 mA. Bila tegangan katode-anode dinaik-kan yaitu dari 2 kV sampai 6 kV pada arus filamen tetap didapatkan arus berkas sampai pada target mendekati konstan yaitu 15 mA. Sedangkan pengujian terintegrasi yaitu penggabungan antara sumber elektron dengan sistem pemercepat didapatkan basil yang cukup baik. Untuk pengujian pada arus filamen 12 A, variasi tegangan katode-anode 3 sampai 5 kV daD tegangan pemercepat 0
sampai 8 kV untuk 2 elektrode pemercepat didapatkan bahwa arus berkas elektron mendekati konstan yaitu 7,5 mA untuk variasi tegangan pemercepat dari 0 sampai 8 kV. Sedangkan untuk pengujian pada arus filamen 12,5 A, variasi tegangan katode-anode 3 sampai 5 kV daD tegangan pemercepat 0 sampai 8 kV untuk 2 elektrode pemercepat didapatkan peningkatan arus berkas dari IS mA menjadi 16,5 mA. Peningkatan arus berkas ini disebabkan adanya pemfokusan akibat pengaruh tegangan pemercepat antara elektrode pertama tabung akselerator daD anode.
TANYAJAWAB
Lely S.
-Mengapa geometri katode harus mempunyai sudut 67,50 terhadap x ?
-Bagaimana kalau kurang atau lebih dari 67.50 ?
Suprapto
-Sudut katode 67,50 didapatkan dari penurunan persamaan untuk koordinat kartersian berdasarkan elektrode Pierce, agar 'aidapatkan berkas electron mf!ndekati lurus sejajar sumbu berkas. Untuk koordinat dari silinder dilakukan dengan analogi don pendekatan dari koordinat kartersian.
-Jika sudut katode kurang dari 67,50 akan didapatkan pemfokusan lebih kuat, sedangkan sudut katode lebih besar dari 67,50 didapatkan berkas elektron yang menyebar karena pemfokus-an lebih kecil dari pada efek muatpemfokus-an rupemfokus-ang ypemfokus-ang
terjadi.
UCAP AN TERIMA, KASIH
Pada kesempatan ini penulis mengucapkan terima kasih kepada Sumaryadi, Heri Sudarrnanto, Untung Margono, Set yo Atmodjo clan Suhirjo yang telah membantu dalam penelitian sehingga dapat terselesainya penelitian clan pembuatan laporan ini.
Tjipto
-Apa yang menjadi dasar pemi/ihan jenis e/ektrode J 3 -20 mm.
Prosldlng Pertemuan dan Presentasilimiah Penelltlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologi Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta. 7 -8 Agustus :1001
Suprapto, dkk. ISSN 0216 -3128 101
-Dasar pemilihan katode daTi bahan SS kenapa. -Dasar pemilihan katode dari bahan SS adalah sifat tahan korosinya don mempunyai koefisien emisi thermal yang cukup tinggi dibanding bahan lain, misalnya besi don tembaga serlo out gassing yang kecil.
Suprapto
-Dasar pemi/ihan jarak e/ektroda /3 -20 mm ada/ah persamaan 9 sesuai dengan tegangan ekstraksi yaitu tegangan anode -katode yang akan diberikan.
Prosidlng Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitian Dasar IImu IPengetahuan dan Teknologl Nukllr P3TM-BATAN Yogyakarta, 7 -8 AgUStllS 2001 .
