25416900 Mikroskop Pemindai Elektron Sem

BAB I

BAB I

PENDAHULUAN

PENDAHULUAN

A

A.. LLaattaar Br Beellaakkanang g MMaasasallaahh Perkem

Perkembangabangan n ilmu pengetahilmu pengetahuan dan uan dan teknoteknologi sangat logi sangat pesat. Hal pesat. Hal ini dapat ini dapat dilihdilihatat dari

dari banybanyaknya alat aknya alat teknoteknologi yang logi yang diipdiiptakan untuk takan untuk mempemempermudarmudah h pekerpeker!aan !aan manusmanusia.ia. Dalam pengkarakteristikan bahan ditemukannya alat seperti mikroskop" #$D" %EM" dan lain Dalam pengkarakteristikan bahan ditemukannya alat seperti mikroskop" #$D" %EM" dan lain seb

sebagaagainyinya. a. %al%alah ah satu satu alat alat yanyang g akaakan n dibdibahaahas s daldalam am makmakalaalah h ini ini adaadalah lah %EM &%ann%EM &%anninging Eletrone Miroopy'

Eletrone Miroopy' yakni Mikroyakni Mikroskop Pemindai skop Pemindai Elektron.Elektron.

Mikroskop Pemindai Elektron Merupakan Mikroskop yang menggunakan hamburan Mikroskop Pemindai Elektron Merupakan Mikroskop yang menggunakan hamburan el

elekektrtron on dadalalam m memembmbenentutuk k babayayangngan an ElElekektrotron n beberinrinteterakraksi si dedengngan an atoatom(am(atotom m yayangng membentuk sampel m

membentuk sampel menghasilkan sinyal yang enghasilkan sinyal yang berisi in)ormasi tentang berisi in)ormasi tentang topogra)i permukaantopogra)i permukaan sampel" komposisi dan si)at(si)at lain seperti kondukti*itas listrik. %ehinga sangat ook sampel" komposisi dan si)at(si)at lain seperti kondukti*itas listrik. %ehinga sangat ook untuk mengkarakteristikan suatu bahan.

untuk mengkarakteristikan suatu bahan.

Mikroskop Pemindai Elektron memiliki beberapa komponen yang lebih kompleks Mikroskop Pemindai Elektron memiliki beberapa komponen yang lebih kompleks  !ika dibandingkan

 !ika dibandingkan dengan mikroskop dengan mikroskop pada pada umumnya dimana umumnya dimana memiliki tamemiliki tata ta ara ara penggunaanpenggunaan yang berbeda serta perlakuan sampel yang agak berbeda pula sebelum dilakukan pemindaian yang berbeda serta perlakuan sampel yang agak berbeda pula sebelum dilakukan pemindaian menggunakan mikroskop ini.

menggunakan mikroskop ini. B

B.. ++uu!!uuaann

Adapun tu!uan dari penulisan makalah ini yaitu untuk mengetahui dan memahami Adapun tu!uan dari penulisan makalah ini yaitu untuk mengetahui dan memahami sala

salah h satsatu u penpengkagkarakrakteriteristikstikan an bahbahan" an" daldalam am kaskasus us ini ini menmengguggunaknakan an %a%anninning ng EleElektrktronon Mirosopy &%EM'" meliputi ,omponen komponen" tata ara penggunaannya dan perlakuan Mirosopy &%EM'" meliputi ,omponen komponen" tata ara penggunaannya dan perlakuan untuk menggunakan mikroskop ini.

untuk menggunakan mikroskop ini.

--.. MMeettoodde e PPeennuulliissaann

Penulis mempergunakan metode obser*asi dan kepustakaan. -ara(ara yang Penulis mempergunakan metode obser*asi dan kepustakaan. -ara(ara yang digunakan pada penelitian ini adalah 

digunakan pada penelitian ini adalah  %tudi Pustaka

%tudi Pustaka

Dalam metode ini penulis membaa buku(buku yang berkaitan denga penulisan makalah ini Dalam metode ini penulis membaa buku(buku yang berkaitan denga penulisan makalah ini yang diperoleh dari internet dan sumber literature lainya.

BAB II

PEMBAHA%AN

Mikroskop Pemindai Elektron

Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah !enis mikroskop elektron yang gambar  permukaan sampel dipindai dengan menggunakan sinar elektron berenergi tinggi dalam pola  pemindai pi/el. Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah mirosope yang menggunakan hamburan elektron dalam membentuk bayangan Elektron berinteraksi dengan atom(atom yang membentuk sampel menghasilkan sinyal yang berisi in)ormasi tentang topogra)i  permukaan sampel" komposisi dan si)at(si)at lain seperti kondukti*itas listrik.

Alat ini memiliki banyak keuntungannya !ika dibandingkan dengan menggunakan mikroskop ahaya. %EM menghasilkan bayangan dengan resolusi yang tinggi" yang maksudnya adalah pada !arak yang sangat dekat tetap dapat menghasilkan perbesaran yang maksimal tanpa memeahkan gambar. Persiapan sampel relati) mudah. ,ombinasi dari  perbesaran kedalaman !arak )ous" resolusi yang bagus" dan persiapan yang mudah" membuat %EM merupakan satu dari alat(alat yang sangat penting untuk digunakan dalam penelitian saat ini.

Beberapa persoalan yang dibahas dalam memahami tata ara penggunaan Mikroskop Pemindai Elektron &%EM' adalah sebagai berikut0

A. %umber Elektron

Elektron disemburkan dari sebuah )ilamen" yang dibuat dari bermaam(maam material" salah satunya adalah +ungsten hair pin gun. 1ilamen ini adalah sebuah loop tungsten yang ber)ungsi sebagai katoda. %ebuah tegangan di berikan kepada loop" yang menyebabkan loop men!adi panas.

%ebuah anode" yang bermuatan lebih positi) daripada )ilament" dipasang sedemikian rupa" sehingga keadaan demikian membuat elektron memiliki gaya yang sangat kuat. Hal ini akan mengakibatkan elektron diperepat menu!u anoda. %ebagian elektron yang diperepat menerobos lubang pada anoda sebagai panaran elektron &eletron beam'. Beberapa ontoh )ilamen antara lain  Lanthanum He/aboride )ilaments and )ield emission guns.

Gambar 3 : Sumber elektron dibangkitkan dengan sumber tegangan tinggi 

B. Daya Dalam Lensa %ilinder Magnetik 

C. 2alan Berkas -ahaya 3ang Mele4ati ,olom

%uatu berkas elektron dihasilkan dalam senapan elektron" yang terletak di bagian atas kolom" yang digambarkan disebelah kiri. Berkas ini tertarik melalui anoda" dikodensasikan dengan lensa kondensor" dan ter)okus sebagai titik yang sangat tepat pada sampel oleh lensa ob!ekti). ,umparan pemindai diberi energi &dengan mem*ariasikan tegangan yang dihasilkan oleh generator pemindai' dan meniptakan medan magnet yang membelokkan berkas bolak(balik dalam pola terkontrol. +egangan yang berbeda(beda !uga diterapkan pada kumparan di sekeliling leher tabung sinar katoda &-$+' yang menghasilkan ahaya yang dibelokkan dengan pola bolak(balik di permukaan -$+. Pola de)leksi dari  berkas elektron adalah sama dengan pola de)leksi dari titik terang di -$+.

 Berkas elektron yang mengenai sampel, menghasilkan elektron sekunder !lektron ini dikumpulkan oleh detektor sekunder atau baksatter detektor, dikon#ersi ke tegangan, dan diperkuat $egangan yang diperkuat diterapkan pada grid dari C%$ dan menyebabkan intensitas ahaya berubah ubah Gambar yang terbentuk terdiri dari ribuan titik&titik dengan berbagai intensitas pada permukaan C%$ yang sesuai dengan topogra'i sampel

D. Diagram -ahaya %EM

%kema ini menun!ukkan lintasan ahaya untuk kondisi pem)okusan oleh dua probe( )orming lens

2. 2arak ker!a besar &kanan'.

,edua kondisi memiliki lensa(lensa kondensor dan tingkatan numerik yang sama. 2ika" sampel dipindah lebih !auh dari lensa" hal yang akan ter!adi adalah

5. 2arak ker!a % di tambah 6. Perbesaran berkurang 7. Ukuran titik bertambah

8. %udut hamburan alpha berkurang

Gambar ( : )enahayaan mikroskop eletron

Pengurangan perbesaran didapati ketika pergerakan lensa dikurangi" yang gilirannya menambah !arak lensa ) dari lensa. $esolusi spesimen dikurangi dengan menambahkan !arak ker!a" sebab ukuran titik diperbesar. %ebaliknya" kedalaman medan ditingkatkan dengan menambah !arak ker!a" sebab penyebaran sudut diperkeil" lihat gambar 8.

*alaupun semua sinyal ini terdapat pada S!M, tidak semua dari mereka yang terdeteksi dan digunakan untuk mendapatkan in'ormasi Sinyal yang paling umum digunakan adalah !lektron Sekunder, yakni  Baksattered !lektron dan +&ray

1. Menggunakan $uang Hampa

,etika %EM digunakan" kolom harus selalu berada di ruang hampa. Ada banyak alasan untuk ini. 2ika sampel berada dalam lingkungan yang penuh gas" sebuah berkas elektron tidak dapat dihasilkan atau dipertahankan karena ketidakstabilan yang tinggi dalam  berkas. 9as dapat bereaksi dengan sumber elektron" menyebabkannya terbakar" atau menyebabkan elektron dalam berkas terionisasi" yang menghasilkan kotoran seara aak dan menyebabkan ketidakstabilan dalam berkas. Pengiriman berkas melalui kolom optik elektron  !uga akan terhambat oleh kehadiran molekul lainnya. Molekul lain yang bisa datang dari sampel atau mikroskop itu sendiri" bisa membentuk senya4a dan mengembun pada sampel. Ini akan menurunkan kontras dan mengaburkan detail dalam gambar.

%ebuah lingkungan *akum !uga diperlukan dalam bagian dari persiapan sampel. %alah satu ontoh adalah oater menggerutu. 2ika tidak di ruang *akum sebelum sampel dilapisi" molekul gas akan mendapat !alan argon dan emas. Hal ini bisa mengakibatkan lapisan yang tidak rata" atau tidak ada lapisan sama sekali.

9. ,onstruksi %EM

Bagan terpenting dari %EM adalah apa yang disebut sebagai kolom elektron &eletron olumn' yang memiliki piranti(piranti sebagai berikut

1. Pembangkit elektron &eletron gun' dengan )ilamen sebagai pengemisi elektron atau disebut !uga sumber iluminasi.

2. %ebuah sistem lensa elektromagnet yang dapat dimuati untuk dapat mem)okuskan atau mereduksi berkas elektron yang dihasilkan )ilamen ke diameter yang sangat keil.

3. %ebuah sistim. perambah &san' untuk menggerakan berkas elektron ter)okus tadi  pada permukaan sampel.

4. %atu atau lebih system deteksi untuk mengumpulkan hasil interaksi antara berkas elektron dengan sampel dan merubahnya ke signal listrik.

5. %ebuah konektor ke pompa *akum.

Gambar - : .iagram antara ruang hampa dan sistem pendeteksian : / %uang sampel0 -  )emegang sampel0 3 Bagian pendeteksi ruang #aum0 ( Lensa 1byekti'0  )ompa pemutar0 2  photo&multiplier blok0  )engukur tekanan #aum0 4 5lep penutup0 6 5lep pintu

%ebagai tambahan" %EM memiliki beberapa piranti untuk memungkinkan kon*ersi signal listrik yang datang dari detetor ke bentuk bayangan pada layar +:" )oto" spektrum" dll. Pada gambar 8 dapat kita lihat bah4a elektron dari )ilamen di)okuskan dengan lensa ,ondensor sehingga bila berkas elektron ini menumbuk sampel berkas elektron tadi memiliki diameter sekitar 6(6; nanometer. Berkas elektron ini dibuat bergerak merambah seluruh  permukaan sampel dengan rambahan <ig<ag oleh koil de)leksi yang di dalamnya terdapat lensa(lensa obyekti). Ukuran dari lokasi yang dirambah dapat diubah dengan ara mengatur  perbesaran &magni)ikasi' yang merupakan perbandingan antara ukuran lokasi yang dirambah

yang terlihat di monitor terhadap lokasi pada sampel. Akibatnya" semakin keil lokasi yang dirambah pada sampel semakin besar perbesaran gambar pada monitor. +erakhir" gambar =  !uga menun!ukkan skema detektor seara keseluruhan berdasarkan blok(blok )ungsi.

H. Elektron %ekunder 

Elektron primer" yaitu elektron pengeksitasi &e/iting eletron' dapat berinteraksi dengan elektron lain dalam sampel" misalnya menolaknya dengan se!umlah energi kinetik. 2ika elektron yang tertolak ini berasal dari ikatan yang lemah dan dapat ditolak atau dikeluarkan dengan hanya beberapa e: disebut sebagai elektron sekunder. &%ingkatnya" sebuah elektron yang ditolak atau dikeluarkan dari sebuah atom dalam sampel adalah elektron sekunder" berapapun energinya'. ,arena elektron sekunder ini memiliki energi keil" mereka dapat terlepas dari sampel dan hanya dapat dideteksi bila mereka diproduksi di  permukaan. Untuk alasan yang sama" makanya elektron sekunder ini sensiti*e terhadap

topogra)i sampel.

>leh karena elektron sekunder memiliki kerapatan yang tinggi sebelum mereka memperoleh kesempatan untuk menyebar" maka elektron sekunder ini memiliki resolusi ruang &spatial' yang tinggi dibandingkan dengan signal yang lain yang mungkin timbul akibat interaksi berkas elektron ini dengan sampel. Elektron sekunder memba4a hanya sedikit in)ormasi tentang komposisi unsur dari sampel0 namun bagaimanapun" sensiti*itas topogra)i dan resolusi ruang yang tinggi mereka menyebabkan elektron sekunder ini dipakai untuk memperoleh bayangan mikroskopik.

Gambar  : Gra'ik energi elektron sekunder yang terpantul 

,arena alasan sensiti*itas topogra)i inilah maka bayangan yang dihasilkan dari elektron sekunder sangat mudah diinterpretasikan seara *isual karena gambar yang dihasilkan sama dengan lokasinya. Bayangan dari perbesaran =;.;;; kali yang dihasilkan dengan elektron sekunder sebanding dengan partikel emas pada gra)it pada pusat gambar yang pada gambar ? dan gambar @.

I. Elektron +erpantul

2ika elektron primer &elektron dari berkas yang datang' berinteraksi dengan inti atom atau satu elektron dari atom sampel" elektron primer ini dapat dipantulkan ke suatu arah dengan mengalami sedikit kehilangan energi. %ebagian dari beberapa elektron terpantul ini dapat sa!a mengarah keluar sampel sehingga" setelah beberapa kali pantulan" sehingga mereka dapat dideteksi. Elektron terpantul ini lebih energik dibandingkan dengan elektron sekunder sehingga dapat sa!a masih dapat dipantulkan meskipun sudah terpendam dalam di dalam sampel. ,arena itu bila dibandingkan dengan elektron sekunder" signal elektron terpantul tidak dapat memberikan in)ormasi tentang topogra)i sampel dan !uga resolusi ruang  pada sampel. Namun bagaimanapun terdapat keuntungan sebagai kompensasi antara satu sama yang lain. 2ika nomor atom dalam sampel semakin besar maka besar gaya pantulan inti  positi)nya lebih besar sehingga elektron terpantul ini dapat memberikan !uga in)ormasi

Gambar 4 : 7a8 Hasil elektron sekunder0 7b8 Hasil elktron terpantul 

9ambar  adalah )oto area yang sama dari alloy Ag(-u(Ni. Pada hasil elektron terpantul" bagian yang terang adalah Ag dan bagian yang gelap adalah -u(Ni. ,ita dapat membuktikannya dengan prinsip bah4a semakin tingginya nomor atom dari suatu lokasi semakin tinggi intensitas signalnya.

 J. ED# &Energy(dispersi*e #(ray %petrosopy'

Bila elektron dengan energi yang ukup besar menumbuk pada sampel" mereka menyebabkan ter!adinya emisi sinar(/ yang energinya dan intensitasnya bergantung pada komposisi elemental sampel. Dengan menggunakan )enomena ini untuk menganalisa komposisi elemental dari *olume(mikro &kasarnya satu sampai beberapa ratus kubik mikrometer' itulah yang disebut sebagai analisis mikro. Pada ED# di mana sinar(/ yang diemisikan dikon*ersi dan disimpan seara elektronik dan bukan dengan di)raksi kristal.

1. ,arakteristik %inar(#

Bila sebuah elektron ditolak dari kulit dalam atom oleh interaksi dengan berkas elektron energi tinggi" hasilnya adalah ion tersebut berada pada tingkat eksitasi. %etelah melalui proses relaksasi atau de(eksitasi" ion tereksitasi ini memanarkan energi untuk dapat kembali ke tingkat normal yaitu keadaan dasar &ground state'. Proses yang paling mungkin

dalam kebanyakan kasus adalah deretan trans)ormasi yang masing(masing sebuah elektron dari kulit luar !atuh ke tempat kosong di dalam kulit terdalam. %eperti yang telah kita lihat" setiap ke!atuhan menyebabkan elektron tersebut kehilangan se!umlah energi" katakan sa!a  beda energi antara kulit di mana elektron berasal dan kulit ke mana elektron !atuh. Energi ini dibebaskan dalam bentuk radiasi elektromagnetik dalam kasus transisi energi tinggi yang melibatkan kulit terdalam. Energi yang diradiasikan ini seara unik mengindikasikan atom dari mana radiasi berasal" makanya disebut sebagai sinar(/ karakteristik.

6. Nomenlature

9aris(garis ini biasanya dinamakan sesuai dengan kulit atom ke mana elektron !atuh dan kulit dari mana elektron berasal. Misalnya" !ika kulit yang kosong &tu!uan' adalah kulit , dan kulit dari mana elektron berasal adalah kulit L" maka sinar(/ ,C diradiasikan. 2ika elektron !atuh dari kulit M yang berada dua tingkat di atas kulit ," maka sinar(/ yang diradiasikan dinamakan sinar(/ ,. Dalam ED# ini umumnya berhubungan dengan sinar(/ deret ," L" dan M.

Gambar 6 : 5ulit atom dan tingkat&tingkat transisi 

3. Intensitas %inar(/ ,arakteristik 

Intensitas sinar(/ karakteristik yang terdeteksi tergantung pada 7 )aktor. Pertama" nomor atom dari atom teradiasi dan !uga atom lingkungannya. ,edua" probabilitas terabsorpsinya sinar(/ sebelum terlepas keluar dari sampel. ,etiga" )luoresen sekunder yang  !uga merupakan salah satu akibat terabsorpsinya sinar(/ tersebut. %ebagai ontoh" suatu sinar( / karakteristik energi tinggi dari unsure A mungkin diabsorpsi oleh atom unsur B" karenanya merangsang sebuah emisi karakteristik dari unsur kedua dari energi yang lebih rendah. +erdapatnya unsur A dan B dalam sampel yang sama akan menaikkan intensitas dari emisi

karakteristik dari unsur B dan mengurangi emisi karakteristik dari unsur A. Inilah yang disebut sebagai e)ek matriks &matri/ e))et'" yaitu sebuah e)ek yang tergantung pada matriks sampel" yang karenanya membutuhkan perlakuan khusus selama analisa kuantitati).

Gambar /9 : !lement mikro&#olume yang berinteraksi dengan berkas eletron

4. $esolusi $uang %inar(#

%inar(/ ber!alan di dalam sampel dengan !arak yang !auh lebih !auh dibandingkan dengan elektron dan karenanya terlepas dari kedalaman di mana elektron primer telah tersebar seara luas. ,onsekuensinya" signal sinar(/ memiliki keterbatasan resolusi ruang dibandingkan dengan signal elektron sekunder dan terpantul. +egangan pemerepat elektron dari kolom elektron dan nomor atom rata(rata  dari *olume sampel yang dianalisa mempengaruhi resolusi ruang dari signal sinar(/. 9ambar 5; memperlihatkan seara kualitati) e)ek dari keduanya yaitu ukuran dan bentuk dari *olume interaksi.

=. Analisis

%eperti kita lihat pada 9ambar 55" sebuah spektrum energi dispersi biasanya dilukiskan sebagai histogram" dengan sumbu hori<ontal menyatakan satuan energi dan sumbu *ertial adalah !umlah ounts atau intensitas. 9ambar  ini menun!ukan sebuah spektrum sinar(/" yang seara !elas menun!ukan beberapa si)at khusus. 3ang paling !elas adalah sinar(/ karakteristik dari besi" kromium" dan nikel. Untuk setiap dari element ini terlihat kedua peak ,(alpha dan ,(beta peak. ,etidakrataan dari spetrum

ini menun!ukkan )luktuasi statistik dari hannel(ke(hannel. Akhirnya" semua spektrum ini bertumpang tindih dengan spektrum yang berkurang seara perlahan dari kiri ke kanan.

Gambar // : Spektrum sinar& dari beberapa unsur sebagai hasil !.+

Analisis kualitati) adalah proses indenti)ikasi unsur(unsur yang ada dalam sampel. Analisis kuantitati) bertu!uan untuk men!a4ab berapa banyak unsur #" 3 dan  yang ada dalam sampel. Fualitati*e analysis is the proess o) identi)ying 4hih elements are present in a sampel. Dalam rumusan yang sederhana" analisis kualitati) dilakukan dengan ara menentukan energi dari peak yang ada dalam spektrum dan membandingkan dengan table energi emisi sinar(/ dari unsur(unsur yang sudah diketahui. Dalam peralatan modern hal ini tidak perlu dilakukan karena komputer seara otomatis akan memberikan simbol unsur untuk setiap peak pada spektrum.

Gambar /- : .epth pro'ile beberapa unsur untuk ketebalan tertentu suatu sampel 

Analisa kuantitati) tidak hanya men!a4ab unsur apa yang ada dalam sampel tetapi  !uga konsentrasi unsur tersebut. Untuk melakukan analisa kuantitati) maka perlu dilakukan

 beberapa proses seperti meniadakan bakground" dekon*olusi peak yang bertumpang tindih dan menghitung konsentrasi unsur.

,elebihan dari %EM adalah bah4a tidak diperlukan penyiapan sampel seara khusus. +ebal sampel tidak masalah bagi %EM seperti halnya pada +EM. Makanya sampel tebal dapat !uga dianalisa dengan %EM asalkan dapat ditaruh di atas tatakan sampelnya. Hampir semua bahan non(konduktor yang dianalisa dengan %EM perlu dilapisi dengan lapisan tipis pada permukaannya dengan bahan konduktor. Lapisan ini penting untuk meniadakan atau mereduksi muatan listrik yang tertumpuk seara epat dibahan non( konduktor pada saat disinari dengan berkas elektron energi tinggi. Bahan pelapisan yang  biasa dipakai adalah emas atau karbon. Bila lapisan ini tidak ada maka pada sampel non( konduktor akan menghasilkan distorsi" kerusakan thermal dan radiasi yang dapat merusak material sampel. Pada situasi yang ekstrim" sampel dapat memperoleh muatan yang ukup untuk mela4an berkas elektron yang !atuh padanya sehingga sampel ini bertindak sebagai ermin.

Gambar /3 : )elapisan permukaan sampel non&konduktor dengan emas

,. Preparasi %ampel

5. +eknik Pelapisan dengan Emas

2ika tu!uan analisa bukan untuk memperoleh spektrum sinar(/" emas adalah bahan  pelapis yang sering digunakan untuk melapisi sampel non( konduktor. 9ambar 57 memperlihatkan seara skematik apa yang disebut sebagai sputtering. Alat ini terdiri dari  po4er supply D.- yang diatur antara 5 sampai 7 k*" dihubungkan seperti pada gambar 57"

kutub positi) ke lempengan emas dan kutub negati) ke sampel. %emua system ini ditaruh di ruang *akum yang dihubungkan dengan pompa *akum. Bila kita masukan ke dalam *akum gas seperti argon" atom argon ini akan menumbuk lempengan emas dan karenanya atom emas

terlepas dari lempengannya dan ditarik menu!u sampel oleh medan listrik. Dengan demikian sampel terlapisi dengan emas.

6. +eknik Pelapisan dengan ,arbon

Pelapisan dengan emas dalam banyak kasus tidak mengi!inkan kita untuk memperoleh !uga spektrum sinar(/ dari sampel karena lapisan emas dapat mengabsorpsi signal sinar(/ yang keluar dari sampel. Bila kita inginkan spektrum sinar(/ dari sampel non( konduktor maka haruslah digunakan material pelapisan yang transparan terhadap sinar(/.

Gambar /( : $eknik pelapisan dengan 5arbon untuk sampel non&konduktor

Dalam kasus ini" karbon adalah material yang sering dipakai. 9ambar 58 menun!ukkan seara skematik alat pelapisan dengan karbon. Alat ini terdiri dari 6 elektroda yang dihubungkan dengan sumber tegangan A.- tegangan rendah dan intensitas tinggi di mana batangan karbon diarahkan antara 6 elektroda tersebut. >leh karena intensitas arus yang tinggi maka u!ung yang ta!am dari batangan karbon ini seepatnya tere*aporasi dan dengan demikian sampel terlapisi dengan karbon. Batangan karbon ini dipadukan dengan sebuah  perGpegas yang selalu membuat kontak antara dua elektroda tetap ter!aga. %eluruh sistem ini  !uga berada dalam ruang *akum yang dihubungkan dengan pompa *akum.

L. Beberapa -ontoh Hasil %EM

Pada tabel 5 ditampilkan beberapa sampel yang telah diamati dengan menggunakan %anning Eletron Mirosopy &%EM'.

BAB III PENU+UP A. ,esimpulan

Berdasarkan uraian diatas maka diperoleh kesimpulan sebagai berikut  5. Landasan teori bertumpu pada konsep sumber elektron

2. %pesimen mudah diperoleh" terutama yang berhubungan dengan persiapan untuk melakukan u!i sampel.

3. Diperlukan keahlian khusus untuk dapat mengoperasikan %EM" namun demikian  prinsip(prinsip dasar dari mikroskop sangatlah mendasar dan perlu dikuasainya  pengertian(pengertian dasar tentang elektron.

4. Diperlukan keterampilan khusus untuk melakukan perobaan dan diperlukan keahlian tersendiri untuk mampu membaa makna dari hasil pemeriksaan di layar monitor atau print out.

5. Hanya bisa dilakukan di tempat(tempat khusus" sebab alat ini terlalu mahal artinya  perlakuan penelitian dapat dilakukan di laboratorium(laboratorium khusus.

$e)erensi 

5. httpGGen.4ikipedia.orgG4ikiG%anningeletronmirosope

2. Dr.rer.nat. ,ebamoto" Prinsip dan Pemakaian %EM dan ED#" %lide presentasi

3. httpGG444.hem.mul.a.ukGsur)aesGsGsat@6.htm

4. httpGG4tm.ite.p4r.4ro.plG<ueGtssedeG =. httpGG444.hkbu.edu.hk