(B. Teknologi)
Pembuatan Prototipe Sensor Cahaya Menggunakan Bahan Ferroelektrik Ba1-xSrxTiO3
Kata kunci : BST, Chemical Solution Deposition, Metal Ferroelectric Metal (MFM)Jamaluddin, Anif; Iriani, Yofentina; Budiawanti, Sri
Fakultas KIP UNS, Penelitian, BOPTN UNS, Hibah Bersing, 2012
Penelitian ini bertujuan untuk membuat prototipe sensor cahaya dengan menggunakan bahan ferroelektrik berupa lapisan tipis Ba1-xSrxTiO3 (BST). Pembuataan lapisan tipis BST menggunakan metode Chemical Solution Deposition dengan bahan dasar berupa Barium Asetat [Ba(CH3COO)2], Strontium Asetat [Sr(CH3COO)2], Titanium Isopropoksid [Ti(C12O4H28)] dan Acetic Acid dan Ethylene
Glycol sebagai bahan pelarut. Bahan dasar dan pelarut dicampur dengan cara diaduk dan dipanaskan
untuk membentuk sol-gel BST. Sol-gel BST diletakan pada spin coater di atas substrat silikon (Si) dan diputar dengan kecepatan 4000 rpm. Proses thermal dilakukan berupa hydrolisis, phyrolisis dan
annealing untuk pembentukan kristal BST. Pada tahun pertama, komposisi BST yang telah dibuat adalah Ba0,8Sr0,2TiO3, Variasi yang telah dilakukan meliputi : suhu annealing 7000 C, 8000 C dan 9000 C, dan waktu tahan 1, 2, 3, 4 jam, serta variasi jumlahlapisan 3 dan 5 lapis BST.
Pengujian sifat material dilakukan dengan menggunakan Scanning Electron Microscopy – Energy Dispersi X-Ray (SEM EDX) dihasilkan komposisi penyusun BST, terbentuk kristal BST dan ketebalan lapisan tipis untuk BST 3 lapis memiliki ketebalan 302,02 ± 2,29 nm dan 523,23 ± 3,71 nm untuk BST 5 lapis . Hasil karakterisasi dengan menggunakan X-Ray Diffraction XRD dan dengan bantuan analisa (General Structure Analysis System) dan data Base ICDD (International Center for Diffraction Data)diperoleh hasil bahwa BST yang terbentuk berupa kristal tetragonal dengan space group P 4 m m. Tingkat kekristalan yang terbaik dihasilkan oleh BST yang dibuat pada suhu annealing 8000 C, dan waktu tahan 3 jam.
