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PDF 1 プログラム H21年度vbl成果報告会10.06.01

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国立大学法人 豊橋技術科学大学

平成 21 年度 VBL 研究成果報告会

「機能集積化知能デバイスの開発研究の現状と展開」

開催日:平成 22 年 6 月 1 日(火)

会 場:豊橋技術科学大学・ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)

(http://www.vbl.tut.ac.jp)

豊橋技術科学大学・VBL では「機能集積化知能デバイスの開発・研究」を教育・研究 テーマに掲げ,スマートセンサ分野,光・電子融合/フォトニクス分野,ナノデバイス 分野,新装置・システム分野で独創的な「VBL プロジェクト研究」を推進しています。

今回の報告会は,15 件の「プロジェクト研究」成果の一端をご紹介すると共に,

これらの分野でご活躍中の専門家3名をお招きして開催いたします。本研究の取り組 みについてご討論頂き,これをきっかけに共同研究や技術移転に向けての産官学連携 が着実に進展することを期待して企画されたものであります。

当日は,上記プロジェクト研究代表者や招待講演者とフリーディスカッションが できるように,「昼食・懇談会」(会場にプロジェクト研究テーマのポスター展示・説 明)も行います。また,「集積回路(LSI)/センサ/MEMS/光・電子デバイスの研究施設」

見学会も予定しております。本施設(「LSI」工場)は,4インチSiウェハまでの本 格的な集積回路(LSI)/センサ/MEMS を大学内で設計・製作・計測評価まで全てできる設 備や装置が整備され,「VBL プロジェクト研究」や「グローバル COE プログラム」(註)

などの推進に活用されています。多くの皆様のご参加をお願い申し上げます。

なお,本学は平成 22 年度に新たな教育研究組織に再編(8 学科から 5 学科へ)さ れました。研究代表者,発表者の所属・職位はそれに沿っています。

(註)グローバル COE プログラム「インテリジェントセンシングのフロンティア」

(http://www.tut.ac.jp/g-COE2.htm)

プログラム 9:45 受付開始

10:30~10:35 開会挨拶 豊橋技術科学大学 副学長 石田 誠

10:35~11:25 招待講演Ⅰ「集積化 CMOS-MEMS 技術とその応用」

NTT アドバンステクノロジ㈱ 先端プロダクツ事業本部 ナノテク ビジネスユニット 主幹担当部長 町田 克之

11:25~12:00 研究紹介Ⅰ(つづく)

(1)研究概要「機能集積化知能デバイスの開発・研究-現状と展開」

電気・電子情報工学系(旧電気・電子工学系)

教授,VBL長 澤田 和明

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(2)「SQUID を用いた工業用異物検査装置の開発」

環境・生命工学系(旧エコロジー工学系) 教授 田中 三郎

12:10~13:50 昼食・懇談会(希望者)と研究紹介Ⅱ(プログラム:次頁記載)

14:00~15:20 研究紹介Ⅰ

(3)「機能性 RNA 進化系のラボオンチップ化」

環境・生命工学系(旧エコロジー工学系)

教授 菊池 洋/同 助教 梅影 創

- (4)「イオンセンシング膜を利用した小型化学計測デバイスの開発」

電気・電子情報工学系(旧物質工学系) 准教授 服部 敏明

(5)「紫外光/エックス線をプローブとするセンサシステム」

ISSRC 准教授 岡田 浩

(6)「次世代機能性材料とプロセス技術の開発研究」

電気・電子情報工学系(旧電気・電子工学系)

准教授 須田 善行/同 教授 滝川 浩史 15:20~15:35 休憩

15:35~16:25 招待講演Ⅱ「ユビキタスネット向けエネルギー源の研究開発の現状

と動向」 ㈱データリソース シニア・アナリスト/信州大学 繊維 学部 特任准教授 竹内 敬治

16:25~17:15 招待講演Ⅲ「人体通信の最新動向」

㈱アンプレット代表取締役/東京電機大学 講師/ウェアラブル環 境情報ネット推進機構 人体通信プロジェクト 副主査 根日屋 英之

17:15~17:20 閉会挨拶 豊橋技術科学大学 VBL長 澤田 和明

17:20~18:00 集積回路(LSI)/ センサ/ MEMS/光・電子デバイス研究施設見学

(希望者)

【参加費】無料,ただし,事前申込み要,昼食・懇談会出席者は 1000 円要

【申込み】豊橋技術科学大学VBLホームページ(http://www.vbl.tut.ac.jp)に掲載さ れている参加申込書(本プログラムにも添付)の記入要領に従って,E-mail

[email protected])またはFax(0532-44-6979)でお申込みください。

定員(60名)になり次第,受付は締め切らせていただきます。

主 催:豊橋技術科学大学・ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)

共 催:㈱サイエンス・クリエイト

㈱豊橋キャンパス・イノベーション(とよはし TLO)

豊橋技術科学大学(グローバル COE プログラム,インテリジェントセ ンシングシステムリサーチセンター:ISSRC)

協 賛:㈳応用物理学会東海支部

㈳応用物理学会 集積化 MEMS 技術研究会 ㈳電子情報通信学会東海支部

㈳電気学会東海支部

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12:10~13:50 研究紹介Ⅱ(ポスター展示@ひばりラウンジ)

【註】研究代表者,発表者の所属・職位:H22.04.01 現在 プロジェクト研究題目 研究代表者,発表者

【スマートセンサ分野】

1. 知能性基板を用いた機能集積化デバイスの開発 赤井 大輔(VBL 助教)

2. 集積化マイクロ/ナノワイヤーデバイスのセン サ応用

河野 剛士

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)准教授 3. CMOS/MEMS 集積化デバイス技術とスマート触覚

センサへの応用

高尾 英邦

(現 香川大学 准教授) 4. 高機能型農業用マルチモーダルセンサに関する

研究

澤田 和明/二川 雅登

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)教授/ISSRC 研究員

【光・電子融合/フォトニクス分野】

5. FIB 及び MBE 技術を用いた機能集積化デバイス 形成に関する基礎的研究

朴 康司

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)准教授) 6. 窒化物半導体インテリジェントデバイスの開発

研究

若原 昭浩

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)教授

7. 超並列ワンチップ光電子融合システムの開発 古川 雄三

元 電気・電子工学系 准教授 8. 表面プラズモン集積回路要素技術の開発 福田 光男

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)教授

9. マルチフェロイックフォトニック結晶と空間光 変調器への応用

井上 光輝/後藤 太一

電気・電子情報工学系(旧電 気・電子工学系)教授/電子情 報工学専攻 博士課程2年

【機能性材料/新システム分野】

10 ナノ計測一体型超微細加工システムおよびオン チップ細胞操作・機能解析システムの開発

柴田 隆行/川島 貴弘

機械工学系(旧生産システム 工学系) 教授/同 助教

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