DAFTAR ISI
LEMBAR PENGESAHAN SKRIPSI ... Error! Bookmark not defined.
HALAMAN PERNYATAAN... Error! Bookmark not defined.
ABSTRAK ... Error! Bookmark not defined.
KATA PENGANTAR ... Error! Bookmark not defined.
UCAPAN TERIMA KASIH ... Error! Bookmark not defined.
DAFTAR ISI ... viii
DAFTAR TABEL ... x
DAFTAR GAMBAR ... xi
DAFTAR LAMPIRAN ... xiii
BAB I PENDAHULUAN ... Error! Bookmark not defined. A. Latar Belakang ... Error! Bookmark not defined. B. Identifikasi dan Perumusan Masalah... Error! Bookmark not defined. C. Tujuan ... Error! Bookmark not defined. D. Manfaat ... Error! Bookmark not defined. E. Sistematika Penulisan ... Error! Bookmark not defined. BAB II TINJAUAN PUSTAKA ... 4
A. Pemandu Gelombang Optik ... 4
B. Polimer ... 15
C. Polymers Waveguide ... 18
E. Aplikasi dari polymer Waveguide Berstruktur Planar ... 21
BAB III METODOLOGI PENELITIAN... 23
A. Metode Penelitian... Error! Bookmark not defined. B. Lokasi Penelitian ... 24
C. Alat dan Bahan ... 24
D. Alur Pembuatan Pemandu Gelombang Optik berstruk Planar menggunakan Polimer ... 25
E. Prosedur Pembuatan pemandu gelombang optik planar ... 28
F. Karakterisasi Fisik ... 35
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN ... 36
A. Rancangan Pemandu Gelombang Optik Planar dengan Wolfram Mathematica... 36
B. Karakterisasi SEM ... 37 C. Resimulasi Perancangan Pemandu Gelombang Optik Setelah Fabrikasi 42 BAB V KESIMPULAN DAN SARAN... Error! Bookmark not defined.
A. Kesimpulan ... Error! Bookmark not defined.
B. Saran ... Error! Bookmark not defined.
DAFTAR TABEL
Tabel 2.1. Komposisi Dari Lower-Order Mode Polarisasi Linear ... 14 Tabel 2.2. Kekurangan dan Kelebihan Material untuk Optrical Waveguide ... 15 Tabel 2.3. Perbandingan Polymer Dengan Material Lain Dalam Integrated Optics ... 16 Tabel 3.1. Karakteristik Material Fotonik Yang Digunakan Dalam Sistem
DAFTAR GAMBAR
Gambar 2.1. Pemandu gelombang optik berstruktur planar... 5
Gambar 2.2. Pemantulan Dan Pimbiasan Cahaya Yang Terjadi Di Bidang Batas Antar Dua Media Yang Berbeda Indeks Bias ... 5
Gambar2.3. Cahaya TerpanduDalam SebuahSerat Optik ... 6
Gambar 2.4.Marcatili’s Methode ... 7
Gambar 3.1. Bagan Alur Penelitian ... 23
Gambar 3.2. Bagan Alur Fabrikasi (HD MicroSystems) ... 24
Gambar 3.3. Alur proses litografi ... 25
Gambar 3.4. Alur Wafer Cleaning Dengan RCA-1 dan RCA-2 ... 26
Gambar 3.5. Alur Spin Coating ... 27
Gambar 3.6. Alur Photo Exposure, Wet Etching, Resist Strip dan Curing ... 27
Gambar 3.7. Pola Masker ... 28
Gambar 3.8. Pembuatan RCA-1 dan RCA-2 Serta Pembersihan Wafer ... 29
Gambar 3.9. Spin Coater ... 30
Gambar 3.10. Profil Kecepatan Untuk PelapisanVM-651 (Mahmudin,D. dkk) ... 31
Gambar 3.11. Profil Kecepatan Untuk Pelapisan PI-2545 ... 31
Gambar 3.12. Profil Kecepatan Untuk Pelapisan Photoresist ... 32
Gambar 3.13. Masker yang Digunakan ... 32
Gambar 3.14. Alat Photo Exposure Yang Digunakan ... 33
Gambar 3.15. Grafik Pemanasan Substrat Dalam Proses Curing(Dadin dkk) ... 34
Gambar 3.17. Pemotongan Substrat ... 35 Gambar 4.1. Hubungan Antara Ketebalan Dan Lebar Dengan Effective Indeks .. 36 Gambar 4.2. 2D (a) � � Dan (b) � � Untuk p = 2 Dan q = 1 ... 37 Gambar 4.3. (a) dan (b) Hasil Karakterisasi SEM ... 38 Gambar 4.4. (a) Hasil Etching Sampel Dan (b) Grafik Hubungan Tinggi Terhadap
Kecepatan... 40 Gambar 4.5. Lebar Masker Menggunakan Profile Meter ... 40 Gambar 4.6. Lebar Sampel Menggunakan Mikroskop ... 41 Gambar 4.7. Hubungan Ketinggian Dan Lebar Terhadap Effective Index Setelah
DAFTAR LAMPIRAN
Lampiran A
Kode hasil perancangan pemandu gelombang optik berstruktur planar
Lampiran B
Kode resimulasi perancangan pemandu gelombang optik berstruktur planar
Lampiran C
