INSTRUMENTASI DAN TEKNIK ELLIPSOMETRI.

A. ｐ ｾ ｮＴ｡ｬｬｵＱｗｩ｡＠

INSTRUMJ:N'fASI DANT.Et<NIK

tLUPSOI\fLT.RJ

Ok h

Dn. flunk Slaalun, ｍ Ｎｾｬ＠

EllipJOntetri lldalab IUIIIU cata opds UJIIIal< m eAtlaall daft MttCANii bnb-cai ptristiwa pads Jualu .Surah . . ＮＮＬＮＮＬｾ＠ .... du at

onlara. <;ara Ｑｾ Ｑ＠ dldos...-kaa pada pemanfaalan ｰ･ｲｾ｢｡ｬｬ｡ｮ＠ pa>(lllllben

slu.ar yang terjadi blhl seb•.rkts aln!r dlpanlulkan, ditrusmblluUI, dlbamburkan oklt ｾｾ･｢ｵ｡｢＠ ｡ｴｊｯｲｭｾｫ｡＠ a tau aualu lapllan lipia (Ill"')·

Ellip•o-tu S<rinc dJeunalwo ... ..,k mmeukur ktkbalan

lap'Jan lipb dlddllrik yantltrlthlk di swsu.burat dmga n da)a Jerap

(Rb1orbli) llfl' tinpi. Jup dapal dieuuklln uJIIUk tntntnlukan

paran.acr-pararneter nplis bah11, teperti : i!ldtlo biM o, lcoe61itn

pemadQman k, koelbltn 6trapan a, ｾ ｫｩｮ＠ de1olh, wakiU relakuli T,

lwod uklh<illts logam a dll PtGJIUkuran kekbalan dtftlao ltknlk

tWpsomttri ini mH!puoylli orde yana ltbih kedl (hbtrapo anplrGm)

dibancli:.glw:t ､･Ｎｴｾｾ｡ｮ＠ teknlk ｬＧｮｴ･ｾｲｯｭｦｴｲｩＮ＠

lltl-ikur lnl abn dljtlaslutn Peml(noulll• dan l'tmbiluan

ｇｴ ｬ ｯ ｭ｢ｯｮｾｴ＠

Prinslro

IWipsoo:tlti. Slslel)l Perrualtol, Ptng•kunm llturon Flsis. s<rta Aplibsinya.

lll'tmaniUJan dan Pembiaun Ctlo,.b•"l

l'ntuk medi•m botttpb. berlaoku hui.Jun..Jiul<llm

ｴｬｴｾｴｲｯｭｯｾｮｴ＼ｩｫｳ･ｬｬｬｧｯｩ＠ btrikut•

V.J) • 4! V. t;•4 n ( ... ... ... .. .. ... (1) V.B•EV.ti • O ... ... ... . ... ... h . . . - . . . ,(2)

v- r • . ..

au ...

<J>

( i1t

.

V.-lf • 41teE +.s.a.£ .... .. ... ... ... ... {4)

c

c

ar

Oori ptrumun·ptrlamun dl Alas, bha dl!uru.nklln ｾｮ ｴｵｫ＠ penamun &tlombilllt tld·.tronaen•lik ｹｯｴｮｾ＠ mtralllbal dalolll

tu«<ium

)InC tidak ｭｴｾ｡ｮＴｵｮ･＠ unMtan bcb$ )&kni •

• 70·

bcblo, ).&l..n

<I

_ ,.

_PI 9 1£

&II

a•u

ｾ＠

..

ｾｾｶ＠

vii

- + - " 9 I H 16)

C I 411 C I 41

Uanak •tdioml nm koodllklif(G""").penaiUUI (S) ｾ＠ (6) muj.di

&u 6 12

7

IJII .. !l I E

f.1!_

a

'H • 'V ' H

c l 8 t )

(7)

(I)

P841a frtlwtnsl oplfk (11 " 1), kfeepatan ｮｾｭｾ｡ｴ＠ arlomllanc dar! ｾｬｬ｡ｭ｡｡ｮ＠ 41 &Ill.! adalal\ CJ./c (derl dttlloW lndtkl bias n.. .Jc ).

Pe•11Nlan ella ｾＱＬＱＱ｢ｬ｡ｳｵ＠ rnma,.bn

tt!al•

r•1

ttrjodl ＮＭｯｾｾｾ＠ Jlftftlukaan abu bidaac

kw

dari claa medillftl

ya.na

btrtedo,

d•"'•

､ｴｴｴｾｕ｣ｬ｡ｮ＠ ptrumusa1111ya ｭｴｮｾｰ｡ｫ｡ｮ＠ ,..,,.,wan toal ayarll .,.._ Bib

idltrba cd8ya dijaftdlkaa pada biclaac biiU d.. mediu• JUC krbe4a, ..J.a atto.&IIAI cab,.. aklo dlpeatulkao • • atbltlaa

lac!

akin dlblaabn (1<pcrd aambar I}.

Btrduarklla slfat opdk bahan, ｾ ｵ､ｵ ｴ＠ bias adoolbllfll (>lba)'& d•taotukan

•ldl lndtb bUt baball tcncbuL Slldll.as mtrumukaaaya Stbapi

btrilwt:

dt"gan 111 ､ｮｾ＠ n : menylllllki•n ｩｮｾｴｫＮｬ＠ ｨｬｾ｡＠ mrdlum I dan n>tdiuro t; I dan r ｭ ｴｮＩｾ ｴｐｫｬｮ＠ ｾｵ､ｵｴ＠ daraua dan 1udut bi11 vant dlulwo terhadKp

a•rf•

norm•l bldanc b»tu • ｾ＠ •

•

--l

Go_Cto_ ,. ,,. .. , ... ,...,w...o

T

Dlla caba,.. dllU& dll:ri udlrt ｊｍｴｾｖｪｵ＠ medium kortdllkllf, mJkl

a> •

I

ｉｉ ｾ＠ ou dln)atlkln ､･ｮ｡ｵｬｮｾｴｴｳ＠

•I••

'-tmpkks bahan, ) aiM

71-N• n ( 1 +jk) ... ... ... -{10)

Dnc•• :

N idtlol bias l.empldil NJuoa. • t.drks

w.u

rid. . , k

I..Mtl.ift ｾﾷﾷ＠ (e"t.lkliea). Pm . . nll• uri adn:beos ｴｾｫｩｊＧｏｭ ｡Ｈｬｫｨ Ｇｫ＠ pndt pti"JJIUiwm d.ldd.trik brf'1tiDNJIC pula k<lkl•an vtl.tor mf'iao llstrllrr

a..lombac

trncbut, )a.IN llo.pMtn

ctiMoNrtJ

ujaJar (p) du

U."""•"

aot..b•lll ｾﾷｉｴ＠ 1tm1s

l•l ltrbdnp

bidaoc

､ｾ＾＠

Otopn

-MIIdlatkan ••pUfUdo llompltLI •elltor ftltdan tlst rlk ctlombtlll punll (Er) dcni•• ｡ｾｾ｡ｰｩｩｃｕ､ｴ＠ korwpltks •ektor Dl<dln

ｕｾｴ ｲ ｕ｣＠ adCimlnaa ciJic..tll (t! ｾ＠ coba d ljltroldt llodlsln Slf'D-1.14

(I<Otf11kn frund) yaattt :

'

E., ., .. a. l • ft1«oef • •

-·

r • • ,, .. , • ••""''

.

1:. • • ... 'II ｾ＠ • It J , .. , f t

--

-

..

t'. a1c.l t • • t CGtt

(I I)

(II)

fl' : anoplhudo kocraaloo UIINlt ptlanw.l wjajar dan r. : empiilwlo

ｬＮｯｴ ｾｬｴｮ＠ woNL l>'liAI'13<1JI

lf:C•It

loru" ll•bo-a•• -plltudo cl1111 falf

aniWra ktdu• knmpoam !A'jJUar dnn kocnJIOtll!n keak henu berubllb aklbtol jltmnntolao d1111 pembloan. Btnrtl pela.rtaatl ua'aya tti'J)anl•l

11.. poln.-•"

l'lht)"ll terbla1 tidal.

uate

ｾ･ｴｲｮ＠ poiAirtsad ｾ｡ ｢ＮﾻＩ ｮ＠

-11• ....

ｾﾷ＠

lln!ak mtllhar ｾ｡｡｣ Ｇｕｨ＠ Jllnrulan eertadap Ulplitudo dan rau

pnda •tktlr ｾｴｴ､｡ｮ＠ llllrik ucara ttrplaab. m.tka l.oen.lt<\ fl'rtiod

kom pltks lkan clltulltkllll ､ ｡ｬｴＮｬｬｬｬｷｬｴｵｾ＠ • .

r, • ,r,J

l tl, ;

tl••

r, •

;,,I' •·

( U )

I r,l

dan

In I

adabb

ｬｵｾ

｡＠

•utlall

,.rbt>odl-ao

•plitlldo cctaru •cl<eor 9arrik ub&JIIIIerpanhlldo Ｇｾｫｴｯｲ＠ littnk cahtya

ciJIIImt

ltrbdl.p

bldua ､ ｡ ｴｩＴＱﾮＱ ｾＢＱＱＱＭｉｄＳｓｕ＾ｚ＠ unhlk t.em,_til

nJ..tar • •

lqltk

lllnK-8,.

llu ｾ＠ ｾｾｾｖ＾ｴ ｡ｴ｡ｬ｣Ｎ｡ ｮ＠ ｾｮｯｮ＠ fal( Ｍｾｨｩ＠ "-P•m

aklbal jl&alulm.. PtnucdiJicao llot1Wc11 • NP!tl llota pon"' -jaju

dtttaa» ｫｯｭ ｰｴｾ＠ ttaak

luno•

lt.r1udap bidana d,..,, ､ｾｊｯｦｬｴ ｯｫ｡ｯ＠ At.baaal btrikut : • •

.l • "" •

Ｎｾ＠

'

d1rl ｾＢＢ＠ (IJ) 4an \14) da.,;_t tlltnlakae b•b,....:

(14 J

ＢＢＧ ＧｾＧﾷｲＮﾷｊ＠

t

...

4 - I • •

• ＨｉｾＩ＠

lkllarn

'I'

de A ､ｬｾ｡Ｎ｡ｬ＠ dtftlll• p a r - r £lllpst!Mttr J8111 dapat

dl•.kur ､ ｴｾｾ･｡＠ tlllptoee_ter dan baartya S8npl befltnlui!J ptda iDdelut blli5 .,.hllll ptiiUIIttd. Pl!4a a\llltu ｨｾｲＦ＠ atillill dalllnJI: lt11tntu, lndtk.c blu Jc.•plekl balwl pa11111tul dapat •JIIlfWiC ｭｾｬ｡ｬｵ ｬ＠ ptnpkurllll •

du A • Dati ptrs. ｾＱＱＩＮＨＱＴＩＬ＠ dan (U) - bulwm SMIIius,

Sl•

J •N tlrt

t ... , ...

ｾ＠

...

(J6)

eltann

dlptroleb :

, 1 , , 1 '{I t.wt'f<'ne'2i'·.tlu11"'fttn1

h)l

!)

fl I "' • nn I • - • ::f-· - t I

(I • nil )If· \.Ut o\)

Ill)

Ptrs. (17) ,.n (18) d1p11 difunakln 111tuk audul cia hill& Mlllbll'll"' dan

ｰ｡ａｾｪ｡ｮ｣＠ ｡ ﾫｬｯｭ｢｡ｾｾｊ＠ Ullbarana podt.

c.

f>rWlp ｆＮ ｉｉｊｊｾｍｦｴｴｬｲｬ＠

Ptl\lllUI"III ＦｬｬｬｰＱＴＱＮｭｾｾｲ＠ dld•41rkan pada pt"'babact ｰ＼ｾ｢ｲｬｳ｡ Ｇ ｬ＠

cahaya dart bid . . 'po&al1eall pa4,a ptl'lllllbtlll ptmaallll Ptrubalun

polllrbatl YUI ._bud ｡､｡ｬ｡ｾ＠ Iliad- polubul krupa dll ...

Cahaya )'IDI ｵＱＱＱｾＱ＠ pacta -•Ptj)d blasanya cllbi!M terpolub all rlllpdk daa loftdun polarl•atl

berubl\l

dari uadllll Jemlllll ｾｾ･ ｴｴｗｉ＠

llltftlAccatkan ta..,el, allla c.,_ .... e.al • • • ､ｮｾｾ｡ｮ＠ ktad..,

polllriml

ｾｲ＠

daa teltlall

mtA ..

IPlku aall\l)tl

kadaao

poluilulll)a

IM>Nbah, bi11Sa111t ｾｲｵｰＱＱ＠ dlipa ､ｴｾｴ｣｡｡＠ ｾｲ｡ｫ Ｈ ｴｭｬｩＮｫ＠ te.rttoc., Ptrubllhan inlbh yana•iaud dtiiJao !lldoda EIUpsometri.

Cahaya ttrpobrillll dllplik adahth lluU tuptrpoml ､ｾ＠ koCDponta t aNya ltrpola . . sl yaa.

nltlllpu•YIIl

ampllllldo aaroa ltllpl berbeda faJe, dnpJI ' 3 •

±

0,5 JIJ1I 1 (Ill •

0,

I,

1, .... ).

Ktlldau polarbttl ttlipdk dapar 11-,atakae ､ｴｴｴｰｾ＠ DICUijau pt!IJtlarn IMrlull callaya Rrpolariull dlpd• dalaa arab ｮ｢ｾ＠

-

If )'IDI dl&amblrbn sebagal Mall dart dua gerak barmOliU stderbana yao1 dibutaepa.ojiiAil

-73-AUibu· s da.a tu•bu-y dtnpa f'rllllttlltl , . . . . -pllhMio 11 d• a1o sMut ,_. 61 ••n

&.

lkrikat r.l ｾＬＮＮ｟＠ perre=•a •tuk

poleril.ell . . . tlk.

dNto

a •

& .

a •.

D. Sltlrte Perele._

l!t.f

·[!.r.J . I !:.Sl:. ... ,

I

\ •·

.. 1 ._ ••

r

..,....0 leriCftiaAiet ( Ellpn •tkr Nol)

...

..

·-

,

...

..

. •.

Gamb:tr 2. &gao 1..Hp1v.r u...- I ｾ ａ＠

..

-

_{(It )}

O.rus seWer tebe)e - " -trk tal. ttrpolariaul (bluer.) a cbri •umbtr 1.-.rr) dh•beh nwnjadi ｾｴｲｰｯ ｬ｡ｲｩｳｴｾｬｬｩｯＡｴｲ＠ olrh polarisator. I ru•rmii\M Jl<>llrO...t•H )•U•It ｲｬｬｾｵｮ ＱＱ ｬ ｵｵｲ＠ • lllllah prbrliM G'lno•nJoon mJ

)'""' ｾｵ･＠ ktplnl: ｃ･ｬ｣ｬｬｾ＠ y•u: diftkatl..lla. liiJa rllheye 11111 ltrpoleriJad ｴｬｬｪｾｃｉ＠ hi 1 ( _.,le ｊｬＨｬｬｾＬｬ｡ＬｬｬｬｴＬ＠ mi ke ｴｾｴＰｴｬＮｬｬ＠ lnltMIII IUIIII Ｆｫ ｡ｴｾ Ｂ＠

r.• t:) el bl..u hanu <aile) A ｴｴｲｰｯ ｬ･ｲｩ ＾ ｡ｳｬｬｲｮｾｲ＠ ) 'U J ktl\le r 1 dltti"U$kln

ｙ Ｚｾｨ＠ po!an.:ca:or tt ru-tau

lwmo.tll)lll<>r ｢Ｎｲｬｵｯ ｾｩ＠ mn tubah ｾ｢Ｚ･＠ ttrlflllerisl<l linlot n<<njlldf ,, A>luua elhf'llk t.umpt n.ecc.or ttrbuar derl ｾ＠ ohll.ll Y'JtC

llo<to\llikl <l•mbt; Uj)tlk tOI•A! ll• n lembat Ａｾ ＸＱ＼＠ l :1ru• M h•dMJI' l&t•b

''ll"'"'i

i. ｾ＠ · "I" n•n '"""'• ､｡ｴ｡ ｮｾ＠ f. r110iarh• I t•n " ｾＧＧＧＧ＠ JBedruo

•trll..o)e ＮＬｾ ｲ｡ｬｴｩ＠ ttrbadap "'miN laft1btu. fau»y.. ｾｴｫ･ ｮ＠ d.pubmbal rtlatif ttrl1adap llompoDtn )'8111 ｊｍｩ ｲｬ ｬｾｬ＠ ftrbedep

..,.,bu

rC'J)IIt, kdlke

CIU)'I Nmftllhl ko!WptMIROf. Blhl perta ... rtt.llf .., ... 0,5-,

... lfCIISIIOr iN diHbut "pda•bat -.pt:nepal ltloatbuc" ...

"ktplolatptrtO\pat atlomblnf' ,

•

Koonp-..ror )llll& lltrillc digwoka• dalun tUo.,oo»tltr •d•Uh l.q>irtg

y,

ldOmbllna I.DI<r YIDI ltl'baal dlri

Qnra

(kuaru). kbertpl jrais

ｫｯｵｲｾｮｮｬｯｲ＠ bU.n dlcuubn 1

a. Kompenumr dtOIIJI <>rieowl tt11p dan , _ btrubalo, ｴ･ｾｴｴｯ｢＠ komP<UJitor S<thtl Blbi.ott.

b. Kompcntator dtnaan lase tctap dfUI orltthul btrvbah. tontoh KomptUSitbr

s ... ..-•.

t. Kom!"nUtor

dt•l•o

orltntali dou fast ldlp. d. Komptnntor d<naan orltntaJI dad fut berublh.

Sud ut - IIUdut P dan

C

darl l'"lorls<otor din ｾｭｰ｣ｩｬｯｾｗｲ＠ dapat dlatur

ｵｊｩ ｡ｾ｡＠ kea4aan polarisasi mtmpUJJyai nnae d1rlllnler ke airkuJn • O•l•m tiJifiJtllttlrl nul lnJin dlptrGitltlulhr ftOI (milllmum) poda

derrktor, ｾ｡ｬｴｵ＠ dtnlan mtmllb I' dan (. yan& 111tmbtrlkan tablyo

trrpolaritll•i eiUplik, diD!ana jib caba)t dirtlltl.llkan aantptl ak.m ontDjadl eerpobrllaJI U.ltr da• ttlanjuhl)l mrn\1)10 anaU.ator. Callaya

ttrtwtlarbul lW.r •oewarkan Mrblul aoaib•ror. l1lu analbator lm

dipolar lfbt!ar Jlldut A apr dipc'I'Oith ourpor ,.,. monlmom paola

dtttkror tahi1L Opuator .,.acatur atur 101dJI ptlarberor •an

IDAWW ullllik IIIUdapelbn Ull}l l mlnllllum rada dtltktor.

f..

l'm:ll

ku 1'1, Btu, rills.

PtrbandiJiau lloffbitn "flekll FTanrl (/) yana dlrumuJita.n

pen.

(14) dap11

cbkur

dan PfliCUbraCI.nra llclak ｾｾｴｲｬｵ＠ dt . . ｾ＠

mcncukur lJut-oslllls ｾ｢ｳｯｬｵｴ＠ dao We. kanoa p ptrblndlnclll lot.Mitu d•n ptrbrd••o fase nlarif. Sudut.,..dut 'I' (0' ｾＧｉＧ＠ S C)()') dan (0' S 1\

s

360') ､ｬ､ｴｮｮｾｬｫ｡ｮ＠ ｴ･｢ｾＦｬ＠ 'I' • arc

tan

(I)/h) d111

t. •

l!.,.a,.

ｰ･ｮｾ｢｡｢｡ｮ＠

ｦｾ･Ｎ＠ Sudut posldf dlukur btrlawanan arab oltnaan arab Jlt'lllllllru

jaruru j111 dari t>idaoa data•a ､ｾ＠ tud11r polilrimor diatur kt not bit.

bldana cruumllll njajar

dto&aA

bldana

daranj .

._da 32 lwmblnatl dari P,C, dao A yanc blu m•ncwilbo pauo:u 'I' d111 /J. • Kartaa utiJip !udur potrb1ror, lloonpuuror,

dan IMhJIIOr )'lftl buujak 180' adalab IIC'DI lltUI'I opcik, aoka kombl8111 P, C. dan A ｾｬｏｴ＠ mMtbtrikan p11Ut&l• 'I' dao /J. btrltunaa

81tojadl 16 jib - u a audut 4ilnuul kura111 dari 180'. IU ' ' flll'llll pti'Mn,.on llnkr )I"& ｢ｴｲｴＮ｡ｨ｡ｾ＠ d•Dil•• 'I' don A j*la P dae A saar aol (di d<ukror) ad&lab 1

'I': A.IM' - A

l>: 21' - ｾ Ｎ＠ 21:'- 2.,.., (2nt - I) 90" :1:2P. denpo nt • l,l.J, atau 4. l(e 16 pas•...-• penaaoun 1111 bba dlkuntlltl mea.ladl dua ｾｬｬｮ＠

dmean mtmbabul kttmpl'nutor haaya SIN IUdul, m•JII"Y* 4S• dan

r•nae

P ｵｾｮ＠ A mtn)adl dua 1.ona, ､ｩ､･ｦｬｴｾ｢ｩｫｬ ｮ＠ aebacal :

Ｎ ＬＮＬｾ＠ 1 Ｚ ＭＭＮＮｴ Ｄ Ｔ ＱｾＬ＠

.u,· :

ｶｾ＠ AJ i

w.

c ... u·

P dan A ditt•tukan dalatu llaJ> dwt ton.a iui ｢ｵ｢ｵｮ･｡ｮｮｾ｡＠ ｣ｬｴ｣ｾｰｮ＠ ljl dan

ll aclalab :

... • ｾ Ｚ＠ ·'- • J7(f P;

ｗ｡ｬ｡ｬｬｰｵｾ＠ pen:ukurao bba dllakukan sama >11lldnya dalam ktdua zona,

JltnkOI'\th ketldak ltmpurnaan kompcnsalor llba dleUtnlnMI deogan

mdakukan ptngul.uran daiRm ktdt•• zona l1lUI menaambU hasll rat. ratanya.

+ •

'1'1 • 'II, • A, ｾ ａＮ Ｇ＠

2 ｾ＠

61 • A. ICY ""' p

·' l •• - •• , • • )

I ' (lO)

Ktmudiao hUJ• audut nta· rata dl at• di:u,..laul onlllk mtn&hitunx poramtltf'pararuettr opli! dar! san>pd dengan mensubslltusl k• pl'l'$.

( 11) ... ptr.. ( 18) F. Aplikasi

PtMrapan ulama ttknik EIIIJtAometrl adalah

pttda

pcnccJiruran

-tt bal dan i.ttdt.ks bia• lapi!ln llpis yan& lldak ｭｴｮｹｾｲ｡ｰ＠ c11haya yanl!

bua(Ja dl a!Jls substrol stnJikooduktor. Pad• pr!Julpnya lldak acb

batuan ｾｴｴ｢｡ｬ｡ｮ＠ loJthon )CU't al.an dl ukur, namUJJ untuk lapisan

Y•.na

sangat ripls, J>er1v dlptrlNkan : ,

• · \1od<llapiuo dianuap mtmpuo)'al Jifat opris ) In& homoatn dan

IIi

dan:

betas yant rata.

b. Perumaan EDipsomt trf dldaurkon pada penamaan MltX'>eR ) ang

l l mum tidal. ｾｲｬ｡ ｫｵ＠ untuk lnplsan )lUI& teba.ln)t htnyi bthtravo

aro m ik.

Mtttlab )'tng btrbtd a akan mwt(ltl unruk lapisan ytlll td•lll,

ｩ ｮｬ ｴｲｊｬｲｾ ｬ｡ Ａ ｬｬｬｫｯｮ＠ m •n)Atli lthlh t ulit knrrn• panj,ang Jlruasan optb.

-76-F. I. Manaukur Ttball.a.piiM

-; : _ _ _ ' -.... !/.;:,.,•

:._.L

__

"'

__

ｾＱ＠

r=·.

sz:....

!

ｳ ｾｾ＠

o ...

ｾ ＮＬ Ｑ Ｎ＠

Plllb eambar dl atu. tt,rllbat dua tallaya refleksi krinttmrau:i

satu sama lalft, tDalal dart ..W. IUipal IN<IIIw...,aa fut. Kaotdcwtntioya tlda'-ob siCatslldut ptftl\lkutln kettbalan, dmtlll 'II l!.n A mrnopakaa f'uncsl tlklus dan ketebalaa lapiJIUl. t "ntuk "'!laP ilklll!

ptauh kettbalan lap!wl dlbltuftl dtetao :

ｾ＠

'

l

<•'

•1n'"'i (Zl '

Cotlloh 1 Pacta ｾ＠ • 711', kttcba.lan slklus 5102 den can o l • 1,465 ｰｾ､＠

'-• 6318 A" adala.b 2815 A• . • llkl ltbal laplsan SIO:Z adaiSih ｾＰＰ＠ A0

mtmberikan tudut ｣ ｾｾｭＰＱｲｾｫ＠ ltrtrolll, mak.o • ud'ut yQna ••mll ｡ｫｾｮ＠

siperokh unluk laplsau 8102 atttbal (SOO

+

18J5) A•, (500

+

5630) A• .._ Sdllqp ullhlk laplua

yua

ｾ｢ｬｬ｡＠ ttbel dan pooda ktttbalan elkJ..,.ya, llilll barus mmcttahuJ ktltbai:ID lapisan dl ICI!Iitl SIN

kercllalall slldaJIIyL

F.l. MtDftltlllwa

._dl"'

Blat Laplsaa

t ntuk mtnrnlllkall indeks lllas lapitan tiph, mi•Aikan ｣｡｢ ｾｴＩＧｒ＠

ctijar.l•kan pad& sampel Ｈｳｴ ｴｾｲｴｬ｡｡ｭ｢｡ ｲ＠ dlbawa.b llll)

(; J" ... J

G. ｐﾫｾｵｩｕ ｰ＠

Teknif< EIUp.wmetTi dapat digu11akan unl\lk numentuk1n

ｾｴｴｲ｢｡ｬｯｯＱ＠ lapban lipis (ord• ａｴｾｧｵｲｯｭＩＬ＠ Jup unl\ll!. me!ltnrukm

konsunla optik lapisa.n tipis uprrri: utdtl<s bias, kotflsim prmadAIJW) ､ｾｮｧｴｮｬｦ､｡ｫ＠ mcrusok bahall.

DAFT AR PUSTAKA

4.C.Hall, 1963. JOilrnal of tile Optima/Society ofAfffJ!I"ka, Vol. 53, No.7, 801-803.

An:sm,R.I\1--'. and U.thara, N.M.,l981. Ellipsoltllitry o•d

Pown:eJ

Light. North Hollsn4, Amsterdalll.

Born,M. and E. Wolf, 1959,

Prln.-iples

iif

Optics,

Pugamoo Pn:ss.

N'twYork.

O.A.Holmrs and O.L.feucht,l967. Joumul of the ()p!iCtll ＤＨＩｾＯ･ｺｹ＠ of

America, VoL .57, No. ｾＴＴＶＭ 4'72.

D.K Safll.l' and U.E.Bunett, 1964. Jolltnul of the Optl<'tll Soeiny of

America, Vol 54, No. 12, 1428- 1433 .

.. .. .. .... ｊｮ Ｎｶ ｭｵｾｩｲｭ＠ Mllnua/ El/ipsometl!l' LJ I SA ..

Pedrolri.l...F. and Pedrotti, I.S., 1993. l•troductiqn to Oplia.l$, 2 .. ed. Prtntlce lfall, New Jer&y.

s.!vodcr, Oltter,K., 1990. Semieond11ct<N and Device Charactcrluuion,

John Wiley, Slj:apcn.