ﺷﺒﻴﻪ ﺳﺎزي و ﺗﺤﻠﻴﻞ رﻓﺘﺎر آﺷﻜﺎرﺳﺎز ﻧﻮري ﺑﻬﻤﻨﻲ

ﻜﭼ ﻴ هﺪ ﺖﻧﻮﻣشورزاهدﺎﻔﺘﺳاﺎﺑﻪﻟﺎﻘﻣﻦﻳارد– ﻮﻟرﺎﻛ

ﺐﻳﺮﺿ ردهﺮﻔﺣونوﺮﺘﻜﻟانﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳيﺎﻫ Al_0.4Ga_0.6N

ﺖﻳاﺰﺗروورﺎﺘﺧﺎﺳﺎﺑ ﻲﻣﻪﺒﺳﺎﺤﻣار

-

ﻲﻣنﺎﺸﻧوﻢﻴﻨﻛ ﻪﻛﻢﻴﻫد

رد Al_0.4Ga_0.6N نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳﺐﻳﺮﺿ

يدرﻮﺧﺮﺑ ﺖﺳاهﺮﻔﺣزاﺮﺘﮔرﺰﺑنوﺮﺘﻜﻟا سﺎﺳاﻦﻴﻤﻫﺮﺑ .

يرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآﻚﻳهﺮﻬﺑ

ﻲﻨﻤﻬﺑ ﻪﺘﺧﺎﺳنﻮﮕﻤﻫ ﺎﺑهﺪﺷ

Al_0.4Ga_0.6N ﻲﻣﻪﺒﺳﺎﺤﻣار

وﻢﻴﻨﻛ ﺎﺑ هزاﺪﻧاهﺮﻬﺑ يﺮﻴﮔ

هﺪﺷ ﻲﻣﺖﻘﺑﺎﻄﻣ ﻢﻴﻫد

، ﻪﻣادارد ژﺎﺘﻟو،ﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿ

ﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣوﺖﺴﻜﺷ هراﺰﻓاﻦﻳا

ار ﺰﻴﻧ ﻪﺒﺳﺎﺤﻣ ﻞﻴﻠﺤﺗو ﻲﻣ ﻢﻴﻨﻛ تاﺮﻴﻴﻐﺗﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧلﻮﻃﺮﻴﻴﻐﺗﺎﺑﻦﻴﻨﭽﻤﻫ . ﻦﻳا

ارﺎﻫﺮﺘﻣارﺎﭘ ﻲﻣﻞﻴﻠﺤﺗ

-

ﻢﻴﻨﻛ . هژاوﺪﻴﻠﻛ ﺖﻧﻮﻣ،ﻲﻨﻤﻬﺑيرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآ -

،ﻮﻟرﺎﻛ

AlxGa1-xN

1 ﻪﻣﺪﻘﻣ -

،يرﻮﻧ هﺪﻧﺮﻴﮔ ﺶﺨﺑ رد ﺮﺼﻨﻋ ﻦﻴﻟوا يرﻮﻧ زﺎﺳرﺎﻜﺷآ

ﺖﺳا .

هراﺰﻓا ﻦﻳا هﺪﻴﺑﺎﺗ رﻮﻧ

هﺪﺷ رﻮﻧ ﺎﺑ ﺐﺳﺎﻨﺘﻣ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا نﺎﻳﺮﺟ ﻪﺑ ار

ﻲﻣ ﻞﻳﺪﺒﺗ ﻲﺘﻓﺎﻳرد ﺪﻨﻛ

ﻪﻛ ﺖﺳا ﻲﻤﻬﻣ ﺮﺘﻣارﺎﭘ هﺮﻬﺑ دﻮﺟو .

يرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآزاهدﺎﻔﺘﺳا ﻨﻤﻬﺑ

ﻲ ار ﻲﻣﻪﻴﺻﻮﺗ ﺪﻨﻛ

.

ﺪﻳاﺮﺘﻴﻧﻢﻴﻟﺎﮔ GaN)

ﺐﻴﻛﺮﺗﻲﻋﻮﻧﻪﺑﺎﻳ ( يﺎﻫ

AlxGa1-xN ﻪﺑ

ياﺮﺑ ﻲﺒﺳﺎﻨﻣ ﻪﻨﻳﺰﮔ ﺪﻧراد ﻪﻛ ﻲﮔرﺰﺑ يژﺮﻧا فﺎﻜﺷ ﻞﻴﻟد جﻮﻣلﻮﻃيزﺎﺳرﺎﻜﺷآ ﺪﻨﺘﺴﻫﺶﻔﻨﺑاﺮﻓيﺎﻫ

ردﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآﻦﻳا .

ﻲﻣ رﺎﻛ دﺎﻳز ﺎﺘﺒﺴﻧ يﺎﻫﺎﻣد ﻚﻳرﺎﺗ نﺎﻳﺮﺟ و ﺪﻨﻨﻛ

ﻲﺘﺸﻧ) ﻲﻤﻛ (

ﺪﻧراد 1] .[ يﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآ لﻮﻃ ﺮﻳﺎﺳ يﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآ ﻪﺑ ﺖﺒﺴﻧ ﺶﻔﻨﺑاﺮﻓ

جﻮﻣ گرﺰﺑيژﺮﻧافﺎﻜﺷزاﻲﺷﺎﻧﻪﻛﺪﻧراديﺮﺘﺸﻴﺑسﺎﻳﺎﺑژﺎﺘﻟوﺎﻫ

نآ ﺖﺳا ﺎﻫ ﺐﻴﻛﺮﺗ .

يﺎﻫ AlxGa1-xN هزﺎﺑ يژﺮﻧا فﺎﻜﺷ ظﺎﺤﻟ زا

ﻊﻴﺳو 4eV / ﺎﺗ3 2eV / ﻲﻣﺶﺷﻮﭘار6 ﺪﻨﻫد

يازاﻪﺑ،هزﺎﺑﻦﻳارد .

ﻲﻟﻮﻣ يﺎﻫﺮﺴﻛﻪﻤﻫوﺖﻳاﺰﺗروورﺎﺘﺧﺎﺳ يژﺮﻧافﺎﻜﺷx

ﻢﻴﻘﺘﺴﻣ

ﺖﺳا 2] .[ شراﺰﮔ ﺐﻴﻛﺮﺗ ﻦﻳاﺖﺧﺎﺳ زا يدﺪﻌﺘﻣ يﺎﻫ رﺎﺨﺑ شور ﺎﺑ ﺎﻫ

ﻪﻳﻻ نآ ﻪﻛ ﺖﺳا هﺪﺷ ﺮﺸﺘﻨﻣﻲﻧﺎﺸﻧ ﻪﻳﻻﺮﻳز يورﺮﺑ ار ﺎﻫ

ﺎﺑSiC

هدادﺪﺷر ﺐﺳﺎﻨﻣﺖﻴﻔﻴﻛ ﺪﻧا

3] و [4 ﺐﻴﻛﺮﺗﻦﻳا . ﻲﺒﺳﺎﻨﻣ ﻪﻨﻳﺰﮔﺎﻫ

لﻮﻃ هدوﺪﺤﻣ رد ﺪﻴﺷرﻮﺧ ﻪﻌﺷا ﺶﻔﻨﺑاﺮﻓ رﻮﻧ يزﺎﺳرﺎﻜﺷآ ياﺮﺑ جﻮﻣ

ﺪﻨﺘﺴﻫﺮﺘﻣﻮﻧﺎﻧ280 يﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآﺞﻳاريﺎﻫدﺮﺑرﺎﻛزاﻲﻜﻳ .

AlxGa1-xN ﺖﺳا نزا ﻪﻳﻻ ﺐﻳﺮﺨﺗ ﺶﺠﻨﺳ

ﺎﺑ ﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآ ﻦﻳا .

هدوﺪﺤﻣ ﻪﺑ ﻪﺟﻮﺗ يزﺎﺳرﺎﻜﺷآ

ﻲﻓﺎﺻ يﺮﻴﮔرﺎﻜﺑ ﻪﺑ يزﺎﻴﻧ ،نﺎﺷ

ﺪﻧراﺪﻧﻲﺒﻧﺎﺟﻲﺟﻮﻣلﻮﻃ ﺶﺠﻨﺳهﺎﮕﺘﺳدﺖﺧﺎﺳﻪﻨﻳﺰﻫﻦﻳاﺮﺑﺎﻨﺑ .

ﺐﻴﻛﺮﺗ زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ نزا ﻪﻳﻻ ﺐﻳﺮﺨﺗ يﺎﻫ

AlxGa1-xN رﻮﻃ ﻪﺑ

ﺸﭼ ﺖﺳاﻪﺘﻓﺎﻳﺶﻫﺎﻛيﺮﻴﮕﻤ 5]

ﺎﺗ [7 .

ﻞﻣﺎﺣ ﺶﻧار و ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ و ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا يﺎﻫ

ﺪﻨﺘﺴﻫﻲﻨﻤﻬﺑيرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآنوردﻢﻬﻣيﺎﻫرﺎﻛوزﺎﺳيدرﻮﺧﺮﺑ ﻪﻛ ﺪﻧراد ﻲﻓدﺎﺼﺗ ﺖﻴﻫﺎﻣ ﺖﻧﻮﻣ شور ﻞﻴﻟد ﻦﻴﻤﻫ ﻪﺑ.

راﺰﺑا ﻮﻟرﺎﻛ

ﻪﻴﺒﺷياﺮﺑﻲﺒﺳﺎﻨﻣ ﻞﻣﺎﺣ رﺎﺘﻓريزﺎﺳ

ﺖﺳاهراﺰﻓا نورد يﺎﻫ ﻦﻳا .

ﻲﻣ شور ﻮﺗ ﻞﻣﺎﺣ زاﻲﭘﻮﻜﺳوﺮﻜﻴﻣ يﺮﻳﻮﺼﺗ ﺪﻧا ردﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا يﺎﻫ

ﺪﻫدﻪﺋارانﺎﻜﻣونﺎﻣزهزﻮﺣ .

ﺖﻧﻮﻣ شور زا هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﻪﻟﺎﻘﻣ ﻦﻳا رد ﻮﻟرﺎﻛ

ﺐﻳﺮﺿ يﺎﻫ

ﻲﻣ ﻪﺒﺳﺎﺤﻣار هﺮﻔﺣ و نوﺮﺘﻜﻟا نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ يﺎﻫراﺪﻘﻣ ﺎﺑ و ﻢﻴﻨﻛ

ﺖﺳﺪﺑ ﻲﻣ ﺖﻘﺑﺎﻄﻣ ﻲﻫﺎﮕﺸﻳﺎﻣزآ هﺪﻣآ ﻢﻴﻫد

8] .[ هدﺎﻔﺘﺳا ﺎﺑ ﺲﭙﺳ

ﻳﺮﺿزا ﺐ ﺰﻴﻧﻮﻳ يﺎﻫ ﻢﻴﻈﻨﺗ نﻮﻴﺳا

،هﺪﺷ ﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ و هﺮﻬﺑ

ﻪﺘﺧﺎﺳ نﻮﮕﻤﻫﻲﻨﻤﻬﺑ يرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآ ﻚﻳ هﺪﺷ

ﻲﻣﻪﺒﺳﺎﺤﻣ ار -

ﻢﻴﻨﻛ 6] .[

،ﻲﻓﺎﺿا ﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ ،هﺮﻬﺑ ،ﻪﻣادا رد و ﺖﺴﻜﺷ ژﺎﺘﻟو

ﺖﺴﻜﺷ ناﺪﻴﻣ هراﺰﻓا

لﻮﻃ يازا ﻪﺑ ار ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫ

ﻪﻴﺒﺷ يزﺎﺳ ﻲﻣﻞﻴﻠﺤﺗو ﻢﻴﻨﻛ

.

ﻪﻴﺒﺷ يزﺎﺳ رﺎﺘﻓر ﻞﻴﻠﺤﺗ و ﻲﻨﻤﻬﺑ يرﻮﻧ زﺎﺳرﺎﻜﺷآ

Al

_0.4

Ga

_0.6

N

ﺖﻧﻮﻣ شور ﺎﺑ ﻮﻟرﺎﻛ

شوﺮﺳﺪﻤﺤﻣ ﻲﺷﺮﻓجوﺮﻣﻢﻇﺎﻛﺪﻤﺤﻣ،1

ﻲﻔﻘﺛرﺎﻴﻣﺎﻛو2 3

،زاﻮﻫاناﺮﻤﭼﺪﻴﻬﺷهﺎﮕﺸﻧاد1

m.soroosh@scu.ac.ir

،سرﺪﻣﺖﻴﺑﺮﺗهﺎﮕﺸﻧاد2

farshi_k@modares.ac.ir

،ﺪﻫﺎﺷهﺎﮕﺸﻧاد3

saghafi@shahed.ac.ir

2 ﺖﻧﻮﻣشور - ﻮﻟرﺎﻛ

ﻪﻛ ﻲﻟﺪﻣ رد هدﺮﻛ هدﺎﻔﺘﺳا

ترﻮﺻ ﻪﺑ ار يژﺮﻧا يﺎﻫﺪﻧﺎﺑ ﻢﻳا

ﻲﻤﻬﺳﺮﻴﻏ ﻪﺘﻓﺮﮔﺮﻈﻧردنﻮﮔ

ﻢﻳا نوﺮﺘﻜﻟاياﺮﺑ . هردودلﺪﻣزاﺎﻫ

-

هﺮﻔﺣ ياﺮﺑ و يا هدﺮﻛ هدﺎﻔﺘﺳا يﺪﻧﺎﺑ ود لﺪﻣ زا ﺎﻫ

ﻢﻳا خﺮﻧ .

نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ يدرﻮﺧﺮﺑ

ﻪﺘﻓﺮﮔ ﺮﻈﻧردﺶﻳﺪﻠﻛﺐﻳﺮﻘﺗﺎﺑار نآ و ﻢﻳا

ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ رﺎﻛوزﺎﺳ ﻚﻳ ناﻮﻨﻋ ﻪﺑ ار دﺮﻛ ظﺎﺤﻟ

ه ﻢﻳا ﻦﻳﺮﺘﻤﻬﻣ .

ﺐﻟﺎﻗردارﻲﻨﻤﻬﺑيرﻮﻧ زﺎﺳرﺎﻜﺷآهراﺰﻓاﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘيﺎﻫرﺎﻛوزﺎﺳ -

هدﺮﻛظﺎﺤﻟيدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳوﻲﺼﻟﺎﺧﺎﻧ،ﻲﻧﻮﻧﻮﻓيﺎﻫ ﻢﻳا

9] .[

ار ﻞﻣﺎﺣ ،ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟاﻞﻣﺎﺣ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ﺐﻳﺮﺿ ﻪﺒﺳﺎﺤﻣ ياﺮﺑ ﻲﻣ ﻖﻳرﺰﺗ مﻮﻠﻌﻣ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ناﺪﻴﻣ ﺎﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻚﻳ ﻪﺑ ﻢﻴﻨﻛ

.

ﻣﺎﺣ ﻲﺸﺒﻨﺟ يژﺮﻧا ناﺪﻴﻣ زا ﻲﺷﺎﻧ ﺶﻧار ﺮﺛا ﺮﺑ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻞ

ﻲﻣﺮﺘﺸﻴﺑﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا يدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳهﺪﻳﺪﭘﻪﻛﻲﻳﺎﺟﺎﺗدﻮﺷ

ﻲﻣخر ﺪﻫد ﻲﻃﻪﻠﺻﺎﻓ . ﻲﻟاﻮﺘﻣيدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳودﻦﻴﺑهﺪﺷ

ﻲﻣ ﺖﺒﺛ ار ﻢﻴﻨﻛ

ار رﺎﻛ ﻦﻳا . 10⁴

ﻲﻣ راﺮﻜﺗ رﺎﺑ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ و ﻢﻴﻨﻛ

ﻲﻃﻪﻠﺻﺎﻓ ﺳﺪﺑاريدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ودﻦﻴﺑ هﺪﺷ

ﻲﻣﺖ ﻢﻳروآ .

ﺖﺳاﻞﻣﺎﺣنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳﺐﻳﺮﺿﻪﻠﺻﺎﻓﻦﻳاﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣﺲﻜﻋ 10]

.[

ﻪﻴﺣﺎﻧ زاﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻞﻣﺎﺣ ﺖﻛﺮﺣ ﺮﻴﺴﻣ ،هﺮﻬﺑ ﻪﺒﺳﺎﺤﻣ ياﺮﺑ ﻲﻣ لﺎﺒﻧدار ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ يﺎﻬﺘﻧا ﺎﺗ بﺬﺟ راﺮﻜﺗ زا ﺲﭘ ﺎﺗ ﻢﻴﻨﻛ

ﻪﺳوﺮﭘ ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ و ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ناﺪﻴﻣ زا ﻲﺷﺎﻧ ﺶﻧار يﺎﻫ يﺎﻫ

ﺠﻧايدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳﻒﻠﺘﺨﻣ ﺪﻫدمﺎ

ﺪﻳﺪﺟهرذودﻪﺠﻴﺘﻧرد .

هﺮﻔﺣﻚﻳونوﺮﺘﻜﻟاﻚﻳ) ﻲﻣدﻮﺟوﻪﺑ (

ﺪﻳآ ﻪﻴﻟواﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟاﻞﻣﺎﺣ .

ﻞﻣﺎﺣ و رﻮﻃ ﻪﺑ ار ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ و ﺶﻧار يﺎﻫرﺎﻛوزﺎﺳ ﺪﻳﺪﺟ يﺎﻫ

ﻲﻣراﺮﻜﺗﻞﻘﺘﺴﻣ ﺪﻨﻫدمﺎﺠﻧايدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳﺎﺗﺪﻨﻨﻛ

ياﺮﺑ .

ﻞﻣﺎﺣ ﻪﻤﻫ نآﺖﻛﺮﺣ يﺎﻫﺮﻴﺴﻣ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا يﺎﻫ

ﻪﻴﺒﺷ ار ﺎﻫ يزﺎﺳ

ﻲﻣ ﺪﻧﻮﺷ جرﺎﺧﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ زا ﻪﻛ ﻲﻳﺎﺟﺎﺗ ﻢﻴﻨﻛ داﺪﻌﺗ عﻮﻤﺠﻣ .

ﻞﻣﺎﺣﻞﻛ ﻲﻣجرﺎﺧﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧزاﻪﻛﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟايﺎﻫ لدﺎﻌﻣﺪﻧﻮﺷ

دﻮﺑﺪﻫاﻮﺧهراﺰﻓاهﺮﻬﺑ يازاﻪﺑارﻪﻳورﻦﻳا .

10⁴ رﺎﺑ ﻲﻣمﺎﺠﻧا ﻢﻴﻫد

هﺮﻬﺑ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ و ﺎﻫ

i) (M ﻲﻣ ﺖﺳﺪﺑ ار ﻢﻳروآ

ﺮﻬﺑ ،ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣﻦﻳا . ه

ﻲﻨﻤﻬﺑيرﻮﻧزﺎﺳرﺎﻜﺷآ

>)

<M ﺖﺳا ( 10] .[

هراﺰﻓا هﺮﻬﺑ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ ﺎﺑ نﺎﻣﺰﻤﻫ رﻮﻃ ﻪﺑ ﻲﻓﺎﺿا ﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ ﺖﺳاﻪﺒﺳﺎﺤﻣﻞﺑﺎﻗ ﻖﻳرﺰﺗيازاﻪﺑﻪﻛﻲﻧﺎﻣزﺮﮕﻳدترﺎﺒﻋﻪﺑ .

10⁴

ﺖﺳﺪﺑ ار نآ ﺎﺑ ﺐﺳﺎﻨﺘﻣ هﺮﻬﺑ ،ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻪﺑ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻞﻣﺎﺣ ﻲﻣ يرادﺮﺑ ﻢﻳروآ لﻮﻃ ﻪﺑ

10⁴ ﻲﻣ ﺳ لﻮﻠﺳ ﻪﻛ ﻢﻳزﺎ نآ يﺎﻫ

ﻞﻣﺎﺣ زا ﻚﻳ ﺮﻫ ﻖﻳرﺰﺗ يازا ﻪﺑ هﺮﻬﺑ ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫراﺪﻘﻣ يﺎﻫ

ﺖﺳاﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻪﻄﺑاررداررادﺮﺑ يﺎﻫراﺪﻘﻣ .

) 1 ﻲﻣراﺮﻗ ( ﺎﺗ ﻢﻴﻫد

ﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿ F)

ﻢﻴﻨﻛﻪﺒﺳﺎﺤﻣار ( 11]

.[

) 1

2 (

2

>

<

>

=<

M F Mⁱ ناﺪﻴﻣ ﻪﺒﺳﺎﺤﻣ ياﺮﺑ

ﺖﺴﻜﺷ ﺖﺴﻜﺷ ژﺎﺘﻟو و سﺎﻳﺎﺑ ژﺎﺘﻟو ،

سﻮﻜﻌﻣ ﻲﻣ دﺎﻳز ﻲﻳﺎﺟ ﺎﺗ ار يدرﻮﺧﺮﺑ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ﻪﻛ ﻢﻴﻨﻛ

ﻞﻣﺎﺣ ﻞﻣﺎﺣداﺪﻌﺗوﺪﻨﻛاﺪﻴﭘﻪﻣادامواﺪﻣرﻮﻃﻪﺑﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟايﺎﻫ -

نﺎﻳﺎﭘترﻮﺻﻪﺑهراﺰﻓانورديﺎﻫ دﻮﺷدﺎﻳزﺮﻳﺬﭘﺎﻧ

ژﺎﺘﻟو،ژﺎﺘﻟوﻦﻳا .

ﻪﻨﻴﺸﻴﺑ و ﺖﺳا ﺖﺴﻜﺷ

،ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ناﺪﻴﻣ تﺪﺷ

ﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣ دﻮﺑﺪﻫاﻮﺧهراﺰﻓا

.

3 ﻪﻴﺒﺷ - يزﺎﺳ ﻞﻴﻠﺤﺗو

ﻞﻜﺷ ﺐﻳﺮﺿ 1 نوﺮﺘﻜﻟا نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ يﺎﻫ α)

هﺮﻔﺣ و ( β)

(

ﺖﺳﺪﺑ هﺪﻣآ ﻪﻴﺒﺷزا ياﺮﺑيزﺎﺳ Al0.4Ga0.6N

يﺎﻫراﺪﻘﻣيازاﻪﺑار

ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ناﺪﻴﻣ تﺪﺷ ﻒﻠﺘﺨﻣ E)

هداد ﺎﺑ ( ﺖﺳﺪﺑ يﺎﻫ زا هﺪﻣآ

ﻲﻣﻪﺴﻳﺎﻘﻣﺶﻳﺎﻣزآ ﺪﻨﻛ

8] .[ ﻪﻴﺒﺷﻪﺠﻴﺘﻧﺮﺘﻬﺑﻖﺑﺎﻄﺗ يزﺎﺳ

وα β

هداد ﺎﺑ ﺖﺳﺪﺑ يﺎﻫ هﺪﻣآ

ﻲﻣ ﺚﻋﺎﺑ ﺶﻳﺎﻣزآ زا يﺎﻄﺧ ﻪﻛ دﻮﺷ

دﻮﺷﺮﺘﻤﻛﺰﻴﻧﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿوهﺮﻬﺑﻪﺒﺳﺎﺤﻣ .

ﻞﻜﺷ 1 ﺐﻳﺮﺿ : ﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫراﺪﻘﻣ ﺐﺴﺣﺮﺑ هﺮﻔﺣونوﺮﺘﻜﻟا نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳيﺎﻫ

ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟاناﺪﻴﻣ تﺪﺷ ﻪﻧﺎﺸﻧ .

وﺎﻫ ﻂﺧ ﻪﺠﻴﺘﻧﺐﻴﺗﺮﺗﻪﺑﺎﻫ ﻪﻴﺒﺷيﺎﻫ

ويزﺎﺳ

ﻲﻫﺎﮕﺸﻳﺎﻣزآ 8]

ﻲﻣنﺎﺸﻧار[

ﺪﻨﻫد .

لوﺪﺟ ﻣ تﺎﻋﻼﻃا 1 ﻪﻳﻻ ﻪﺑ طﻮﺑﺮ

ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫ هراﺰﻓا ﻚﻳ

ﻪﺘﺧﺎﺳنﻮﮕﻤﻫ زاهﺪﺷ

Al0.4Ga0.6N ﻲﻣﻪﺋاراار

ﺪﻫد 6] .[

لوﺪﺟ 1 ﻪﻳﻻﻪﺑطﻮﺑﺮﻣتﺎﻋﻼﻃا : نﻮﮕﻤﻫهراﺰﻓاﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

Al0.4Ga0.6N

6]

.[

ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ

) (nm

ﺖﻈﻠﻏ

3)

cm -

(

n^-

200 10¹⁷

×

45 / 1

n⁺

300

10¹⁸

ﻞﻜﺷ هﺮﻬﺑ 2 سﺎﻳﺎﺑ ژﺎﺘﻟو ﺐﺴﺣﺮﺑ Vbias)

ﻳﺮﺿ و ( ﺰﻳﻮﻧ ﺐ

ﻲﻓﺎﺿا هﺮﻬﺑﺐﺴﺣﺮﺑ هراﺰﻓا

ﻪﺋارا لوﺪﺟردهﺪﺷ ﻲﻣنﺎﺸﻧار1

ﺪﻫد .

هراﺰﻓا سﺎﻳﺎﺑ ژﺎﺘﻟو ﺶﻳاﺰﻓا ناﺪﻴﻣ تﺪﺷ نﺪﺷ ﺮﺘﺸﻴﺑ ﺚﻋﺎﺑ

ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻲﻣ

دﻮﺷ لﻮﻃ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ ﻪﺠﻴﺘﻧ رد .

نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ﻞﻣﺎﺣ

ﻲﻣ ﺮﺗدﺎﻳز هراﺰﻓا هﺮﻬﺑ و ﺮﺘﻤﻛ ﺎﻫ دﻮﺷ

ﺶﻳاﺰﻓا .

ﺶﻳاﺰﻓا ﺎﺑ ﺮﻇﺎﻨﺘﻣ هﺮﻬﺑ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ داﺪﻌﺗ

ﺖﺳا يدرﻮﺧﺮﺑيﺎﻫ ﺎﺑ .

ﺰﻴﻧﻮﻳ داﺪﻌﺗ ﺶﻳاﺰﻓا نﻮﻴﺳا

نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ لﻮﻃ ﻊﻳزﻮﺗ ﺎﻫ ﺎﻫ

ﻦﻬﭘ ﺮﺗ

ﻲﻣ دﻮﺷ ﻲﻣﺮﺘﺸﻴﺑﻢﻫهراﺰﻓاﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿو دﻮﺷ

.

) ﻒﻟا

(

) ب

(

ﻞﻜﺷ 2 ﻒﻟا : ﻪﺴﻳﺎﻘﻣ ( هﺮﻬﺑ ﺖﺳﺪﺑ ﻪﻴﺒﺷزا هﺪﻣآ زﺎﺳ

و ي هداد ﻲﻠﻤﻋيﺎﻫ 6]

[

هراﺰﻓاسﺎﻳﺎﺑژﺎﺘﻟوﺐﺴﺣﺮﺑ بو

هﺮﻬﺑﺐﺴﺣﺮﺑﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿ ( ﺖﺳﺪﺑ

هﺪﻣآ

ﻪﻴﺒﺷزا يزﺎﺳ .

ﻞﻜﺷ يﺎﻫ و 3 ﺐﻴﺗﺮﺗﻪﺑ4 ﺿو هﺮﻬﺑتاﺮﻴﻴﻐﺗ

ﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮ

لﻮﻃيازاﻪﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

Wm) ﻲﻣنﺎﺸﻧار ( ﻫد

ﻨ ﺪ ﺎﺑ .

هزاﺪﻧا ﻪﻛ ﻲﺗرﻮﺻ رد ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻳاﺰﻓا سﻮﻜﻌﻣ سﺎﻳﺎﺑ

ﻲﻣﺶﻫﺎﻛﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧردﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟاناﺪﻴﻣتﺪﺷﺪﻧﺎﻤﺑﺖﺑﺎﺛ ﺪﺑﺎﻳ

ﻲﻣ ﻢﻛﻢﻫ هﺮﻬﺑ و دﻮﺷ

ﺎﺑﺪﻳﺎﺑ ﺮﺘﺸﻴﺑ هﺮﻬﺑﻦﺘﺷاد ياﺮﺑﻦﻳاﺮﺑﺎﻨﺑ .

يﻮﻗ سﻮﻜﻌﻣ سﺎﻳﺎﺑ ،ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻳاﺰﻓا هراﺰﻓا ﻪﺑ يﺮﺗ

ﻢﻴﻨﻛلﺎﻤﻋا .

ﺚﻋﺎﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻳاﺰﻓا ،ﺮﺑاﺮﺑ هﺮﻬﺑ ﻚﻳ يازا ﻪﺑ ﺶﻳاﺰﻓا

ﻲﻣﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿ دﻮﺷ

ﻲﻨﻴﻌﻣهﺮﻬﺑﻪﻛ ﻲﺘﻟﺎﺣرد . ﺎﻳ)

ﻲﻨﻴﻌﻣ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ داﺪﻌﺗ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ ﺶﻳاﺰﻓا ،ﻢﻴﺷﺎﺑﻪﺘﺷاد ﺮﻈﻧرد (

ﻞﻣﺎﺣ ياﺮﺑ ﺮﺘﺸﻴﺑ لﻮﻃ دﻮﺟو يﺎﻨﻌﻣ ﻪﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ يﺎﻫ

ﺪﻨﻫدمﺎﺠﻧاارﻦﻴﻌﻣنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳداﺪﻌﺗﺎﺗﺖﺳاﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﺶﻳاﺰﻓا .

ﺣ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ياﺮﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﻞﻣﺎ

ﺶﻳاﺰﻓا لدﺎﻌﻣ ﺎﻫ

نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ لﻮﻃ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ رد ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟاناﺪﻴﻣ تﺪﺷ ﺶﻫﺎﻛ ﺎﻳ)

ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﺖﺳا (

داﺪﻌﺗ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ لﻮﻃ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ ﺶﻳاﺰﻓا ﺎﺑ .

ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ ﻲﻣدﺎﻳزﻢﻫيدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ زاﻞﺒﻗﻞﻣﺎﺣيﺎﻫ -

ﻲﻣ ﺚﻋﺎﺑ و دﻮﺷ ﻪﺑ ﺖﺒﺴﻧ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ لﻮﻃ ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ ﻪﻛ دﻮﺷ

دﻮﺷ ﺮﺘﺸﻴﺑ ﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣ ﻲﻓﺎﺿا ﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ ﺶﻳاﺰﻓا ﺚﻋﺎﺑ ﺮﻣا ﻦﻳا .

ﻲﻣ دﻮﺷ .

ﻞﻜﺷ 3 لﻮﻃيازاﻪﺑسﻮﻜﻌﻣسﺎﻳﺎﺑژﺎﺘﻟوﺐﺴﺣﺮﺑهﺮﻬﺑتاﺮﻴﻴﻐﺗ : ﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧ .

ﻞﻜﺷ 4 لﻮﻃيازاﻪﺑهﺮﻬﺑﺐﺴﺣﺮﺑﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿتاﺮﻴﻴﻐﺗ : ﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧ .

ﻞﻜﺷ هراﺰﻓا ﺖﺴﻜﺷ ژﺎﺘﻟو5 Vbr)

لﻮﻃ يازا ﻪﺑ ( ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫ

ﻲﻣ نﺎﺸﻧ ار ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﺪﻫد

ﺚﻋﺎﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻳاﺰﻓا .

ﻲﻣهراﺰﻓا لﻮﻃﺶﻳاﺰﻓا ﻪﺠﻴﺘﻧ رددﻮﺷ

سﺎﻳﺎﺑژﺎﺘﻟو ﻚﻳيازا ﻪﺑ -

ﻦﻴﻌﻣهﺮﻬﺑ ﻲﻣﺶﻳاﺰﻓاﺰﻴﻧهراﺰﻓاﺖﺴﻜﺷژﺎﺘﻟوو -

ﺪﻨﺑﺎﻳ .

ﻞﻜﺷ 5 لﻮﻃيازاﻪﺑهراﺰﻓاﺖﺴﻜﺷژﺎﺘﻟو : ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

.

ﻞﻜﺷ ﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣتاﺮﻴﻴﻐﺗ6 هراﺰﻓا

Ebr) لﻮﻃيازاﻪﺑ ( يﺎﻫ

ﻲﻣ نﺎﺸﻧ ار ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻒﻠﺘﺨﻣ ﺪﻫد

نﺎﻤﻫ . ﻞﻜﺷ رد ﻪﻛ رﻮﻃ 6

ﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧلﻮﻃﺶﻳاﺰﻓاﺎﺑﺖﺳاهﺪﺷهدادنﺎﺸﻧ ﻲﻣ ﺮﺘﻤﻛ هراﺰﻓا دﻮﺷ

رد . ﻲﻣﺮﺘﺸﻴﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃﻪﻛ ﻲﻟﺎﺣ -

ﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ ياﺮﺑ ﻲﻧﺎﻜﻣ هدوﺪﺤﻣ دﻮﺷ ﻴ

نﻮ ﺮﺘﺸﻴﺑ ﻢﻫ يدرﻮﺧﺮﺑ يﺎﻫ

ﻲﻣ دﻮﺷ ﻪﺑ . ﻞﻣﺎﺣ ،ﺮﮕﻳد ترﺎﺒﻋ ﻲﻟﻮﻃ هزﺎﺑ رد ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا يﺎﻫ

ﻲﻣ يﺮﺘﺸﻴﺑ ﺪﻨﻧاﻮﺗ

ﻪﺠﻴﺘﻧ رد ﺪﻨﻫد مﺎﺠﻧا يدرﻮﺧﺮﺑ نﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ

ﻞﻣﺎﺣداﺪﻌﺗ ﻲﻣ ﺮﺘﺸﻴﺑﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟايﺎﻫ

دﻮﺷ نﺎﻤﻫﻦﻳاﺮﺑﺎﻨﺑ . ﻪﻛ رﻮﻃ

ﻞﻜﺷ رد ﻲﻣ هﺪﻳد 6

هراﺰﻓا رد دﻮﺷ يﺮﺘﮔرﺰﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻪﻛ يا

ﻲﻣيﺮﺘﻤﻛناﺪﻴﻣتﺪﺷدراد ﺖﺴﻜﺷﺚﻋﺎﺑﺪﻧاﻮﺗ

دﻮﺷهراﺰﻓا .

ﻞﻜﺷ 6 لﻮﻃيازاﻪﺑهراﺰﻓاﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣ : ﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧﻒﻠﺘﺨﻣيﺎﻫ

.

ﺪﻨﻛﺚﻋﺎﺑﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧلﻮﻃﺶﻳاﺰﻓا هراﺰﻓاﺦﺳﺎﭘﺖﻋﺮﺳنﺪﺷ

ﻲﻣ ﻲﻣ لﻮﻃ يﺮﺘﺸﻴﺑ نﺎﻣز تﺪﻣ نﻮﭼ دﻮﺷ ﻞﻣﺎﺣ ﺎﺗ ﺪﺸﻛ

ﺪﻴﻟﻮﺗﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا لﺎﺼﺗا ﻪﺑ بﺬﺟ ﻪﻴﺣﺎﻧ ردهﺪﺷ

اﺰﻓايرﺎﻨﻛ يﺎﻫ ر

ه

ﺪﺳﺮﺑ ﻞﻜﺷ ﻦﻴﻨﭽﻤﻫ . د نﺎﺸﻧ3

ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ نﺪﺷ ﺮﺘﮔرﺰﺑ ﻪﻛ دا

ﻲﻣ ﺚﻋﺎﺑ هﺮﻬﺑ ﻚﻳ ياﺮﺑيﺮﺘﮔرﺰﺑ سﺎﻳﺎﺑ ژﺎﺘﻟوﻪﺑ هراﺰﻓا ﻪﻛ دﻮﺷ هراﺰﻓاﻲﻓﺮﺼﻣناﻮﺗﺶﻳاﺰﻓاعﻮﺿﻮﻣﻦﻳاﻪﻛﺪﺷﺎﺑﻪﺘﺷادزﺎﻴﻧﻦﻴﻌﻣ

ﻲﻣ ﻪﺠﻴﺘﻧ ار ﺪﻫد

هراﺰﻓا ﺖﺳا يروآدﺎﻳ ﻪﺑ مزﻻ . زﺎﺳرﺎﻜﺷآ يﺎﻫ

ﻲﻣ ﻪﺘﺧﺎﺳ گرﺰﺑ يژﺮﻧا فﺎﻜﺷ ﺎﺑ داﻮﻣ زا ﻪﻛ يرﻮﻧ ﺎﺘﻟو ﺪﻧﻮﺷ

ژ

ﺪﻧراد ﻲﮔرﺰﺑ سﺎﻳﺎﺑ زا ﻲﻜﻳﻲﻓﺮﺼﻣناﻮﺗﻦﻳاﺮﺑﺎﻨﺑ .

اﻮﻣ ر ردﻢﻬﻣد

ﺖﺳاﺎﻫزﺎﺳرﺎﻜﺷآﻦﻳا .

ﻞﻜﺷ رد ﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ ﻪﻛ ﺪﺷ هدادنﺎﺸﻧ 4

ﺮﺘﮔرﺰﺑ ﺎﺑ ﻲﻓﺎﺿا

ﻲﻣ ﺮﺘﺸﻴﺑ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ نﺪﺷ دﻮﺷ

نﺎﺳﻮﻧﺚﻋﺎﺑ عﻮﺿﻮﻣ ﻦﻳا . يﺎﻫ

ﻪﺟﻮﺗ ﻞﺑﺎﻗ هﺮﻬﺑ راﺪﻘﻣ يازا ﻪﺑ هﺮﻬﺑ

ﻪﻛ ﺪﺷ ﺪﻫاﻮﺧ دﺎﻳز يﺎﻫ

ﺖﺴﻴﻧ بﻮﻠﻄﻣ ﻨﺑ .

ﻲﻣ ﻦﻳاﺮﺑﺎ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻫﺎﻛ ﻪﻛ ﺖﻔﮔ ناﻮﺗ

ﻦﻜﻤﻣ ﺪﺣﺎﺗﺮﻴﺜﻜﺗ ﺖﺳابﻮﻠﻄﻣ

ﻢﻬﻣ زاﻲﻜﻳ . ﺖﻳدوﺪﺤﻣﻦﻳﺮﺗ

-

ياﺮﺑزﺎﻴﻧدرﻮﻣلﻮﻃﻦﻴﮕﻧﺎﻴﻣﺮﻴﺜﻜﺗﻪﻴﺣﺎﻧلﻮﻃﺶﻫﺎﻛيﺎﻫ ﻚﻳ

ﺖﺳايدرﻮﺧﺮﺑنﻮﻴﺳاﺰﻴﻧﻮﻳ لﻮﻃيازاﻪﺑﻲﻓﺮﻃ زا .

ﻢﻛيﺎﻫ

، رﺎﺘﻓر

ناﺪﻴﻣ رد ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﻞﻣﺎﺣ ﻲﻨﻌﻳ دﻮﺑ ﺪﻫاﻮﺧ ﻲﻜﻴﺘﺴﻟﺎﺑ يﻮﻗيﺎﻫ

ﻲﻣ مﺎﺠﻧا ﻲﻜﻳﺮﺘﻜﻟا ﺶﻧار ﻲﮔﺪﻨﻛاﺮﭘ نوﺪﺑ ﻞﻣﺎﺣ يژﺮﻧا و ﺪﻫد

ﻲﻣﺶﻳاﺰﻓاﺖﻋﺮﺳﻪﺑنآﻲﺸﺒﻨﺟ ﺪﺑﺎﻳ

.

4 ﻪﺠﻴﺘﻧ - يﺮﻴﮔ ﺖﺴﻜﺷناﺪﻴﻣوژﺎﺘﻟو،ﻲﻓﺎﺿاﺰﻳﻮﻧﺐﻳﺮﺿ،هﺮﻬﺑﻪﻟﺎﻘﻣﻦﻳارد

ﻪﺘﺧﺎﺳ نﻮﮕﻤﻫ ﻲﻨﻤﻬﺑ يرﻮﻧ زﺎﺳرﺎﻜﺷآ ﻚﻳ هﺪﺷ

زا Al0.4Ga0.6N

لﻮﻃ يازا ﻪﺑ ار ﻪﻴﺒﺷ ﺮﻴﺜﻜﺗ ﻪﻴﺣﺎﻧ ﻒﻠﺘﺨﻣ يﺎﻫ

يزﺎﺳ ﻞﻴﻠﺤﺗ و

ﻢﻳدﺮﻛ ﻪﺠﻴﺘﻧ . ﻪﻴﺒﺷ يﺎﻫ ﻪﻴﺣﺎﻧ لﻮﻃ ﺶﻫﺎﻛ ﻪﻛ داد نﺎﺸﻧ يزﺎﺳ

ﺮﻴﺜﻜﺗ ﺶﻳاﺰﻓا و سﺎﻳﺎﺑ ژﺎﺘﻟو ،ﻲﻓﺎﺿا ﺰﻳﻮﻧ ﺐﻳﺮﺿ ﺶﻫﺎﻛ ﺚﻋﺎﺑ

ﻲﻣهراﺰﻓاﺖﺴﻜﺷ ناﺪﻴﻣ دﻮﺷ

ﺮﺘﻤﻛهراﺰﻓاﻲﻓﺮﺼﻣناﻮﺗﻪﺠﻴﺘﻧرد .

ﻲﻣ ﻲﻣﺶﻳاﺰﻓاﺰﻴﻧهﺮﻬﺑيراﺪﻳﺎﭘودﻮﺷ ﺪﺑﺎﻳ

.

ﺟاﺮﻣ ﻊ

[1] M. Razeghi and A. Rogalski, “Semiconductor ultraviolet detectors,” J. Appl. Phys., vol. 79, pp. 7433–7473, 1996.

[2] J. P. R. David and C. H. Tan, “Material considerations for avalanche photodiodes,” IEEE J. of Selected Topics in Optics in Quantum Electronics, vol. 14, pp. 998-1009, 2008.

[3] S. C. Shen, Y. Zhang, D. Yoo, J. Limb, J. H. Ryou, P. D. Yoder, and R. D. Dupuis, “Performance of deep ultraviolet GaN avalanche photodiodes grown by MOCVD,” IEEE Photon.

Technoll. Lett., vol. 19, pp. 1744-1746, 2007.

[4] H. D. Liu, X. Guo, D. McIntosh, and J. C. Campbell,

“Demonstration of ultraviolet 6H-SiC PIN avalanche photodiodes,” IEEE Photon. Technoll. Lett., vol. 18, pp. 2508- 2510, 2006.

[5] D. Yoo, J. Limb, J. H. Ryou, Y. Zhang, S. C. Shen, R. D. Dupuis, D. Hanser, E. Preble, and K. Evans, “AlxGa1-xN ultraviolet

avalanche photodiodes grown on GaN substrates,” IEEE Photon.

Technoll. Lett., vol. 19, pp. 1313-1315, 2007.

[6] Tut, B. Butun, M. Gokkavas, and E. Ozbay, “AlxGa1-xN-based avalanche photodiodes with high reproducible avalanche gain”

phys. stat. sol. (c), vol. 5, pp. 2316-2319, 2008.

[7] T. Tut, B. Butun, M. Gokkavas, and E. Ozbay, “High performance AlxGa1-xN-based avalanche photodiodes,” J. Photonics and Nanostructures, vol. 5, pp. 140-144, 2007.

[8] T. Tut, M. Gokkavas, B. Butun, S. Butun, E. Ulker, and Ekmel Ozbay, “Experimental evaluation of impact ionization coefficients in AlxGa1-xN based avalanche photodiodes,” Appl. Phys. Lett., vol.

89, pp. 183524-1 – 183524-3, 2006.

[9] K. Tomizawa, Numerical Simulation of Submicron Semiconductor Devices, Artech House Press, 1993.

[10] Y. L. Goh, D. J. Massey, A. R. J. Marshall, J. S. Ng, C. H. Tan, W. K. Ng, G. J. Rees, M. Hopkinson, J. P. R. David, and S. K.

Jones, “Avalanche multiplication in InAlAs,” IEEE Trans.

Electron Dev., vol. 54, pp. 11-16, 2007.

[11] Y. L. Goh, A. R. J. Marshall, D. J. Massey, J. S. Ng, C. H. Tan, M.

Hopkinson, J. P. R. David, S. K. Jones, C. C. Button, and S. M.

Pinches, “Excess avalanche noise in In0.52Al0.48As,” IEEE J.

Quantum Electron., vol. 43, pp. 503-507, 2007.